CN2881967Y - 薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 - Google Patents
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2881967Y CN2881967Y CN200520094779.4U CN200520094779U CN2881967Y CN 2881967 Y CN2881967 Y CN 2881967Y CN 200520094779 U CN200520094779 U CN 200520094779U CN 2881967 Y CN2881967 Y CN 2881967Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film
- magneto
- resistance
- magnetic
- power consumption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻，总电阻值为500～800KΩ，在两个薄膜磁敏电阻中间，引出在旋转磁场下有正弦波形输出的电压信号输出端。利用薄膜制造技术、微机械加工技术和半导体平面工艺制造的一种高灵敏度、低功耗的磁阻传感元件，用于测量物体的旋转速度、旋转角度以及位置等，目前主要应用领域为流量计、电子水表、电子煤气表、热量计、位移检测、转速检测等。在用电池长期供电的低功耗仪表中，其低功耗性能具有不可比拟的应用价值。
Description
技术领域 本实用新型涉及流量仪表中的传感元件，一种薄膜磁阻器件。
背景技术 目前，大多数低功耗电子仪表都是采用电池长期供电。作为一种服务设施的仪表，都是分散安装在用户处，因此对电池的超期服役监管是这类装置应用中的主要问题。终端表丧失工作动力，从而导致远程系统管理无法运行。所以，应力求一种低消耗能量的器件用于这类仪表中。
发明内容 本实用新型的目的是提供一种用在流量仪表中的薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，内阻大，达到500～800KΩ，在功耗5V电源工作条件下，工作电流小于10微安。
本设计的薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻，总电阻值为500～800KΩ，在两个薄膜磁敏电阻中间，引出在旋转磁场下有正弦波形输出的电压信号输出端。
这种薄膜型低功耗强磁体磁阻传感器件，利用薄膜制造技术、微机械加工技术和半导体平面工艺等高新技术制造的高新技术产品。是一种高灵敏度、低功耗的磁阻传感元件，主要用于测量物体的旋转速度、旋转角度以及位置等。由于该器件属低功耗器件，在用电池长期供电的低功耗仪表中，有其不可比拟的应用价值，目前主要应用领域为流量计、电子水表、电子煤气表、热量计、位移检测、转速检测等。
附图说明
附图1是本设计薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件等效电路示意图；
附图2是磁阻传感器件芯片电路版图的示意图；
附图3是磁阻传感器件输出信号曲线图；
附图4是磁阻传感器件在流量仪表中应用示意图；
具体实施方式
利用“30纳米磁性薄膜的制造方法”CN03133649.3制造的磁性薄膜，加工出图1、图2所示薄膜磁阻传感器件，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：在与直流电源相连的电路中串连两个薄膜磁敏电阻Ra、Rb，总电阻值为500～800KΩ，分别有引出脚1、3，在两个薄膜磁阻Ra、Rb中间，引出如图2所示输出端2。经这个输出端2输出的是如图3所示，在旋转磁场下呈现正弦波形的电压信号。
当流体进入仪表腔体时，推动了仪表顶部镶嵌有一磁性体的叶轮旋转，在仪表腔体尺寸确定的条件下，叶轮旋转速度与流体流量成正比，薄膜磁阻传感器件通过感应旋转的磁场信号，输出正弦波形的电压信号。输出的正弦波形电压信号经过放大电路，对信号放大、比较处理后，转换为脉冲信号，实现对流量的计量，见图4所示。
本设计流量仪表的薄膜低功耗强磁体磁阻器件的主要性能指标为：
| 项目 | 符号 | 条件 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
| 全电阻 | RT | B＝5mT；θ＝45° | 500 | 650 | 800 | K Ω |
| 中点电位 | VC | VCC＝5V；B＝5mT；旋转磁场 | 2.47 | 2.50 | 2.53 | V |
| 输出电压 | VO | VCC＝5V；B＝5mT；旋转磁场 | 30 | 75 | mVp-p | |
| 工作电压 | VCC | DC | 5 | 10 | V | |
| 工作温度 | T | -40 | 120 | ℃ | ||
| 存储温度 | TS | -50 | 150 | ℃ |
Claims (1)
1、薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件，是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路：在与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻，总电阻值为500～800KΩ，在两个薄膜磁敏电阻中间，引出在旋转磁场下有正弦波形输出的电压信号输出端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200520094779.4U CN2881967Y (zh) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200520094779.4U CN2881967Y (zh) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2881967Y true CN2881967Y (zh) | 2007-03-21 |
Family
ID=37881807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200520094779.4U Expired - Fee Related CN2881967Y (zh) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2881967Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109061529A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-12-21 | 中国科学院微电子研究所 | 一种测量有机半导体的有机磁阻的方法 |
| WO2019148726A1 (zh) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 中国科学院力学研究所 | 一种电阻式应变传感器 |
-
2005
- 2005-12-16 CN CN200520094779.4U patent/CN2881967Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019148726A1 (zh) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 中国科学院力学研究所 | 一种电阻式应变传感器 |
| CN109061529A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-12-21 | 中国科学院微电子研究所 | 一种测量有机半导体的有机磁阻的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104197827B (zh) | 一种双z轴磁电阻角度传感器 | |
| CN201795805U (zh) | 采用巨霍尔效应磁性敏感元件的磁性编码器 | |
| CN103592484B (zh) | 一种用于防强磁铁对电子式电能表产生误差影响的防窃电方法 | |
| CN2881967Y (zh) | 薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件 | |
| CN202351418U (zh) | 基于磁阻效应和磁场叠加的微小磁场测量装置 | |
| CN104990597A (zh) | 磁脉冲式电子水表 | |
| CN205941657U (zh) | 一种智能变频电动执行器的电流检测电路 | |
| CN202033405U (zh) | 一种电流测量装置 | |
| CN204575226U (zh) | 一种用于探测微弱应力的传感器 | |
| EP2180329A3 (en) | Magnetic sensor apparatus | |
| CN202915881U (zh) | 一种金属基体上非金属覆层测厚仪 | |
| CN204043603U (zh) | 一种双z轴磁电阻角度传感器 | |
| CN207067062U (zh) | 一种基于dsp的涡流检测系统 | |
| CN106092227A (zh) | 基于三级放大电路及电源管理器的液体体积流量监控系统 | |
| CN204203260U (zh) | 一种基于巨磁阻抗效应的转速传感器 | |
| CN204043604U (zh) | 一种单芯片偏轴磁电阻z-x角度传感器和测量仪 | |
| CN209559915U (zh) | 钴基非晶丝转速测量仪 | |
| CN208012623U (zh) | 一种为霍尔传感器提供偏置电压的系统 | |
| CN105136220A (zh) | 一种导电液体体积流量检测装置 | |
| CN209820546U (zh) | 一种防磁计量装置 | |
| CN205102775U (zh) | 一种基于mlx90316的磁性角度传感器 | |
| CN1693837A (zh) | 磁位移传感器 | |
| CN203672432U (zh) | 高精度低功耗膜式燃气流量积算仪 | |
| CN206848359U (zh) | 一种高精度电流测量电路 | |
| CN206489256U (zh) | 霍尔效应数字开关测试装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20070321 Termination date: 20100118 |