CS213550B1 - Přínavka pro vakuovou plasatu - Google Patents
Přínavka pro vakuovou plasatu Download PDFInfo
- Publication number
- CS213550B1 CS213550B1 CS811705A CS170581A CS213550B1 CS 213550 B1 CS213550 B1 CS 213550B1 CS 811705 A CS811705 A CS 811705A CS 170581 A CS170581 A CS 170581A CS 213550 B1 CS213550 B1 CS 213550B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- suction cup
- sucker
- ring
- vacuum tweezers
- tweezers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
Předmětem vynálezu Je přísavka pro vakuovou pinzetu, používanou zejména při výrobě polovodičů.
Pří manipulaci β materiály používanými pří výrobě polovodičů / destičkami,PN systémy i jinými součástkami / se používají pinzety pracujíoí z podtlakem vzduchu. Vakuová pinzeta je schopna uchopit předmět, aniž by bylo třeba pinzetu vůči předmětu přesněji nastavovat. Je to umožněno tím, že.přísavka je vyrobena z poddajného materiálu, který ze poloze předmětu při uchopování dobře přizpůsobí. Tento materiál přísavky ja věak náchylný k znečistění prachovými částicemi, které na takovémto materiálu studno ulpívají* To pak může vést k přenáěaaí těchto částic na uchopovaná předměty, oož je na závadu pří požadavku avlážÉ čisté manipulace, například při výrobě polovodičů.
Uvedené nedoetatky jaou odstraněny přísavkou podle vynálezu, složené ze dvou dílů, jejíž podstata spočívá v tom, ža přísavka te skládá z kroužku vyrobeného z nepoddajného materiálu a a koncovky z materiálu poddajného, připojená kakroužku pomocí vzduchotěsného oasaani.
Přísavka podle vynálesu vyhovuje požadavku čisté aanlpulaas, protože do styku o uohopovaným předmětem přichází pouze kroužek, vyrobený u nepoddajného, praoh odpozujícího materiálu.
Sa připojeném výkresu jo znásomžn příklad provedení přísavky podle vynálezu* sis ses
So měkkého pldžtě koneovky 2 přísavky ja upevněn pomoci vzduchotěsného oaazení krouSak J, * materiálu nepoddajného, preeh odpusujíoího.
So styku o uehopovauým přednětem přiehásí pouae kroužek 2 provedený s nepoddajného materiálu, přičemž koncovka 2 vyrobená a mžkkého materiálu doddvd oelé příaavoa sádouoí poddajnost.
Claims (1)
- řÍBDMÉT ΤϊϊίLÍZUPřísavka pro vékuovou pinzetu, v y a n a ě e n á t i a, že sestává a kroužku /1/ a nepoddajného materiálu o a koncovky /2/' a materiálu poddajného, pro připojení aa plasetu, přičemž konoovka /2/ je kroužkem /1/ opojenu pomocí vzduchotěsného osazení.1 výkres
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS811705A CS213550B1 (cs) | 1980-05-13 | 1981-03-09 | Přínavka pro vakuovou plasatu |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS332680A CS211500B1 (cs) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | Vakuová pinzeta |
| CS811705A CS213550B1 (cs) | 1980-05-13 | 1981-03-09 | Přínavka pro vakuovou plasatu |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS213550B1 true CS213550B1 (cs) | 1982-04-09 |
Family
ID=5372965
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS332680A CS211500B1 (cs) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | Vakuová pinzeta |
| CS811705A CS213550B1 (cs) | 1980-05-13 | 1981-03-09 | Přínavka pro vakuovou plasatu |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS332680A CS211500B1 (cs) | 1980-05-13 | 1980-05-13 | Vakuová pinzeta |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (2) | CS211500B1 (cs) |
-
1980
- 1980-05-13 CS CS332680A patent/CS211500B1/cs unknown
-
1981
- 1981-03-09 CS CS811705A patent/CS213550B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS211500B1 (cs) | 1982-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8172288B2 (en) | Gripper, in particular a Bernoulli gripper | |
| PT90951A (pt) | Dispositivo e processo para a preensao, manipulacao e colocacao de pecas flexiveis isoladas ou adjacentes | |
| JPS6020884A (ja) | 小物体把持用吸着装置 | |
| EP0778611A3 (en) | End effector for semiconductor wafer transfer device and method of moving a wafer with an end effector | |
| EP0734056A3 (en) | Ceramic blades for semiconductor processing apparatus | |
| US4687242A (en) | Apparatus for handling semiconductor wafers during fabrication of integrated circuits | |
| CS213550B1 (cs) | Přínavka pro vakuovou plasatu | |
| EP1605076A3 (en) | Method for preventing contamination during the fabrication of a semiconductor device | |
| JPS645752A (en) | Suction arm | |
| JPS62195141A (ja) | ペレツト移送装置 | |
| SU1178588A1 (ru) | Схват манипул тора | |
| JPH0330299B2 (cs) | ||
| US5700045A (en) | Universal QFP tray transfer method | |
| JPS6457633A (en) | Suction transfer device | |
| JPS5947190A (ja) | ハンドリング装置 | |
| JPH03296243A (ja) | 半導体ウエハの取扱い用治具 | |
| JP2909149B2 (ja) | バキュームチャック | |
| IT8348882A0 (it) | Impugnatura di trasporto per aspirapolvere a mano | |
| JP2003037160A (ja) | ウエハ搬送用ハンド | |
| JPS5848914A (ja) | ウエハピンセツト | |
| TW202233386A (zh) | 樹脂粉末收集用部件、活塞單元、樹脂成型裝置和樹脂成型品的製造方法 | |
| SU891429A1 (ru) | Вакуумный схват | |
| JPS62159443A (ja) | 真空コレツト | |
| JPH0236547A (ja) | 真空ピンセット | |
| JPH0317632U (cs) |