CN2906906Y - 一种离子源引出电极系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。本实用新型结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；加速电极镶嵌式结构更换操作方便，解决了以前一般引出电极系统的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体器件制造控制系统，特别涉及一种离子源引出电极系统。
背景技术
在半导体制造工艺设备离子注入机中，离子源引出系统是整机设备关键部件之一，其与离子源本体结合在一起构成离子注入机的核心部件-----离子源系统；其决定了离子注入机诸多性能指标，不仅决定离子源系统的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品质及束稳定性能，同时与离子注入机其他光学部件匹配结合决定整机离子光学系统的束流传输效率和整机的生产效率。
离子注入机离子源引出电极系统一般采用的是加减速三电极结构，反复实验及长期使用情况表明，离子源引出系统各个电极位置及加速电极缝结构参数对离子引出束流及束品质有着极其重要的影响：一方面，离子源工作于高温环境中，引出电极系统在高温及工作一段时间后容易发生热变形和移位现象而引起电极不对中问题；另一方面，加速电极缝工作一段时间后由于受高温、高能离子束溅射作用而慢慢扩大，产生电极结构参数上的变化；上述这些现象所带来的问题是直接影响离子源引出束流品质及整机的束传输效率和束流大小。
发明内容
本实用新型是针对现有离子注入机技术中引出电极系统容易发生热变形和移位现象而引起出引出电极不对中以及加速电极缝受离子束溅射作用而产生电极结构参数变化而影响引出束流及束品质问题，采用新型结构的离子源引出电极系统，该系统将各电极设计于一整体，并将加速电极设计成可更换式镶嵌结构，解决了以前一般引出电极系统所有的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
本实用新型通过以下技术方案实现：
一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。
本实用新型具有如下显著优点：
1、结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；
2、加速电极镶嵌式结构更换操作方便。
附图说明
图1是本实用新型的剖面图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参考图1，新型结构的离子源引出电极系统，其包括：连接杆1、屏蔽筒2、减速电极3、绝缘子4、加速电极座5、加速电极6、连接螺钉7。
其中：连接杆1连接固定整引出电极系统；屏蔽筒2为4个，屏蔽绝缘子4，防止绝缘子4溅射污染；减速电极3为高纯石墨材料，具有良好的耐高温、抗溅射性能，通过绝缘子4固定加速电极座5，将整加减速电极系统连接于一体；绝缘子4为4个，将加速电极6与减速两电极3间电位隔离；加速电极座5为高纯石墨材料，镶嵌安装加速电极6；加速电极6为高纯石墨材料，镶嵌在加速电极座5上，实现加速电极6的方便更换；连接螺钉7将整引出电极系统固定安装于连接杆1上。
本实用新型采用耐高温的高纯石墨材料，在结构设计上充分考虑结构紧凑性，将各电极设计于一整体，解决各部件工作一段时间后由于高温热效应导致的电极间相对位置发生移位变化问题；同时，加速电极设计成可更换式镶嵌结构，当加速电极引出缝尺寸变大时可方便地进行更换，而不需更换整个电极系统。这样，解决了以前一般引出电极系统所有的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
这样新型结构的离子源引出电极系统结构连接稳定可靠，具有抗热变形、抗高温离子溅射性能好特点；同时结构连接操作方便，保证长期工作的可靠稳定性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (2)
1.一种离子源引出电极系统，其特征在于：包括连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极，其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。
2.如权利要求1所述的离子源引出电极系统，其特征在于：屏蔽筒为4个，绝缘子为4个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2006200129831U CN2906906Y (zh) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 一种离子源引出电极系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2006200129831U CN2906906Y (zh) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 一种离子源引出电极系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2906906Y true CN2906906Y (zh) | 2007-05-30 |
Family
ID=38115550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2006200129831U Expired - Fee Related CN2906906Y (zh) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 一种离子源引出电极系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2906906Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102347191A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-02-08 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种分体式离子源引出电极系统 |
| CN102347190A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-02-08 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种分体式离子源引出电极系统 |
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2006
- 2006-04-07 CN CNU2006200129831U patent/CN2906906Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN102347191A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-02-08 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种分体式离子源引出电极系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20070530 |