CS201113B1 - Semiconductor device particularly the semiconductor diode with ammeliorated permeability characteristics - Google Patents

Semiconductor device particularly the semiconductor diode with ammeliorated permeability characteristics Download PDF

Info

Publication number
CS201113B1
CS201113B1 CS762262A CS226276A CS201113B1 CS 201113 B1 CS201113 B1 CS 201113B1 CS 762262 A CS762262 A CS 762262A CS 226276 A CS226276 A CS 226276A CS 201113 B1 CS201113 B1 CS 201113B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
semiconductor
voltage
diode
semiconductor device
current
Prior art date
Application number
CS762262A
Other languages
Czech (cs)
Inventor
Gert Beister
Michael Haubold
Gerfried Heise
Klaus Rogge
Original Assignee
Gert Beister
Michael Haubold
Gerfried Heise
Klaus Rogge
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gert Beister, Michael Haubold, Gerfried Heise, Klaus Rogge filed Critical Gert Beister
Publication of CS201113B1 publication Critical patent/CS201113B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D8/00Diodes
    • H10D8/70Tunnel-effect diodes
    • H10D8/75Tunnel-effect PN diodes, e.g. Esaki diodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D1/00Resistors, capacitors or inductors
    • H10D1/40Resistors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/81Bodies

Landscapes

  • Bipolar Transistors (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Abstract

The semiconductor diode, for use as a rectifier or radiation source, has its forward bias properties improved by having an n+p+n- or p+n+p- structure. The current flowing through the highly doped n+p+ or p+n+ junction when this junction is reverse biased is essentially a tunnel current. The differently doped layers are produced by ion implantation. This diode structure considerably reduces the forward bias voltage by improvising the special relationship between space charge regions and makes the diode particularly suitable for electronic wrist watches.

Description

Vyiález se týká polovodičového zařízení, zejména polovodičové diody se zlepšenou ohar^akterd^fi^kri^c^u prspιutnocti pro ^ráití jaro ^l-ovocii^vý usměrňovač nebo poL.ovodLc^ový vysílač - záření a polovodičový ukazatel vyslajíeí záření·Vyiález relates to semiconductor devices, in particular semiconductor diodes having improved OHA ^ r ^ fi ^ akterd cri ^ C ^ u p p ro ^ rspιutnocti RAIT I r o ^ L ^ fruit deflector means or the P L ov ^ ý .ovodLc transmitter - radiation and semiconductor indicator emitting radiation ·

Je známo, ie v přechodu PN existuje v důsledku difúze děr z oblasti - P do - oblasti N a elektronů z oblasti N do oblasti P v rovnovážném stavu difúzní napětíIt is known that in the PN junction there is a diffusion voltage due to the diffusion of holes from the - P to - N region and the electrons from the N to P region at equilibrium

přičemž značí N^ koncentraci akceptorů v oblasti P, k Boltzmannovu kointantu, - T teplotu, q elementá:ιrní náboj, Np ksncentr1a5i donorů na straně N a n^ teoretickou ^ηοοη^ηο! elektronů a děr čistého ideálního polovodiče bez dotování· Toto difúzní napptí Vp je polováno tak, že proudy jím vyvolané působí proti difútnta proudům (plus na oblasti N, m.mua na obliti P) Při připojení vnějšího U, které je polováno opačně vzhledem k difúznímu napětí VD> se zmeinií potlačení difúzníoh proudů - jde o propustný směr. Při stanném polování jako u difúzního napětí V-p zesílí vnější napětí pro potlačování difúzníoh proudů - jde o závěrný směr· V nejjednoduěším - případě, který postačí k ‘popisu vynálezu, je možno vyjádřit ohirakteristiku proud - tappjí, určovanou difúzním proudy,where N koncentraci denotes the acceptor concentration in the P region, to the Boltzmann cointant, T T temperature, q the elementary charge, N β of the donor concentration on the N side, and n teoret theoretic ηοοη ^ ηο! of electrons and holes of pure ideal semiconductor without doping · This diffuse voltage Vp is polarized so that currents induced by it counteract the diffuse currents (plus on the N, m.mua and on the rounding P) When connecting an external U which is polarized opposite to the diffuse The voltage VD> is changed by the suppression of diffuse currents - it is the forward direction. In martial poling as with the diffuse voltage V-p, the external voltage for suppressing diffuse currents will increase - this is the reverse direction. In the simplest case, sufficient to describe the invention, it is possible to express the current-tapping characteristic of diffuse currents.

201 113201 113

201 113 rovnicí201 113 equation

přičemž značí jfl proudovou hustotu naeyoení, která hávisí jen na vlastnostech polovodiče, a nikoliv na připojeném napětí. Čím větší je šířka mezi valeněním pásmem a vodivým pás mem polovodiče, tím menší jsou hodnoty jfl a n^· Malá teoretická koncentrace elektronů a děr čistého ideálního polovodiče bez dotování n^ znamená však velké difúzní napětí Z toho vyplývá, že charakteristika propustnosti přechodů PN v polovodičích s velkou šířkou mezi valenčním pásmem a vodivým pásmem dosáhne teprve při vyšších napětích toku stejných hodnot proudové hustoty J, , jako v polovodičích в menší šířkou mezi valenčním pásmem a vodivým pásmem. Tak zvané prahové napětí, tj, napětí, resp. potřebné napětí na polovodičové diodě na přechodu PN v propustném směru pro proudové hustoty větší —3 —2 nebo rovné 5 x 10 A cm , je tedy určeno v podstatě druhem použitého polovodičového ma teriálu.wherein J denotes current density fl naeyoení which HAVIS only on the properties of the semiconductor rather than on the connected voltage. The greater the width between the rolling band and the conducting band of the semiconductor, the smaller the values j fl and ^ · The small theoretical concentration of electrons and holes of pure ideal semiconductor without doping n ^ means a large diffusion voltage. Only at higher flux voltages with a large width between the valence band and the conductive band reach the same current density values J, as in semiconductors in the smaller width between the valence band and the conductive band. The so-called threshold voltage, ie. the required voltage across the semiconductor diode at the PN junction in the forward direction for current densities of greater than -3-2 or equal to 5 x 10A cm is thus determined essentially by the type of semiconductor material used.

Je známo, že polovodičové usměrňovače, jejichž působení spočívá na vytvoření přechodu PN, nebo diody vysílající záření potřebují pro provoz napětí, které je určeno druhem polovodičového materiálu a prakticky se může málo ovlivnit volbou koncentrace dotování NA a Np,It is known that semiconductor rectifiers whose action is to create a PN junction or radiation emitting diodes need a voltage to operate, which is determined by the type of semiconductor material and can practically be little influenced by the choice of doping concentration N A and Np,

U polovodičových usměrňovačů, u kterých usměrňovači účinek není vyvolán přechodem PN, nýbrž přechodem Schottkyho, je známo dosáhnout zlepšené oharakteristiky propustnosti, tedy zvýšení propouštěného proudu při malých propustných napětích výhodnou volbou materiálových kombinací, například druhem materiálu a odpovídajícími technologickými kroky pro výrobu přechodu Schottkyho,For semiconductor rectifiers in which the rectifying effect is not caused by the PN junction but by the Schottky junction, it is known to achieve improved throughput characteristics, i.e., an increase in the throughput current at low throughput voltages by the advantageous choice of material combinations, e.g.

Nedostatkem známých polovodičových zařízení s přechody PN, zejména diod, je to, že mají poměrně vysoká napětí v propustném směru a velký úbytek napětí potřebný pro provoz v propustném směru. Zmenšení takovýchto energetických ztrát znamená rozšíření možností použití pro diody vysílající záření v těch přístrojích, jejichž potřeba energie se musí krýt z baterie, například v hodinkách, kapesních počítačích, atd,, a současně to znamená zvýšení jejich účinnosti.A disadvantage of the known semiconductor devices with PN junction, especially diodes, is that they have relatively high forward-voltage voltages and a large voltage drop required for forward-mode operation. Reducing such energy losses means extending the application possibilities for radiation emitting diodes in those devices whose energy needs must be met by the battery, such as watches, handheld computers, etc., while increasing their efficiency.

Účelem vynálezu je vyvinout polovodičové zařízení s podstatně menším napětím a energetickou ztrátou, zejména pro použití jako ukazatelů vysílajících záření v náramkových hodinkách, které se musí provozovat s monočlánky.The purpose of the invention is to provide a semiconductor device with a substantially lower voltage and energy loss, in particular for use as radiation emitting indicators in wristwatches which must be operated with monocouples.

Úkolem vynálezu je zlepšiti charakteristiku propustnosti polovodičového uspořádání, zejména polovodičových diod,vysílajících světlo a polovodičových usměrňovačů odpovídajícím prostorovým uspořádáním pásem prostorových nábojů na přechodu PN,It is an object of the present invention to improve the permeability characteristics of a semiconductor arrangement, in particular of a light emitting semiconductor diode and a semiconductor rectifier, by corresponding spatial arrangement of the spatial charge bands at the PN junction,

Tento úkol se řeší polovodičovým uspořádáním, u kterého v důsledku prostorového uspořádání pásem prostorových nábojů na přechodu PN nepůsobí proti napětí, připcdenému zvenku na polovodičové zařízení v propustném směru, původní difúzní napětí Vp, nýbrž naThis problem is solved by a semiconductor arrangement in which, due to the spatial arrangement of the spatial charge bands at the PN junction, the original diffusion voltage Vp does not counteract the external voltage applied to the semiconductor device in the forward direction, but

201 113 samotném polovodičovém zařízení se provádí komenzace původního dlfúzního napětí VD· Tím se dosáhne strmějšího nárůstu propouštěného proudu při propustném napetdí, nežli je - tomu u jednoduchého přechodu·201 113 of the semiconductor device itself compensates for the original long-voltage voltage V D · This achieves a steeper increase in the throughput current at the throughput voltage than in a simple transition ·

Podle vynálezu se tohoto vhodného prostorového ' uspořádání pásem prostorových . nábojů na echodu pN dosáhne strukturami Ií+P+N nebo stírukturami P+h+P· Vysoce do*tované přechody - N*P+ 9 popřípadě p4J se při zatlení tfohto ' struktur v propustném směru- ( při stru^urách l^P4^ je plus na H4 , minus na Nj při strukturách р+К*К je ^nus na p4 t plus je na. p) provozují v závěinxém směru. Diftoní napětí vysoce dotovaných přecho je ve strukturách směrováno proti dfúznímu napětí prost;orově navazují^ch p4ft , ^přípa^ N4p přechodů.According to the invention, this suitable spatial arrangement of the spatial zones. cartridges, for instance ec h ODU p N d os oh no structures II + P + N no b of stírukturami P + h + P · High to * Tovan E Go - N + P + 9, in addition P and DE p4J with p s zatlení tfohto ' structures in p ro p oral - direction (when stru ^ urach l ^ P 4 is p lus to H 4, a minus Nj when structures р + К * К is ^ nus P4 t plus is. p) operates the shutter of inxém direction. Diftoní high voltage to tovanýc h BC echo dU is directed in the structures P Roti dfúznímu voltage of the prostate; orov of follow-ch p4 ft ^ N ^ The situations 4p transitions.

podle vynálezu jsou vysoce dotované přeciio^ N+p+ , popřípadt р+н+ , vytvoiřeny tak, že při provozu těchto přechodů v závěrném směru, tedy při provozu celé struktury К+р+П 9 popř:ípadt P4^4? v propustném smerut je závérný proud vysoce dotovanych přechodů v podstatě tunelovým proudem. Vysoce dotované přechody působí tedy jako přechody tunelovým diod. Závěrné napětí struktury je určeno echody p4H , popř^a^ N4p , navazujícdmi na vysoce dotované přechody. Zlepšení charakteristiky propuutnooti se dosáhne tím, že tunelový proud vysoce -dotovaných přechodů ve střední obbasti, například oblast p+ struktury - N+p+tf nebo oblast N4 struktíuy’ p+N+p , vytvářejí přídavné mjoritní nosiče. U známých přechodů PN bez vysoce, dotovaného přídavného pásma, například u přechodů P4N nebo N4p ,- nastaví se tokem takový dav, že dif^úzní napětí .se v ^s^d^ prostorového posunutí rozdělení elektronů a děr tokem proudu zmenší o hodnotu napětí, připojeného zvenku, při zanemání jiných napěíových ztrát. U drudur podle vyndezu se proudovým zatížením struktury v propustném směru vytvoří ve střední oblasti přídavně nosiče rábojú stejného typu jako srtováním, to znamená kíry v odasti p4 stiudury N4p4® a elektaony’ v onasti N4 struktury p4^4p. - Tím se zm^i^E^:í toytek d^zního napětí na celé struktuře a -tím 1 na přech^odu p4K , -rew· N+p. Tento jev se však může změěd.tj mlá dotace iontů vyvdá nejdříve nepatrné difúzn^ho napětí na struktuře, toto pak, při konstantním vnější napěěí, další proudu, což znamená přídavné zvětšení děr v ob i as ti P4 druktury p4p4N a eledronů v obl.aati N4 struktury p4p4p , aW. Konečně se nastaví dav, při kterém je napěíový úbytek na struktuře určen v poddal jen ješ^ napěíovým úbytkem na vysoce ^tovaném přechodu ť^4, resp. a na zbývající pásmu ^ostorov^o nátoje v rázto^tova^ odasti p, resp. N, jakd 1 ztrátám1 na dporech dráhy. Při uvážení vzájemného polování těchto napějí dostane se pro celou strukturu N4P4N, resp. p4N4p, při zaHžení proutóem menší prahové ' napětí nežli pro jetoráuctó přechody p4N, resp. _p4p. p ccording to the invention are high in Tovan s přeciio ^ n + p +, p OPŘ Ip and dt р + н + vytvoiřeny such that during operation of these transitions in the reverse direction, i.e. in the operation of the entire structure К + р + П 9 p O P :: pa dt P 4 ^ 4 ? p in the oral direction T of the barrier rou p d tovanych transitions high to substantially tunnel current. Highly subsidized transitions thus act as tunnel diode transitions. É voltage barrier structure is determined by a straight ec h dy P4 H or ^ and ^ N 4p, navazujícdmi on highly doped transitions. Propuutnooti improved characteristics are achieved by a tunnel current high -dotovaných obbasti transitions in the middle, for example, p + region of the structure - N + P + tf not the area b 4 struktíuy N 'p + n + p, form additional mjoritní carrier. In the known pn junctions without highly doped additional bandwidth, for example at the crossings P 4 N N No b of 4p, - the flow is set to the AC crowd Z e ^ f di of the Zn in the tension .se ^ s ^ d ^ spatial displacement distribution of electrons and holes by the current flow is reduced by the voltage connected outside, p s zanemání other example of ium losses. For drudur according vyndezu the current load structure in the forward direction formed in the central area of the additional carrier rábojú same type JA to the SRT OC and n Im t o is Kiryu in odasti p4 stiudury N 4p4 ® and elektaony 'in onasti N 4 structure p4 ^ 4p . - T m is changed ^ i ^ E ^: s ^ d toytek NIH overloading on the whole structure and -The Rech 1 P ^ o d u K p4 - REW · N + P. However, this phenomenon can změěd.tj MLA grant ions diffuse marry off first small-to-voltage structure, that then, when a constant outer napěěí, additional current, which means an additional increase in the hole with the ob and P 4 and N p4p4 druktury in eledronů obl.aati N 4 structures p4p4p, aW . Finally set crowd P s which is the voltage drop of the íový of TE to the structure to the surrendered only Ješ napěíovým UB ^ y ^ tkem on high-linking REC h ODU t ≤ 4, res p. and on the remaining zone of the charge islands in the impact p and b respectively. N, how 1 losses 1 on track supports. Considering the mutual polarization of these stresses, N 4 P 4 N, res p is obtained for the entire structure. p4 4p N, P s zaHžení proutóem smaller threshold 'voltage than p ro p Rech jetoráuctó soil p4 N, respectively. _ p4p .

Je účelné vyráběti polovodičové zařízení podle vynálezu dotací iontů. Zejména je výhodné vytvořit takto vysoce dotované vrstvy, zlepšuuící otaMrartearLdiku propiusnodi, t.j. u přechodu p^T ed odastí p4 vrstvu u přeohodu N4p před obn-astí N4 vrdvu P4. . Tento způsob dovoluje vytvářet úzké prostorové rozměry potíebró pro -tuneloIt is expedient to produce the semiconductor device according to the invention by ion-doping. It is particularly advantageous thus to create a highly doped layer zlepšuuící otaMrartearLdiku propiusnodi, i.e. with p řechodu p ^ T E D BC odastí p4 layer of up eoho M4P d u e p of d-OBn Asti N 4 P vrdvu fourth . This method allows creating at ZKE spatial dimensions for potíebró -tunelo

201 ИЗ vý účinek vysoce dotovaných přechodů· Dotace lontů dovoluje také zhotovit přídavnou vysooe dotovanou vrstvu co nejtenčí, což je například důležité pro diody vysílající záření pro zabránění přídavných ztrát záření, vytvářeného na přechodu P*M, resp· H+P, absorpcí v této vrstvě·201 ИЗ effect of high-doped transitions · Linting also allows to make the additional high-doped layer as thin as possible, which is important, for example, for radiation emitting diodes to prevent additional loss of radiation generated at P * M or · H + P tier ·

Přednosti polovodičového zařízéní podle vynálezu spočívají ve zmenšení napětí v propustném směru a ve snížení energetických ztrát, které se vyskytují při provozu polovodičových diod, jako polovodičových usměrňovačů a polovodičových vysílačů záření· Pro polovodičové vysílače záření se tím zejména zvýší účinnost·The advantages of the semiconductor device according to the invention are that the forward voltage is reduced and the energy losses that occur in the operation of semiconductor diodes, such as semiconductor rectifiers and semiconductor emitters, are reduced.

Současně se dosáhne zvýšení stability těchto konstrukčních prvků, nebol jejich tepelné zatížení se v důsledku snížení energetických ztrát rovněž sníží· V důsledku malých napětí v propustném směru se oblast použití těchto polovodičových zařízení zvětší, například polovodičové vysílače záření se stanou vhodnějšími pro použití v náramkových hodinkách·At the same time, the stability of these components is increased, since their heat load is also reduced as a result of reduced energy losses. · Due to low forward voltage, the field of application of these semiconductor devices will increase, for example semiconductor emitters become more suitable for wristwatches.

Vynález bude v dalším textu blíže objasněn na příkladu provedení za pomoci připojených výkresů, kde je sohematioky znázorněno na obr· 1 polovodičové zařízení podle vynálezu, na obr· 2 prostorové rozdělení koncentrace dotování v polovodičovém zařízení a na obr· 3 schéma prostorového průběhu pásem pro polovodičové zařízení·The invention will be explained in more detail below with reference to the accompanying drawings, in which FIG. 1 shows the semiconductor device according to the invention, FIG. 2 shows the spatial distribution of the doping concentration in the semiconductor device and FIG. equipment·

Pro příklad provedení byla zvolena struktura K^P^K· Souřadnice j (obr· 1) označuje vzdálenost kolmo к povrchu polovodičového tělíska do objemu tohoto tělíska· Povroh leží při x 0· Výroba struktur K+P*K podle obr. 1 a prostorovým rozdělením koncentrace dotování podle obr· 2 se provádí iontovou dotací akoeptorů, přičemž koncentrace akoeptorů Ид se vytváří až do hloubky x2 v polovodičovém tělísku s koncentrací dotování Npg· Kato se opět iontovou dotací donorů v této vrstvě vytvoří přídavná konoentraoe donorů až do hloubky Xp Koncentrace а Кд , jakož i prostorové rozšíření přechoduFor example, the structure K ^ P ^ K has been chosen. · The coordinate j (Fig. 1) denotes the distance perpendicular to the surface of the semiconductor body to the volume of the body · The surface lies at x 0 · Production of the K + P * K structures by distributing the doping concentration according to FIG. 2, ion doping of the receptors is effected, whereby the concentration of the receptors дd is generated up to a depth x 2 in a semiconductor body with a doping concentration of Npg. а Кд as well as the spatial extension of the transition

K+P* při se přitom zvolí tak, aby při připojení napětí U na strukturu K+PtCÍ v propustném směru (kladný pól na K4, záporný pól na K) tento přechod K*P+ fungoval Jako tunelová dioda a proud vyvolaný tímto napětím U v tomto přechodu K+P+ je tedy v podstatě tunelový proud 1^· Koncentrace а Кд , jakož i prostorové rozšíření přechodu K+P+ se známým způsobem zvolí jako u tunelových diod·K + P * is selected so that when the U voltage is applied to the K + PtCI structure in the forward direction (positive pole to K 4 , negative pole to K), this transition K * P + acts as a tunnel diode and the current induced by this voltage Thus, in this K + P + transition, essentially the tunnel current 1 ^ · The concentration а Кд as well as the spatial extension of the K + P + transition is chosen in a known manner as for tunnel diodes ·

Obr· 3, ve kterém je schematicky znázorněn prostorový průběh pásů, tedy energie elektronů E v závislosti na hlouboe x , ukazuje funkci struktury K^P^K při polování v propustném směru·Fig. 3, which schematically depicts the spatial progression of the strips, ie the energy of the electrons E as a function of the depth x, shows the function of the structure K ^ P ^ K in the forward direction polarization ·

Celá struktura N+P+N má výsledné difúzní napětí , které je rovno rozdílu difúzního napětí Vp přechodu P+K a difúzního napětí přechodu N+PÍ Protože přechod n+p'*’ působí jako tunelová dioda, teče při malýoh hodnotáoh připojeného napětí U již velký závěrný proud přechodu N+P+, který je v podstatě tunelovým proudem Iaj· Přídavná konoentraoe děr. vznikající v důsledku tohoto proudu v oblasti P+, kompenzuje svým působením prostorového náboje částečně difúzní napětí V^. přičemž již vysvětlený jev se může využít zesilujícím způsobem· Celkový proud propouštěný strukturou κ+ρ^ΙΤThe whole structure of N + P + N has a resulting diffuse voltage equal to the difference of the diffuse voltage Vp of the P + K transition and the diffuse voltage of the N + P1 transition Because the n + p '*' transition acts as a tunnel diode, already a large reverse current of the N + P + transition, which is essentially a tunnel current I and j · Additional konoentraoe holes. resulting from this current in the P + region , by its action of the space charge, it compensates for the partially diffuse voltage V ^. whereby the already explained phenomenon can be used in an amplifying way · Total current transmitted through the structure κ + ρ ^ ΙΤ

201 113 je roven I*T· V obharti P+ a v oblasti N pokračuje jako difúzní proud děr a elektronů u nejčastějáích druhů polovodičů, hlavně však'jako difúzní proud elektronů 1^ (rekombinace s rami v objati p+ je na obr· 3 schemticky znázorněna souradnlo! Ijjj)· Kommenzující účinek koncentrací děr, vytvořených prostřednictvím Iaj . ' v oblasti p+ na diftfzní napětí VD , vede cenově, v rámci vzájemného ^ctip^sobe^ napětí na přechodu E*P+ a p+H , ke z^^erá cterakterLstiky рго?!^^^!· ^ostorové rozšíření obJLasti N, p+ a H+ je tak velké, že je možné vytvoření pásem prostorového ntooje prech^u N+p+ a p+N. DalJí ^žadavky vyplynou . - ze speciátaí^ případů poiuiií) u diod vykajících záření mtuí býti například χ, tedy rozšíření oblas ti N+, co nejmee^, aby se odstranily pMdavně ztráty eMse zuření v - důsledku absorpce a rozměr oblnsti p+, tedy x2 - x^ , misí být -tak -vel.ký, . aby se mohla provést co ne;jÚpXiaějáí rekombinace e^ktronů dif Lízni ho proudu a ^raM uvd.tř obi^at^X p+·201,113 is equal to I * T · P + V obharti and in the N continues as a diffusion current of holes and electrons at the most frequent types of semiconductors, especially však'jako electron diffusion current 1 ^ (S de rami recombination in the p + encircled in Fig 3 · The cognitive effect of the concentrations of holes formed by I and j. In the region of p + to the diffusion voltage VD, the voltage at the transition of E * P + and p + H leads to an inexpensive expansion of the region in the region of the transition voltage E * P + and p + H. N, P + and H + is so large that it is possible to produce a p p ASEM rostorov it ntooje Přech é ^ u n + p + and p + N ^ Dalja requirements emerge. - from speciátaí ^ cases poiuiií) with diodes vykajících radiation mtuí be for instance χ, namely the extension zone of the Ti n + what nejmee ^, and would remove pMdavně losses Emsey raging in - Dusla dk u b sorption and size of the zone of P +, i.e. x 2 - x ^, mission to be - so - large,. and could not as p rovést; jÚpXiaějáí recombination e ^ KTron Draw it dif p rou d ua ^ mM uvd.tř obi ^ at ^ X p + ·

Claims (2)

1· polovodičové zařízení, zejména polovodičová- dioda se zlepšenou cta^rakterlstikcu proputno^i pro poráití jako ^lovod^ový usměrnovač neto polovodi^vý vfsílač zářetí, vyzm^uící se tím, že mí stiiukturu respektdLve p+N+p s rozdílně dotovaným vrstvaM, přičemž při cdpocídajííí.kcntcetra¢i dotování - a geomeerickych rozměrech vysoce dotovaných echodů - N+p+, respektdlve p4H4, je proud při provozu těchto - přechodů.při závěrném zatížení tunelový proud·1 · a semiconductor device, particularly polovodičová- diode with improved CTA ^ rakterlstikcu proputno ^ i P ro poráití as ^ lovod ^ AC regulate No. Neto semi-above VF í lac Zaret, vyzm-bore formed in, that E mu stiiukturu respektdLve p + N + p, with differently doped layers, wherein at cdpocídajííí.kcntcetra ¢ and doping - a highly doped geomeerickych dimensions eg from ec h u - n + p + p4 respektdlve H 4, the flow during operation of - přechodů.při reverse tunnel current load · 2· polovodičové zařízení podle bodu 1, vyznaauuící se tím, ie nejméně jedna z rozdílně dotovaných vrstev je zhotovena dotací iontů·A semiconductor device according to claim 1, characterized in that at least one of the differently doped layers is made by ion doping ·
CS762262A 1975-04-15 1976-04-06 Semiconductor device particularly the semiconductor diode with ammeliorated permeability characteristics CS201113B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD185436A DD118336A1 (en) 1975-04-15 1975-04-15 SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT, PARTICULARLY SEMICONDUCTOR DIODE WITH IMPROVED TRANSMISSION LINE

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS201113B1 true CS201113B1 (en) 1980-10-31

Family

ID=5499938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS762262A CS201113B1 (en) 1975-04-15 1976-04-06 Semiconductor device particularly the semiconductor diode with ammeliorated permeability characteristics

Country Status (5)

Country Link
CS (1) CS201113B1 (en)
DD (1) DD118336A1 (en)
DE (1) DE2603935A1 (en)
FR (1) FR2308207A1 (en)
IT (1) IT1058060B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2719457A1 (en) * 1977-04-30 1978-11-02 California Linear Circuits Inc Ion:implanted pn junction - has thin recombination layer of dopant concentration intermediate that of two junction regions

Also Published As

Publication number Publication date
DE2603935A1 (en) 1976-10-28
DD118336A1 (en) 1976-02-20
FR2308207B3 (en) 1979-01-05
FR2308207A1 (en) 1976-11-12
IT1058060B (en) 1982-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Milnes Heterojunctions and metal semiconductor junctions
US4984034A (en) Non-single-crystalline light emitting semiconductor device matrix with insulation
JPH08512430A (en) Schottky barrier rectifier with MOS trench
Cuadra et al. Type II broken band heterostructure quantum dot to obtain a material for the intermediate band solar cell
Pirouz The concept of quasi‐Fermi level and expansion of faulted loops in SiC under minority carrier injection
WO2013168367A1 (en) Semiconductor device
US20120009709A1 (en) Silicon light emitting device utilising reach-through effects
US3043959A (en) Semi-conductor device for purposes of amplification or switching
Gorji et al. The effects of recombination lifetime on efficiency and J–V characteristics of InxGa1− xN/GaN quantum dot intermediate band solar cell
JPS5874076A (en) semiconductor element
Van der Ziel Metal pn Schottky barrier diodes
Van Gelder On the structure of the d2J/dV2 characteristics of point contacts between metals
Wang et al. Injection modulation of p+–n emitter junction in 4H–SiC light triggered thyristor by double-deck thin n-base
Hogan et al. 3D GaN-based betavoltaic device design with high energy transfer efficiency
CS201113B1 (en) Semiconductor device particularly the semiconductor diode with ammeliorated permeability characteristics
US3398334A (en) Semiconductor device having regions of different conductivity types wherein current is carried by the same type of carrier in all said regions
CN201430143Y (en) Reverse blocking diode thyristor
Somano Characteristics of Semiconductor Diode and Its Application
CN101515584B (en) Diode chip integrated through MOS technological structure
JPH0645645A (en) Light-emitting element
Bouzid et al. Modeling and simulation of a high power InGaP/GaAs heterojunction alphavoltaic battery irradiated by americium-241
US4228453A (en) (III) Plane gallium arsenide IMPATT diode
Khan et al. Demonstration and Comparison of GaN/Sapphire and InGaP pin devices for Tritium Betavoltaic Power Source
Ohyama et al. Radiation-induced lattice defects in InGaAsP laser diodes and their effects on device performance
SU1749955A1 (en) Solid-state device