CN2770860Y - 多层硅片电火花切割固定夹具 - Google Patents

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孙志昌
刘和平
骆明普
王平
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Abstract

一种多层硅片电火花切割固定夹具，在上、下金属夹板中间叠放夹层薄金属片，将待加工硅片夹放在夹层薄金属片之间，间隔叠放的硅片与夹层薄金属片叠好后，围裹一层外层薄金属片，然后紧固上、下金属夹板上的紧固螺栓，使之压紧成叠块，将叠块放入线气割机卡头上，根据预置程序进行切割加工，该固定夹具利用线切割机切割夹层薄金属片时所产生的电火花熔化夹在夹层薄金属片之间的硅片，使多层硅片能同时被加工，所以它具结构简单、易于调整、使用方便和提高加工效率的优点。

Description

多层硅片电火花切割固定夹具
技术领域
本实用新型涉及一种机加工工件夹具，特别涉及一种多层硅片电火花切割固定夹具。
背景技术
目前，半导体行业对硅片加工通常采用划片、腐蚀的切割方法加工硅片，因此只能对硅片单片加工，而电火花线切割机通常只用于切割金属材料，而不能直接切割硅片，由于目前硅片加工手段不能一次同时加工多层硅片，所以生产效率低。
发明内容
鉴于现有技术存在的上述不足，本实用新型提供一种可用电火花线切割机直接切割硅片的多层硅片电火花线切割固定夹具。
本实用新型为实现上述目的所采取的技术方案是：多层硅片电火花线切割固定夹具由上金属夹板、下金属夹板、紧固螺栓、夹层薄金属片和外层薄金属片构成，其特征是所述上金属夹板、下金属夹板中间叠放夹层薄金属片，上、下金属夹板四角贯穿紧固螺栓，待加工硅片夹放在夹层薄金属片之间，间隔叠放的硅片与夹层薄金属片叠好后，围裹一层外层薄金属片，然后紧固上、下金属夹板上的紧固螺栓，使之压紧成叠块，将叠块放入线气割机卡头上，使叠块外侧与切割钼丝平行紧固于线切割机加工台面，根据预置程序进行切割加工。
由于本实用新型采用上述装置，利用线切割机切割夹层薄金属片时所产生的电火花，熔化夹在夹层薄金属片之间的硅片，达到了切割加工硅片的效果，该装置使多层硅片能同时被加工，所以它具结构简单、易于调整、使用方便的优点，改善了现有技术的不足，为提高生产效率提供了帮助。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图，并作为说明书摘要附图；
图中：1.硅片，2.夹层薄金属片，3.外层薄金属片，4.上金属夹板，5下.金属夹板，6.紧固螺栓。
具体实施方式
如图1所示，多层硅片电火花线切割固定夹具的上金属夹板(4)和下金属夹板(5)为厚2毫米的矩形钢板，其长宽尺寸大于待加工硅片(1)的尺寸；夹层薄金属片(2)和外层薄金属片(3)为厚0.2至0.4毫米黄铜片；在上金属夹板(4)和下金属夹板(5)中间叠放夹层薄金属片(2)和待加工硅片(1)；夹层薄金属片(2)和待加工硅片(1)间隔叠放，将其叠好后，围裹一层外层薄金属片(3)，然后紧固上、下金属夹板(4)、(5)上的紧固螺栓(6)，使之压紧成叠块，构成固定夹具整体。

Claims (1)

1.一种多层硅片电火花切割固定夹具由上金属夹板(4)、下金属夹板(5)、紧固螺栓(6)、夹层薄金属片(2)和外层薄金属片(3)构成，其特征是：所述上金属夹板(4)、下金属夹板(5)中间叠放夹层薄金属片(2)，上、下金属夹板(4)、(5)四角贯穿紧固螺栓(6)，待加工硅片(1)夹放在夹层薄金属片(2)之间，间隔叠放的硅片(1)与夹层薄金属片(2)叠好后，围裹一层外层薄金属片(3)，然后紧固上、下金属夹板(4)、(5)上的紧固螺栓(6)，使之压紧成叠块。
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