CN2870088Y - 全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构 - Google Patents
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 2
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
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Abstract
全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构，属于辐射加工技术领域。它包括加速管、漂移管、扫描电磁铁及带离子泵的扫描盒，扫描盒的顶部放置扫描电磁铁并与漂移管通过法兰盘二连接，漂移管的上端通过法兰盘一与加速管连接。其结构特点是，加速管和扫描盒由支架定位与固定，法兰盘二、法兰盘一均采用薄边法兰以焊接方式连接，加速管采用带排气口的驻波加速结构。本实用新型同现有技术相比，提高了加速器运行的稳定性和密封性，使整体体积变小，并可直接在高温排气炉内整体排气，省去漫长的加速管真空排气老练过程。更具备工程实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及辐射加工技术领域，特别是以电子束加速器为辐射源的辐照装置。
背景技术
电子束辐照技术是利用加速器产生一定能量(1MeV～20MeV)的电子束对不同物品产生的生物和物理效应，从而达到对物品进行改质或者消毒灭菌处理的目的。近年来电子束辐照技术在工业加工、消毒灭菌、杀虫、保鲜等领域得到了蓬勃发展。一般应用加速器产生一定能量的电子束，并由钛窗引出，这些加速器包括：行波或驻波电子直线加速器，直流高压型加速器，高频高压加速器等。被辐照物品由束下机械传输装置将物品匀速地通过由钛窗引出的电子束区域，完成辐照。其中加速管与扫描盒是系统的核心部件，扫描盒上端通过法兰与加速管相连，下端用法兰对钛窗进行密封固定。因为加速器工作时，加速管与扫描盒的内部要保持高真空状态，防止电子丢失与加速管内部打火，内部真空度是加速器运行中的一个重要参数。一般情况，加速管与扫描盒在大气中通过法兰连接后要进行一个长时间的排气过程，而且加速器工作时经常因为系统气密性不好或者排气不彻底导致真空度低而无法正常工作。加速管也只能选用真空度要求较低的而体积较大的行波加速管。为此，本申请人于2002年12月31日申请了一项中国专利“一种内藏离子泵式扫描装置”，专利号ZL02159993.9。它是将真空离子泵内藏于扫描盒中，减少了真空流阻损失，提高了真空离子泵的工作效率和系统的真空度，同时使整体结构简单规则，使自屏蔽形式更加紧凑，利于扫描装置小型化。但在实际应用中，该专利技术存在结构钢性差、密闭效果不够理想的缺点。
发明内容
为了克服上述现有技术中存在的缺点，本实用新型的目的是在ZL02159993.9号专利的技术基础上，提供一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构。提高加速器运行的稳定性和密封性。同时，在全密封一体化结构中可选用真空度要求高的驻波结构加速管，使整体体积变小，更利于电子束辐照装置的小型化。
为了达到上述的发明目的，本实用新型的技术方案以如下方式实现：一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构，它包括加速管、漂移管、扫描电磁铁及带离子泵的扫描盒。扫描盒的顶部环绕放置扫描电磁铁并与漂移管通过法兰盘二连接。扫描盒的底部通过法兰盘三紧固由钛箔材料构成的引出窗。漂移管的上端通过法兰盘一与加速管连接。其结构特点是，所述加速管和扫描盒之间通过支架定位与固定。法兰盘二、法兰盘一均采用薄边法兰以焊接方式连接。加速管采用带排气口的驻波加速结构。
本实用新型由于采用了上述的结构形式，将加速管和带离子泵的扫描盒之间通过支架定位与固定，大大提高了整体结构的钢性。另外法兰盘二、法兰盘一采用薄边法兰以焊接方式连接，保证了非常高的气密性。加速管采用带排气口的驻波加速结构，有利于装置的小型化，并且可将其直接放在高温排气炉内整体排气，气体可经排气口排除，从而省去漫长的加速管真空排气老练过程，使内部真度达到10-7pa以上。本实用新型同现有技术相比，更具备工程实用性，提高了加速器使用过程中的真空稳定性及有效利用率。
附图说明
附图为本实用新型的结构示意图。
下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。
具体实施方式
参看附图，本实用新型包括加速管1、漂移管3、扫描电磁铁5及带内藏式离子泵6的扫描盒7。加速管1采用带排气口11的真空度要求高的驻波加速结构。扫描盒7的顶部环绕放置扫描电磁铁5并与漂移管3通过法兰盘二4连接。扫描盒7的底部通过法兰盘三10紧固由钛箔材料构成的引出窗9。漂移管3的上端通过法兰盘一2与加速管1连接。加速管1与漂移管3之间的法兰盘一2使用薄边法兰以焊接的方式进行连接。漂移管3与扫描盒7之间的法兰盘二4使用薄边法兰以焊接的方式进行连接，保证非常高的气密性。扫描盒7内设有真空离子泵组件形成离子泵6，离子泵6具有较大的抽速，可以维持本实用新型工作时的高真空度要求。加速管1与扫描盒7之间通过支架8进行相对固定，防止它们在安装、使用过程中出现相对位移，使各薄边法兰焊接处受力而遭到损坏，同时支架8也是本实用新型在加速器系统中安装时的定位与固定部件。法兰盘一2、法兰盘二4可以通过边缘切除的方式进行多次焊接，保证重要部件可以重复使用。本实用新型在整体连接完成之后，整体放入高温排气炉中进行烘烤排气，本实用新型结构内部的气体经加速管1的排气口11排除，可以使内部真空度达到10-7Pa以上。
Claims (1)
1、一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构，它包括加速管(1)、漂移管(3)、扫描电磁铁(5)及带离子泵(6)的扫描盒(7)，扫描盒(7)的顶部环绕放置扫描电磁铁(5)并与漂移管(3)通过法兰盘二(4)连接，扫描盒(7)的底部通过法兰盘三(10)紧固由钛箔材料构成的引出窗(9)，漂移管(3)的上端通过法兰盘一(2)与加速管(1)连接，其特征在于，所述加速管(1)和扫描盒(7)之间通过支架(8)定位与固定，法兰盘二(4)、法兰盘一(2)均采用薄边法兰以焊接方式连接，加速管(1)采用带排气口(11)的驻波加速结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200520136584 CN2870088Y (zh) | 2005-12-31 | 2005-12-31 | 全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200520136584 CN2870088Y (zh) | 2005-12-31 | 2005-12-31 | 全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2870088Y true CN2870088Y (zh) | 2007-02-14 |
Family
ID=37725026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200520136584 Expired - Lifetime CN2870088Y (zh) | 2005-12-31 | 2005-12-31 | 全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2870088Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103068146A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 江苏达胜加速器制造有限公司 | 一种具有高真空密封系统的加速器 |
| CN104717821A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-06-17 | 同方威视技术股份有限公司 | 电子帘加速器安装结构 |
| US9136794B2 (en) | 2011-06-22 | 2015-09-15 | Research Triangle Institute, International | Bipolar microelectronic device |
-
2005
- 2005-12-31 CN CN 200520136584 patent/CN2870088Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9136794B2 (en) | 2011-06-22 | 2015-09-15 | Research Triangle Institute, International | Bipolar microelectronic device |
| CN103068146A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 江苏达胜加速器制造有限公司 | 一种具有高真空密封系统的加速器 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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|
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Effective date of abandoning: 20090812 |
|
| C25 | Abandonment of patent right or utility model to avoid double patenting |