CS205385B1 - Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture - Google Patents
Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture Download PDFInfo
- Publication number
- CS205385B1 CS205385B1 CS257678A CS257678A CS205385B1 CS 205385 B1 CS205385 B1 CS 205385B1 CS 257678 A CS257678 A CS 257678A CS 257678 A CS257678 A CS 257678A CS 205385 B1 CS205385 B1 CS 205385B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- electric field
- sensor
- electrodes
- internal electric
- electrode
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 28
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 3
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 108010067216 glycyl-glycyl-glycine Proteins 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- GZXOHHPYODFEGO-UHFFFAOYSA-N triglycine sulfate Chemical compound NCC(O)=O.NCC(O)=O.NCC(O)=O.OS(O)(=O)=O GZXOHHPYODFEGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
(54) Čidlo pyroelektrického detektoru pro režim teplotní autostabilizace a způsob jeho výroby .
Vynález se; týká čidla pyroelektrického d etektoru pro režim teplotní autostabilizace a způsobu jeho výroby.
Konstrukce pyroelektrických detektorů jsou založeny na využití pyroelektrického jevu tak, že pyroelektrický materiál generuje náboj úměrný teplotní změně, vyvolané změnou dopadajícího zářivého výkonu. Tento náboj je obvykle snímán pomocí elektrod umístěných kolmo na směr pyroelektrické osy krystalu. Pro použití v detektorech je vždy nutné, aby pyroelektrická látka byla elektrický polarizována v celém objemu mezi elektrodami. Je-li jako pyroelektrika použito feroelektrické látky pak je nutné, aby látka měla celkový elektrický moment nenulový tj. aby domény byly polarizovány převážně v jednom směru.
Dosud používaná čidla pyroelektrických detektorů jsou řešena buď jako adiabaticky ' uložený a vůči vnějším vlivům izolovaný element nebo element umístěný na podložce, která může být vyhřívána na teplotu blízkou teplotě fázového přechodu materiálu čidla, pro dosažení vysoké hodnoty pyroelektrického koeficientu. .
Uvedené konstrukce čideL mají řadu nevýhod. Tak např. adiabaticky uložený element čidla je teplotně nestabilní vzhledem k tomu, že jeho střední teplota se může mě2 niť dopadem tepelného záření. Obvykle se' používají pro čidlo takové materiály, které mají teplqtu fázového přechodu co nejvíce vzdálenou od provozní teploty okolí. Toto řešení vylučuje však možnost využít vysokých hodnot pyroelektrického koeficientu, jehož maximum leží u těchto materiálů v teplotní oblasti fázového přechodu.
Konstrukce čidla, které je umístěno na vyhřívané podložce sice odstraňuje nevýhody adiabaticky uloženého čidla, ale technologie výroby je značně Složitá. Homogenní ohřev čidla je závislý na tepelném kontaktu a vlastní teplotní vodivosti materiálu, který spojuje vyhřívanou podložku s čidlem, přičemž je pro některé aplikace detektoru nutné, aby bylo vlastní čidlo od vyhřívací podložky elektricky odděleno.
Mnohé z těchto nevýhod odstraňuje čidlo pyroelektrického detektoru pro režim teplotní autostabilizace a způsob jeho výroby podle předloženého vynálezu.
Podstata čidla pyroelektrického detektoru z feroelektrické nebo pyroelektrické látky s klesající závislostí náhradní reálné vodivosti ha teplotě charakterizující dietektrické ztráty s alespoň dvěma funkčními dvojicemi elektrod na protilehlých plochách čidla kolmých na osu detekce podle vynálezu spočívá v tom, že v části jetío plochy je vy205385
20538β tvořena v celé tlouštce permanentní vnitřní elektrické pole, na této části je umístěna alespoň jedna z funkčních dvojic elektrod, a alespoň na jedné straně čidla je mezi elektrodou upevněnou na části bez vnitrního elektrického pole a vnějším obvodem části s permanentním vnitřním elektrickým polem upravena elektricky nevodivá mezera. Alespoň pro jednu elektrodu z funkční dvojice elektrod umístěných na části s permanentním vnitřním elektrickým polem se může použít transparentní materiál, .rovněž tak pro alespoň jednu takovou elektrodu se může použít materiál s maximální absorpcí pro uvažovaný druh detekce a to v rozsahu ód tvrdého rtg záření spojitě do oblasti decimetrových vln, například vakuově naparovaný uhlík, a alespoň jedna taková elektroda je opatřena napařenou vodivou nebo polovodivou absorpční vrstvou.
Podstata způsobu výroby spočívá, v tom, že na destičce feroelektrické nebo pyroelektrické látky s klesající závislostí náhradní reálné vodivosti na teplotě, charakterizující dielektrické ztráty, se kolimátorem vymezí plocha určená k ozáření materiálu v celé jeho tloušťce a tato plocha se ozáří ionisačním zářením. Do pole ionisačního záření se umístí elektrody, připojí se na vnější elektrické pole a teprve potom se materiál ozáří. Elektrody umístěné v neozařované části destičky se mohou připojit na zdroj vyhřívacího napětí a materiál destičky se vyhřeje nad fázový přechod použitého materiálu.
Výhodou této konstrukce je to, že umožňuje vytvořit na jedné destičce feroelektrické látky nezávislou oblast charakterizovanou celkovým nenulovým elektrickým momentem a nízkými dielektriďkými ztrátami, která je elektricky oddělena od zbývající části destičky, charakterizované vyššími dielektrickými ztrátami, které jsou využity k vyhřívání destičky režimem teplotní autostabilizace na teplotu blízkou teplotě fázového přechodu použitého materiálu.
Je známo, že feroelektrícká látka, např. triglycinsulfát, ozářená ionizačním zářením, neztrácí vnitřní elektrické pole ani nad teplotami fázového přechodu. Její dielektrické ztráty jsou nižší a má vyšší specifický odpor. Další výhodné vlastnosti, kterých může dosáhnout čidlo vyrobené podle vynálezu, jsou např.: vysoká hodnota pyroelektrického proudu, maximální hodnota prahové citlivosti Np, vysoká normalisovaná detektivita. Dosažení a využití těchto vlastností je. však podmíněno tím, že látku musíme zahřát do okolí jejího fázového přechodu a na této teplotě ji s vysokou stabilitou udržovat.
Udržování této pracovní teploty však. dosud bylo jedním z největších problémů, které bránily dosažení maximálního využití těchto druhů čidel.
Podstata vynálezu bude v dalším vysvětlena na příkladu pomocí připojených výkresů. Obr. 1 představuje axonometrický náčrtek principiálního uspořádání pro výrobu čidla pyroelektrického detektoru infračerveného záření pro režim teplotní áútostabilizace podle vynálezu. Obr. 2 představuje čidlo pyroelektrického detektoru infračerveného záření pro režim teplotní autostabilizace v příčném řezu. Na obr. 3 je znázorněna hysteresní smyčka závislosti polarizace na střídavém elektrickém poli, která je symetrická vůči vertikální ose polarizace a na obr. 4 j;e tatáž hysteresní smyčka, avšak její střed je posunut vůči ose polarizace.
Na obr. 1 je čidlo detektoru tvořeno kruhovou destičkou í z feroelektrického materiálu, např. triglycinsulfátu, která je opatřena na spodní ploše společnou elektrodou 5 kruhového tvaru, opatřenou přívodem 9, na horní ploše elektrodou 6 tvaru mezikružl na obvodu kruhové destičky, opatřenou přívodem IQ a snímací elektrodou 3 čidla, která je opatřena přívodem 8 a je od vnější elektrody 6 elektricky oddělena nepokoveným mezikružím 7. Nad snímací elektrodou čidla je umístěn kolimátor 2 tak, aby byla správně vymezena plocha určená k ozáření ionisačním zářením ze zářiče 4 tzn., aby ionisační záření nezasáhlo plochu elektrody
6. Na obr. 2 je na kruhové feroelektrické destičce 1 vyznačena s permanentním vnitřním elektrickým polem část 16 a část 15 bez vnitřního elektrického pole. Na obr. 3 a jsou znázorněny polarizační osy P a osa střídavého elektrického pole E, přičemž hysteresní smyčka na obr. 3 odpovídá části 15 bez vnitřního elektrického pole feroelektrické kruhové destičky 1 a na obr. 4 části 18 s permanentním vnitřním elektrickým polem s' posunutím středu hysteresní smyčky o vzdálenosti Éb vůči vertikální ose polarizace P.
Tvar feroelektrické kruhové destičky 1, počet a tvar snímacích elektrod může být ovšem rozmanitý podle funkčních podmínek. Rovněž tak společná elektroda 5 může být rozdělena ná více částí podle toho kolik čidel se chce tímto způsobem na jedné destičce vytvořit.
Kolimátor 2 je výroben z materiálu nepropouštějícího ionizační záření daného typu zářiče 4, který je umístěn nad kolimátorem 2. Vzdálenost zářiče 4 od ozařovaného materiálu se určuje dozimetricky podle požadované hodnoty vnitřního elektrického pole. Pro některé materiály je výhodné provádět ozařování ve stejnosměrném elektrickém poli. V takovém případě se na vnější zdroj připojí elektrody 3 a 5 pomocí přívodů 8 a 9 jak je znázorněno na obr. 1.
Polarizovatelnost některých féroelektrik ionizačním zářením může být účinnější, ohřejé-li se ozařovaný materiál do oblasti fázového přechodu. Způsob výroby podle vynálezu umožňuje vyhřátí destičky buď ex205385 terním tepelným zdrojem nebo pomocí přímého dielektríckého hřevu, jak je znázorněno na obr. 2. Pro snadnější pochopení funkce je stejné tělesné vytvoření kruhové destičky podle obr. 1 uvedeno na obr. 2 v řezu. Z obrázku je patrné, že dielektrického ohřevu může být. dosaženo připojením zdroje vyhřívacího napětí na elektrody 6 a 5 pomocí přívodů 10 a 9. Vlivem dielektrických ztrát materiálu se ohřeje objem části 15 bez vnitřního elektrického pole obvodového mézikruží mezi elektrodami 6 a 5, přičemž objem části 16 s permanentním vnitřním elektrickým polem mezi elektrodami 3 a 5 je vyhříván teplotní vodivostí ipateriálu z objemu části 15 bez vnitřního elektrického pole do objemu části 16 s permanentním elektrickým polem. Během externího i dielektrického ohřevu může být připojeno vnější elektrické pole na elektrody 3 a 5 pomocí přívodů 8 a 9.
Způsob výroby podle vynálezu předpokládá, že ionizačním zářením bude polarizován pouze objem materiálu v celé jeho tloušťce pod snímací elektrodou, vyráběného čidla. Pro správnou funkci čidla jako detektoru infračerveného záření je pro režim teplotní autostabilizace nezbytné zachování původní hodnoty náhradní reálné vodivosti na teplotě, charakterizující dielektrické ztráty, v objemu mezi elektrodami obvodového mezikruží, tj. ve znázorněném případě mezi elektrodami'6 a 5. Tyto vlastností mohou být při výrobě podle vynálezu jednoduše kontrolovány snímáním tzv. hysteresní smyčky, tj. závislosti polarizace P na střídavém elektrickém poli E. Na obr. 3 a 4 jsou znázorněny rozdílné polohy středu hysteresní smyčky vůči vertikální ose polarizace P. Obr. 3 odpovídá části 15 bez vnitřního elektrického pole feroelektrické kruhové destičky 1. Obr. 4 ukazuje vznik vnitřního elektrického pole vlivem ozáření, který je charakterizován posunem středu hysteresní smyčky vůči vertikální ose P, jehož velikost je označena Eb.
Vykazuje-li pyroelektrický materiál vlast6 ní absorpci infračerveného záření, může se pro alespoň jednu ž elektrod použít transparentní materiál, čímž pak není třeba zajišťovat jakýmkoliv způsobem potřebnou absorpční vrstvu. Nevykázuje-li pyroelektrický materiál vlastní absorpci infračerveného záření, může se pro alespoň jednu z elektrod použít materiál s maximální absorpcí pro uvažovaný obor vlnových délek infračerveného záření, je-li požadovaná absorpčO ní vrstva ? 15 A, může být tato vrstva pro alespoň jednu ze snímacích elektrod vyrobena vypařováním vodivých nebo polovodivých elektrod, např. .uhlíku nebo platiny, a jejich kondenzací ve vakuu.
Princip pracovního režimu čidla podle vynálezu spočívá v tom, že elektricky oddělená část ionizačním zářením polarizovaného feroelektrika je teplotně stabilizována teplotní vodivostí materiálu neozářené části feroelektrika, která je vyhřívána vlastními dielektrickými ztrátami střídavým napětím vhodného kmitočtu a amplitudy. Rovnovážný stav se ustaví zla podmínek rovnováhy mezi elektrickým vyhřívacím příkonem ze zdroje a výkonem odvedeným z feroel^ktrika do okolí. Pracovní teplota se ustaví v oblasti, kde v závislosti na rostoucí teplotě klesá náhradní reálná vodivost feroelektrika, charakterizující dielektrické ztráty a stabilizuje se zde vůči změnám teploty okolí a vyhřívácího napětí. Protože klesající teplotní závislost náhradní reálné vodivosti je značné strmá, je teplotně-stabilizační funkce velmi výrazná. To má za následek, že i tepplota elektricky oddělené vyhřívané části ionizačním zářením polarizovaného pyroelektrického čidla se mění při změnách teploty okolí, nebo vyhřívacího napětí, jen v malých mezích.
Čidla a způsobu jeho výroby podle vynálezu je možno s výhodou použít všude tam, kde je třeba použít teplotně-stabilizované čidlo pyroelektrického detektoru s vysokou funkční přesností a relativně nízkou pořizovací cenou.
Claims (7)
- P řeč m ě t ' 1. Čidlo pyroelektrického detektoru pro režim teplotní autostabilizace z feroelektrické nebo pyroelektrické látky, s klesající závislostí náhradní reálné vodivosti na teplotě charakterizující dielektrické ztráty s alespoň dvěma funkčními dvojicemi elektrod na protilehlých plochách čidla kolmých na osu detekce vyznačené tím, že v části (16] jeho plochy je vytvořeno v celé tloušťce permanentní vnitrní elektrické pole, na této části (16) je umístěna alespoň jedna z funkčních dvojic elektrod (3,5) a alespoň na jedné straně čidla je mezi elektrodou .(6) upevněnou na části (15) bez vnitřního elektrického pole a vnějším obvodem části (16 ], s permanentním vnitřním elektrickým polem upravena elektricky nevodivá mezera (7).
- 2. Čidlo podle bodu 1 vyznačené tím, že alespoň jedna elektroda z funkční dvojice elektrod (3,5)' umístěných na části (16) s permanentním vnitřním elektrickým polem je z transparentního materiálu.
- 3. Čidlo podle bodu 1 vyznačené tím, že alespoň jedna elektroda z funkční dvojice elektrod (3,5) umístěných na části (16) s permanentním vnitřním elektrickým polem je vyrobena z materiálu s maximální absorpcí pro uvažovaný druh detekce a to v rozsa;hu od tvrdého rtg záření spojitě do oblasti vyn álezu decimetrových vln, například vakuově naparovaný uhlík.
- 4. Čidlo podle bodu 1 vyznačené tím, že alespoň jedna elektroda z funkční dvojice elektrod (3,5) umístěných na části (16) s permanentním vnitřním elektrickým polem , je opatřena napařenou vodivou nebo polovodivou absorpční vrstvou.
- 5. Způsob výroby čidla pyroelektrického detektoru pro režim teplotní autostabilizace podle bodu 1, vyznačený tím, že se na destičce feroelektrické nebo pyroelektrické látky s klesající závislostí náhradní reálné vodivosti na teplotě, charakterizující dielektrické ztráty, vymezí kolimátorem plocha určená k ozáření materiálu v celé jeho tloušť. ce a tato plocha se ozáří Ionizačním zářením.
- 6. Způsob podle bodu 5 vyznačený tím, že do pole ionizačního záření se umístí elektrody, připojí se na vnější elektrické pole a teprve potom se materiál ozáří.
- 7. Způsob podle bodu 5 vyznačený tím, že elektrody (6,5) umístěné v neozařované části (15) destičky (1) se připojí na zdroj vyhřívacího napětí a materiál destičky (1) se vyhřeje nad fázový přechod použitého matériálu.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS257678A CS205385B1 (en) | 1978-04-21 | 1978-04-21 | Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS257678A CS205385B1 (en) | 1978-04-21 | 1978-04-21 | Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS205385B1 true CS205385B1 (en) | 1981-05-29 |
Family
ID=5363277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS257678A CS205385B1 (en) | 1978-04-21 | 1978-04-21 | Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS205385B1 (cs) |
-
1978
- 1978-04-21 CS CS257678A patent/CS205385B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3971250A (en) | Electret sensing medium having plural sensing units | |
| CS205385B1 (en) | Sensing element of pyroelectric detector for thermal autostabilisation regime and method of its manufacture | |
| Wu et al. | Lead‐free pyroelectric infrared detector based on (Bi1/2Na1/2) TiO3‐BaTiO3 ferroelectric ceramics | |
| JPH03503225A (ja) | 熱的赤外線検出器の電極構造 | |
| KR100304668B1 (ko) | 강유전체 박막 트랜지스터 적외선 검출기 및 그 제조방법과 작동방법 | |
| JPH09288010A (ja) | 焦電型赤外線検出素子とその製造方法 | |
| US4942301A (en) | Thermal imaging device | |
| CS202208B1 (cs) | Pyroelektrický detektor | |
| JPS582366B2 (ja) | シヨウデンケンシユツキ | |
| CN219163414U (zh) | 太赫兹光电探测器 | |
| RU2075044C1 (ru) | Радиометр | |
| JPS643524A (en) | Infrared detecting element | |
| JPS643525A (en) | Infrared detecting element | |
| Lavrenčkičk et al. | Technology of double parallel pyroelectric detector | |
| JPS6138427A (ja) | 赤外線検出素子 | |
| Hashimoto et al. | Development of one-dimensional pyroelectric infrared array detector with high sensitivity | |
| JPS6385320A (ja) | 赤外線検出素子 | |
| RU1322940C (ru) | Болометр | |
| KR20010026834A (ko) | 강유전체 전계 효과 트랜지스터 적외선 센서 및 그 제조 방법과 작동 방법 | |
| JPS58182280A (ja) | 光検出器 | |
| JP2653449B2 (ja) | 定温加熱器 | |
| JP2564939Y2 (ja) | サーモパイル型赤外線検出器 | |
| GB2034115A (en) | Improvements in or relating to pyroelectric detectors | |
| JPH06174547A (ja) | 赤外線センサーとその製造方法 | |
| JPS6140526A (ja) | 温度センサ |