CN2795916Y - 光电编码电机控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光电编码电机控制装置，属于半导体器件制造领域。该装置包括直流电机(4)，电机控制板(1)，电机驱动电路板(2)，增量式光电编码盘(3)；增量式光电编码盘(3)是电机状态参数的反馈传感单元，其将参数反馈给电机控制板(1)，电机控制板(1)在对增量式光电编码盘(3)获得直流电机(4)的各个参数与预先设定参数进行比较后，向电机驱动电路板(2)输出控制信号，电机驱动电路板(2)接收电机控制板(1)的控制信号后直接向直流电机(4)输出所需的驱动电压。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体器件制造装置，特别涉及一种制造半导体器件的离子注入机中的光电编码电机控制装置。
背景技术
现有半导体集成电路制造技术中，随着集成度越来越高和电路规模越来越大，要求电路中单元器件尺寸越来越小，于是对半导体器件制造设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备，其整机可靠性、生产效率、晶圆的精确传送控制、晶圆注入角度定位控制及全自动控制等性能都与其内部的光电编码电机密切相关。
目前使用的光电编码电机控制装置的控制精度低，对晶圆不同位置的识别、晶圆的缺口定位、晶圆的注入角度等均不能很好的完成，并且由于光电编码电机运行不稳导致了靶室晶片传送效率低，晶圆碎片率高以及整机稳定性和可靠性差。
实用新型内容
本实用新型克服了现有技术的缺点，提供了一种对光电编码电机控制精度高，使之运行稳定的光电编码电机控制装置。
本实用新型包括：电机控制板、增量式光电编码盘、直流电机、电机驱动电路板。其中，增量式光电编码盘是电机状态参数的反馈传感单元，电机控制板是在对增量式光电编码盘获得电机的各个参数与预先设定参数进行比较后，向电机驱动电路板输出控制信号，电机驱动板是接收电机控制板的控制信号后直接向直流电机输出所需的驱动电压。
本实用新型提高了编码电机的控制精度，保证了编码电机运行中平滑而不抖动，最终实现对晶圆不同位置的识别、晶圆的缺口定位、晶圆的注入角度定位，大大提高了晶片传送效率、降低碎片率、提高了离子注入机整机的自动程度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为直流电机加速度-时间曲线图。
图1中：
1-电机控制板；2-电机驱动电路板；
3-增量式光电编码盘；4-直流电机。
图2中：横轴t代表时间，纵轴a代表加速度。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构和工作原理做进一步说明：
如附图1所示，本实用新型包括：电机控制板1，电机驱动电路板2，增量式光电编码盘3和直流电机4。
所述的电机控制板1是针对直流电机4所要求的运行模式和曲线来进行参数设定。电机控制板1的内部设有芯片HCTL-1100，该芯片通过对增量式光电编码盘3获得直流电机4的各个参数与芯片预先设定的参数进行比较后，向直流电机驱动电路板2输出相应的直流电机4运行方向及其控制信号。
所述的电机驱动电路板2是直接向直流电机4输出所需的驱动电压。
所述的直流电机4是本实用新型的执行机构。
所述的增量式光电编码盘3是作为直流电机4运动速度、加速度、位置、运动方向的反馈传感单元。
在光电编码盘上均匀刻有500线的条码，旋转一周时会产生500个脉冲数，电机控制板内的芯片HCTL-1100从这些脉冲中获得方向上相差90°的两组A和B的脉冲数，并将脉冲数定义为直流电机4的运行位置，当A组超前B组90°时，定义为直流电机4正向旋转，当B组超前A组90°时，定义为直流电机4反向旋转。
对电机控制板1编程，可灵活的定义多种直流电机4的运行模式。
如附图2所示，本实施例中采用加速度梯形模式下点到点的位置控制，即直流电机向目标位置运行分为三个阶段，开始为加速运动，当接近目标位置时，速度减慢、调整，最终平稳到达目标位置。电机控制板1内部芯片HCTL-1100内部拥有64个8bit寄存器，分别对应速度、加速度、位置、电机运行的补偿参数，芯片HCTL-1100直接从上述的脉冲获得的相应数据信息，并分别储存在芯片HCTL-1100固定的寄存器中，其中包含当前电机运行的位置、电机的运行速度、电机的运行加速度。同时电机控制板1上通过程序预先设定了电机运行的模式、速度、加速度、运行的目标位置、电机运行过程中的动态补偿参数等，芯片HCTL-1100在控制的过程中自动的通过对反馈与设定的数据的比较处理，芯片HCTL-1100实时自动修整电机运行参数，将电机平滑的运行到目标位置，当设定的目标位置与实际反馈的位置相差在一定的范围内时，芯片HCTL-1100停止输出控制信号，电机驱动电路板2输出的电压基本为零，当反馈的位置接近目标位置时，芯片HCTL-1100仍会输出较小控制信号，此时电机驱动电路板2输出的较小电压使的直流电机低速继续运行到目标位置，而不产生振荡。
Claims (2)
1.一种光电编码电机控制装置，其特征在于该装置包括：直流电机(4)，电机控制板(1)，电机驱动电路板(2)，增量式光电编码盘(3)；增量式光电编码盘(3)是电机状态参数的反馈传感单元，其将参数反馈给电机控制板(1)，电机控制板(1)在对增量式光电编码盘(3)获得直流电机(4)的各个参数与预先设定参数进行比较后，向电机驱动电路板(2)输出控制信号，电机驱动电路板(2)接收电机控制板(1)的控制信号后直接向直流电机(4)输出所需的驱动电压。
2.如权利要求1所述的光电编码电机控制装置，其特征在于电机控制板(1)的内部有芯片HCTL-1100。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200520017081 CN2795916Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 光电编码电机控制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 200520017081 CN2795916Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 光电编码电机控制装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2795916Y true CN2795916Y (zh) | 2006-07-12 |
Family
ID=36813669
Family Applications (1)
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| CN 200520017081 Expired - Fee Related CN2795916Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | 光电编码电机控制装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2795916Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107441726A (zh) * | 2016-05-31 | 2017-12-08 | 北京小米移动软件有限公司 | 控制电动玩具车的方法、装置及系统 |
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2005
- 2005-04-22 CN CN 200520017081 patent/CN2795916Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN107441726A (zh) * | 2016-05-31 | 2017-12-08 | 北京小米移动软件有限公司 | 控制电动玩具车的方法、装置及系统 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |