CS203588B1 - Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours - Google Patents
Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours Download PDFInfo
- Publication number
- CS203588B1 CS203588B1 CS812478A CS812478A CS203588B1 CS 203588 B1 CS203588 B1 CS 203588B1 CS 812478 A CS812478 A CS 812478A CS 812478 A CS812478 A CS 812478A CS 203588 B1 CS203588 B1 CS 203588B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- discharge
- tube
- layer
- monomer
- substrate
- Prior art date
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 22
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 claims 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000013047 polymeric layer Substances 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
Description
ČESKOSLOVENSKÁ SOCIALISTICKÁ
REPUBLIKA (19)
POPIS VYNÁtElU K AUTORSKÉMU OSVĚDČENÍ (22) Přihlášeno 07 12 78 (21) (PV 8124-78)' (40) Zveřejněno 30 06 80 203588 (11) (Bl) (51) Int Cl.3G 01 N 19/10
ÚŘAD PRĎ VYNÁLEZYA OBJEVY (45) Vydáno 15 06 83 (751
Autor vynálezu JANČA JAN RNDr. CSc., SODOMKA LADISLAV RNDr. CSc.a BALÁS VRATISLAV RNDr. CSc., BRNO (54) Způsob výroby hygrometrického čidla pro měření vlhkostivzduchu, plynů a par 1
Vynález se týká způsobu výroby hygro-metrického čidla pro měření vlhkosti vzdu-chu, plynů a par.
Pro měření vlhkosti se v současné doběpoužívají hygrometrická čidla s funkční vrst-vou tvořenou kysličníkem hlinitým, vytvoře-nou oxidací v různých elektrolytech. U tako-vých čidel se zpravidla projevuje pokles ka-pacity s časem. Známa jsou rovněž hygro-metrická Čidla s funkční vrstvou tvořenouvrstvou polymeru. Tato čidla jsou podstatněcitlivější rna změnu vlhkosti, především v o-boru atmosférických vlhkosti. U těchto či-del není podmínkou, aby základní kovovávrstva byla hliníková, a rovněž proces stár-nutí je podstatně pomalejší. Polymerovévrstvy jsou u těchto čidel nanášeny máče-ním, což znemožňuje regulaci tloušťky vrst-vy, přičemž máčením se vytvářejí pouze po-měrně silné vrstvy. Dalším nedostatkem jeomezený výběr polymerních látek vhodnýchpro nanášení máčením.
Uvedené nedostatky odstraňuje způsob vý-roby hygrometrického čidla, tvořeného zá-kladní dielektrickou vrstvou, vrstvou kovu apolymerní vrstvou podle vynálezu, jehožpodstata spočívá v tom, že se polymernívrstva nanáší polymerací monomeru, výhod-ně benzenu, toluenu) nebo pyridinu o parci-álním tlaku 1,33 až 10,6 Pa ve výbojovém203588 2 plazmatu, výhodně pak v bezelektrodovémvysokofrekvenčním plazmatu o frekvenci vrozmezí 500 kHz až 2400 MHz.
Hygrometrické čidlo podle vynálezu je tvo-řeno základní kovovou vrstvou vytvořenouna skleněném nebo jiném dielektrickém pod-kladu například metodou vakuového napařo-vání, dále vrstvou polymeru a horní kovo-vou vrstvou, která je rovněž vytvořena va-kuovým napařováním a je dostatečně tenká,obvykle 100 A, aby byla prostupná pro mole-kuly vody.
Polymerní vrstva je nanášena ve výbojo-vém plazmatu, ve kterém polymerují plynya páry sloučenin, které při použití obvyk-lých chemických metod nepolymerují. K po-lymeraci dochází v plazmatu doutnavého vý-boje a to stejnoměrného i střídavého, v ti-chém výboji, v koronovém výboji a ve vyso-kofrekvenčním výboji s elektrodami nebobez nich. Rychlost polymerace závisí na cel-kovém tlaku plynu ve výbojovém prostoru,na parciálním tlaku monomeru, na přivede-ném výboji, teplotě a koncentraci elektronův plazmatu, teplotě neutrálního plynu v plaz-matu, teplotě substrátu a průtoku plynu přesvýbojový prostor.
Optimální podmínky pro plazmovou poly- meraci jednotlivých polýmerů jsou zcela spe- cifické.
Claims (2)
- 203S88 3 Pevný substrát, na který je nanášena vrs-tva polymeru se umísťuje, do výbojového pro-storu a to do místa s největší homogenitouvýboje. Nejvhodnější je použití průtokovéhorežimu, kdy nosný plyn protéká spojitě sparami monomeru výbojovým prostorem aje odsáván vývěvou. Parciální tlak monome-ru nesmí být příliš vysoký, neboť při velkékoncentraci monomeru dochází k objemovépolymeraci a na substrát v tomto případědopadají vločky polymeru z výboje, čímž jevytvářená vrstva znehodnocena. Vynález je blíže objasněn v příkladechprovedení pomocí připojených obrázků, po-mocí nichž je zkonkretizován technologickýpostup výroby hygrometrického čidla. Na obr. 1 jsou znázorněny možnosti ulo-žení substrátu v pouzdře tak, aby byl umož-něn dotyk výbojového plazmatu pouze na po-žadovaných plochách. . Příklad viz obr.
- 2 . Substrát 7 s kovovou vrstvou je umístěn.na podložce 6 ve výbojové trubici 3 s vytvo-řitelným vakuovým plazmatem. Výbojová trubice 5 je opatřena uzemně-nými páskovými elektrodami 3, a páskovouelektrodou spojenou s· vysokofrekvenčním PREDM6T V Způsob výroby, hygrometrického čidla proměření vlhkosti vzduchu, plynů a par, tvoře-ného základní dielektrickou vrstvou, vrst-vou kovu a polymerní vrstvou, vyznačujícíse tím, že polymerní vrstva se nanáší poly-merací monomeru, výhodně benzenu, tolue- 4 generátorem, odnímatelným víkem 4 a vý-vodem k čerpací jednotce 10. K výbojovétrubici 5 je připojena U-trubice, jejíž jednorameno nese regulační ventil 1 pro vstupnosného' plynu, spojený s-vakuometrem 2.Druhé rameno U-trubice je opatřeno regu-lačním jehlovým ventilem 8 pro vstup parmonomeru spojeným se zásobníkem mono-meru 9. Po vyčerpání tlaku ve výbojové trubici Sna tlak 0,66 Pa je do jejího prostoru připouš-těn přes regulační ventil 1 argon nebo du-sík, jehož tlak je průběžně kontrolován, na-'čež je do trubice přes ventil 8 připouštěnmonomer a to benzen. Po dosažení parciál-ního tlaku 1,33 až 10,6 Pa se zapálí výboj, vkterémžto okamžiku dochází k polymeraci.Po dobu .5 až 15 minut působení výboje sevytvoří požadovaná vrstva o tloušťce 200 až2000 A, načež se výbojový prostor zaplnínosným plynem. Po dosažení atmosférické-ho tlaku lze substrát s nanesenou polymer-ní vrstvou z výbojového prostoru vyjmout. . Vynález lze použít zejména pro kontinuál-ní měření vlhkosti plynů v oboru relativníchvlhkostí 3 až 100 %. VYNALEZU nu nebo pyridinu o parciálním tlaku 1,33 až. 10,6 Pa ve výbojovém plazmatu, výhodně vbezelektrodovém vysokofrekvenčním plaz-matu o frekvenci v rozmezí 500 kHz až 2400 MHz. / o. p., xívod 7, Mott
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS812478A CS203588B1 (en) | 1978-12-07 | 1978-12-07 | Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS812478A CS203588B1 (en) | 1978-12-07 | 1978-12-07 | Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS203588B1 true CS203588B1 (en) | 1981-03-31 |
Family
ID=5431408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS812478A CS203588B1 (en) | 1978-12-07 | 1978-12-07 | Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS203588B1 (cs) |
-
1978
- 1978-12-07 CS CS812478A patent/CS203588B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Xu et al. | Quartz crystal microbalance sensor array for the detection of volatile organic compounds | |
| Kurosawa et al. | Detection of deposition rate of plasma-polymerized films by quartz crystal microbalance | |
| EP0178071B1 (en) | Moisture sensor and process for producing same | |
| Bashir et al. | Plasma polymerization in a microcapillary using an atmospheric pressure dielectric barrier discharge | |
| US4393434A (en) | Capacitance humidity sensor | |
| EP2681541A1 (fr) | Capteur d'humidite comprenant comme couche absorbante d'humidite une couche polymerique comprenant un melange de polyamides | |
| JPS60228949A (ja) | 被検混合ガス中の還元ガスを検知する方法及びそのための装置 | |
| JP2012013620A (ja) | Ｑｃｍデバイス及びｑｃｍデバイスを用いた気体分子の検出方法 | |
| CS203588B1 (en) | Method of making the hydrometric sensor for measuring the humidity of air, gases and vapours | |
| Duval et al. | Polymerization of benzene in a capacitively coupled RF plasma | |
| KR101124868B1 (ko) | 마그네트론 스퍼터링을 위한 방법 및 장치 | |
| JP4078426B2 (ja) | ガスセンサー素子 | |
| JP2003183832A (ja) | 放電プラズマ処理方法 | |
| Zor et al. | QCM humidity sensors based on organic/inorganic nanocomposites of water soluble-conductive poly (diphenylamine sulfonic acid) | |
| CN118425299A (zh) | 一种基于黑磷薄膜的气体声波传感器及其制备方法和应用 | |
| Chang et al. | Odorant sensor using lipid-coated SAW resonator oscillator | |
| CN110243930A (zh) | 一种声表面波甲醛气体传感器 | |
| Kurosawa et al. | Adsorption of anti-C-Reactive Protein Monoclonal Antibody and Its F (ab′) 2 fragment on Plasma-Polymerized Styrene, Allylamine and Acrylic Acid Coated with Quartz Crystal Microbalance | |
| Radeva et al. | Humidity sensing properties of plasma polymer coated surface transverse wave resonators | |
| RU2165614C1 (ru) | Способ повышения чувствительности газовых сенсоров | |
| JPS6395347A (ja) | 湿度センサ | |
| JP3170909B2 (ja) | ガス検出素子の製造法 | |
| SU892655A1 (ru) | Способ изготовлени пъезорезонансного датчика | |
| JPH0750258A (ja) | 水晶振動子式ラジカルビームモニタ | |
| Xiang et al. | Thickness-shear-mode acoustic-wave sensor based on n-butylamine plasma-deposition film for detection of carboxylic acid vapours |