CN2537196Y

CN2537196Y - 一种静电消除仪器

Info

Publication number: CN2537196Y
Application number: CN 02205076
Authority: CN
Inventors: 孟至和
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2002-03-15
Filing date: 2002-03-15
Publication date: 2003-02-19
Anticipated expiration: 2012-03-15

Abstract

本实用新型是一种静电消除仪器，由外壳、放射源基板、同位素放射源、放射源夹板组成；外壳的前侧中央设置保护罩，后侧设保护罩；放射源基板上放置放射源，并设置于放射源夹板内，外壳包覆在放射源夹板外，放射源基板和放射源为圆板状。还可在放射源夹板的后面设置一保护罩，保护罩的后侧设置另一个壳架，框架内设置一风扇，在壳架和外壳之间设置一风扇电源；在此种结构中，放射源基板和放射源为圆环状。以上所述的静电消除仪器中的放射源是钚(Pu)－238，放射范围为100微居到100毫居。

Description

一种静电消除仪器

技术领域

本实用新型涉及微电子技术控制静电领域，具体涉及一种使用放射性源用于消除室内静电的仪器。

背景技术

静电的产生是一种很普遍的自然现象，任何两个物体的接触和分离都会产生静电。即使是同类物体，由于表面状态如表面污染、腐蚀、粗糙度等不同，在发生接触和分离时也会因为表面逸出功的差异产生静电。此外，通过静电感应或静电极化作用，可以使原来不带电的物体成为带电体。这种物体静电带电现象，可以表现于固体，也可表现于液体、气体和粉状体。

当静电的存在超过一定的限度(可以场强、电位或存储能量的形式体现)，且在其客观环境适应时，便会以其特有的不同模式对生产环境、产品和人身产生危害。一般来说，静电具有高电位、强电场的特点。在静电起电、放电过程中，有时会形成瞬时大电流放电和电磁脉冲，产生频谱很宽的电磁辐射场。另外，与常规电能量相比，静电能量比较小，在自然起电放电过程中，静电放电参数是不可控制的，是一种难于重复的随机过程。因此，它的作用往往被人们所忽视，但是它给人类造成的损失危害(包括产品危害和安全危害)却是惊人的。

在微电子技术领域，特别是半导体器件和磁头行业，由于静电危害造成成品率降低，每年损失上百亿美元。例如，在半导体器件生产车间，由于静电的吸附作用，尘埃很容易被吸附在芯片上，集成电路IC特别是超大规模集成电路VLSI的成品率会大大降低。在磁记录磁头行业，由于记录密度的迅速提高，巨磁阻磁感应源越来越小，静电敏感度越来越高，静电很容易造成磁头性能变差甚至变坏。而且，电子产品静电损坏具有隐蔽性，失效分析的复杂性，潜伏性以及随机性等特点。

由此可见，静电在工业生产中的危害是显著的。它不仅造成巨大的经济损失，而且直接威胁人员生命，财产及设备安全。因此，静电的防除是十分重要和必要的。静电防除的主要工作就是控制静电的产生、积累和释放。目前常用的静电防除方法有以下几种：

第一，接地—静电导体的合理接地，使物体保持有电荷泄漏的良好通道，且能限制导体电势为零。

第二，掺杂—使用抗静电剂，减小物体表面电阻率，从而形成防静电材料，用它来代替绝缘材料能有效消除静电积累，且能安全释放静电。

第三，加湿—提高环境的相对湿度，当相对湿度增加50％时，一般物体的静电带电量明显减少；当相对湿度在65％上时，几乎所有物体的表面电阻率都减小，提高了物体的电荷泄漏速率，避免静电积累。

第四，中和—采用离子风等静电消除器，中和带电体上的电荷，避免电荷的积累，使危险静电源不能形成。

上述方法的使用，虽然能除静电，但是使用上多有不便。为了减少静电对工业生产的危害，从二十世纪六十年代开始，就有相应的离子风机的问世。离子风机是通过电离空气分子，将正负离子吹向带电物体的表面，当这些正负离子和带电物体接触时，该表面就吸引相反极性的离子，中和聚集在产品和设备表面的静电。离子风机的消除静电的性能有衰减时间和平衡电压描述。衰减时间是描述离子风机消除静电的快慢，由单位时间内电离的离子数量决定；平衡电压是描述电离的正负离子数的比率，理想情况下平衡电压为零，若平衡电压较高，正负离子数量严重失衡，不但无法消除静电，还会使原来不带静电的物体带上静电。

发明内容

本实用新型的目的在于：克服已有技术的缺陷，提供一种使用放射源除静电的静电消除仪器。

本实用新型的目的是采用以下技术手段实现的：一种静电消除仪器，其特征在于：由外壳1、放射源基板9、同位素放射源10、放射源夹板7组成；外壳的前侧中央设置保护罩6，后侧设保护罩4；放射源基板9上放置放射源10，并设置于放射源夹板7内，外壳包覆在放射源夹板7外。

上述的一种静电消除仪器的放射源基板9和放射源10为圆板状。在上述的本实用新型结构中，可在放射源夹板7的后面设置一保护罩5，保护罩5的后侧设置壳架11，框架11内设置一风扇2，壳架11和外壳1之间设置一风扇电源3，在此种结构中，放射源基板和放射源为园环状。以上所述的静电消除仪器中的放射源是钚(Pu)-238，放射范围为100微居到100毫居。

本实用新型的突出优点在于：

第一，可以应用于易燃易爆等需要特殊安全防护的环境中，由于电离型离子机采用电放电原理，在易燃易爆环境中被禁止使用。

第二，采用本实用新型防除静电呈绝对的零平衡电压，能最大程度的防除静电。

第三，在放射源的寿命的使用期中，无需维护和校准。

第四，离子源干净，不存在离子发射器材料的逸出问题。

第五，无外加电能，放射源能不断产生离子对，故不产生运作费用。

第六，使用中，不会产生射频噪音而干扰工序控制。

第七，无需每年更换放射源，产品使用期可达100年以上。

附图说明

图1是本实用新型实施例之一，不设置风扇的结构图。

图2是图1所示基板9和放射源10组合结构示意正视图。

图3是本实用新型的实施例之二，设置风扇的结构图。

图4是图3所示基板9和放射源10组合结构示意正视图。

图5是图3所示基板9和放射源10组合结构示意侧示图。

图6是图3所示的本实用新型去掉外壳的结构立体示意图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型的结构作进一步的说明。

如图1所示，是本实用新型的一个实施例，其由外壳1、放射源基板9、同位素放射源10、放射源夹板7组成；外壳的前侧中央设置保护罩6，后侧设保护罩4；放射源基板9上放置放射源10、并共同设置于放射源夹板7内，外壳包覆在放射源夹板7外。这种结构的静电消除仪器的放射源为圆板状(如图2所示)。

如图3、图6所示，是本实用新型的另一个实施例，其由外壳1、放射源基板9、同位素放射源10、放射源夹板7组成；外壳的前侧中央设置保护罩6，后侧设保护罩4；放射源基板9上放置放射源10、并共同设置于放射源夹板7内，外壳包覆在放射源夹板7外，在放射源夹板壳架7的后面设置一保护罩5，保护罩5的后侧设置另一壳架11，壳架11内设置一风扇2，壳架11和外壳1之间设置一风扇电源3。在图3所示的结构中，放射源基板和放射源设计为园环状(当然并不限于圆环状)，如图4、5所示。

本实用新型的静电消除仪器的放射源是钚(Pu)-238，其放射范围为100微居到100毫居。

如图3所示的结构在静态情况下，放射源(10)会在1英寸以内产生α粒子，与空气碰撞，从而产生正负离子，风扇(2)将正负离子吹出，从而中和周围的静电，达到防除静电的功效。

如图1所示的结构主要用于离放射源1英寸之内的静电控制，在此结构中，无需设置风扇和电源便能达到防除静电的功效。

Claims

1、一种静电消除仪器，其特征在于：由外壳(1)、放射源基板(9)、同位素放射源(10)、放射源夹板(7)组成；外壳的前侧设置保护罩(6)，后侧设保护罩(4)；放射源基板(9)上放置放射源(10)，并设置于放射源夹板(7)内，外壳包覆在放射源夹板(7)外。

2、根据权利要求1所述的一种静电消除仪器，其特征在于：放射源基板9和放射源(10)为圆板状。

3、根据权利要求1所述的一种静电消除仪器，其特征在于：放射源夹板7的后面可设置一保护罩(5)，保护罩(5)的后侧设置壳架(11)，壳架(11)内设置一风扇(2)，壳架(11)和外壳(1)之间设置一风扇电源(3)。

4、根据权利要求1和权利要求2所述的静电消除仪器，其特征在于：放射源是钚(Pu)-238，放射范围为100微居到100毫居。

5、根据权利要求1和权利要求2所述的静电消除仪器，其特征在于：放射源基板(9)和放射源(10)为圆环状。