CN221155998U - 一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其涉及化学气相沉积炉辅助设备技术领域，包括壳体，所述壳体的两侧侧壁上连通设置有扩散斗和聚气斗，所述壳体的顶壁上开设有多个第一通槽，所述壳体的顶部活动设置有上盖，所述上盖的底部且位于多个第一通槽内设置有多块冷凝板，所述壳体的顶部设置有一对气缸，一对所述气缸的伸缩端与上盖的底部连接，所述壳体的顶部设置有第一进液管；本实用新型通过外置供液装置向第一进液管中输送清洗液，清洗液从多个喷头喷出来对多块冷凝板进行冲洗，再利用一对气缸带动多块冷凝板竖直向上移动，使多对刷条对多块冷凝板进行清理，无需人工进行清理，人员省时省力，提升了清洗的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积炉辅助设备技术领域，具体为一种化学气相沉积炉用尾气处理装置。
背景技术
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
如公告号为CN216320945U的实用新型专利中，公开了一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，通过在壳体内设置多块冷凝板，使化学气相沉积炉尾气中的焦油冷凝，来去除尾气中的焦油。
然而该实用新型在使用一段时间后，需要人员将上盖和多块冷凝板抽出来进行清理，人工清理费时费力，操作不便，因此一种化学气相沉积炉用尾气处理装置亟待开发。
实用新型内容
针对现有技术的上述不足，本实用新型提供一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，通过外置供液装置向第一进液管中输送清洗液，清洗液从多个喷头喷出来对多块冷凝板进行冲洗，再利用一对气缸带动多块冷凝板竖直向上移动，使多对刷条对多块冷凝板进行清理，无需人工进行清理，人员省时省力，提升了清洗的效率。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体，所述壳体的两侧侧壁上连通设置有扩散斗和聚气斗，所述壳体的顶壁上开设有多个第一通槽，所述壳体的顶部活动设置有上盖，所述上盖的底部且位于多个第一通槽内设置有多块冷凝板，所述壳体的顶部设置有一对气缸，一对所述气缸的伸缩端与上盖的底部连接，所述壳体的顶部设置有第一进液管，所述第一进液管一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体的顶壁上且位于每块冷凝板的两侧贯穿设置有多对第二进液管，每对所述第二进液管的底部连通设置有第三进液管，每个所述第三进液管上设置有多个喷头，所述壳体的顶部内壁上且位于每块冷凝板的两侧活动设置有多对刷条，多对所述刷条能够抵接到冷凝板上，所述壳体的底部连通设置有出液管，所述出液管上设置有阀门。
优选的，所述壳体顶部的内壁上且位于每块冷凝板的两侧设置有多对安装槽，每对所述安装槽内水平滑动设置有限位板，每个所述安装槽内设置有多个压缩弹簧，每个所述压缩弹簧一端与限位板远离冷凝板一侧的侧壁连接，另一端与安装槽的内壁连接，每个所述安装槽的底部开设有第二通槽，每个所述限位板的底部连接有L形板，每块所述L形板贯穿于第二通槽内且靠近冷凝板的侧壁与刷条连接。
优选的，每块所述限位板的两端设置有一对限位块，每个所述安装槽的侧壁上水平开设有一对限位槽，每对所述限位块水平滑动设置在对应的一对限位槽中。
优选的，所述壳体的底部设置多个支撑腿。
本实用新型提供了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，具备以下有益效果：
1.本实用新型通过外置供液装置向第一进液管中输送清洗液，清洗液从多个喷头喷出来对多块冷凝板进行冲洗，再利用一对气缸带动多块冷凝板竖直向上移动，使多对刷条对多块冷凝板进行清理，无需人工进行清理，人员省时省力，提升了清洗的效率；
2.本实用新型每块限位板的两端设置有一对限位块，每个安装槽的侧壁上水平开设有一对限位槽，每对限位块水平滑动设置在对应的一对限位槽中，每对限位槽对每对限位块进行限位，防止在滑动的过程中发生偏移。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型图1中A部分放大图；
图3为本实用新型B-B处的剖视图；
图4为本实用新型限位板的结构示意图。
图中：1、壳体；1-1、扩散斗；1-2、聚气斗；1-3、第一通槽；2、出液管；3、阀门；4、气缸；5、上盖；6、冷凝板；7、第一进液管；8、第二进液管；9、第三进液管；10、喷头；11、安装槽；11-1、第二通槽；11-2、限位槽；12、压缩弹簧；13、限位板；13-1、限位块；14、L形板；15、刷条。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-4所示，一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体1，所述壳体1的两侧侧壁上连通设置有扩散斗1-1和聚气斗1-2，所述壳体1的顶壁上开设有多个第一通槽1-3，所述壳体1的顶部活动设置有上盖5，所述上盖5的底部且位于多个第一通槽1-3内设置有多块冷凝板6，所述壳体1的顶部设置有一对气缸4，一对所述气缸4的伸缩端与上盖5的底部连接，所述壳体1的顶部设置有第一进液管7，所述第一进液管7一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体1的顶壁上且位于每块冷凝板6的两侧贯穿设置有多对第二进液管8，每对所述第二进液管8的底部连通设置有第三进液管9，每个所述第三进液管9上设置有多个喷头10，所述壳体1的顶部内壁上且位于每块冷凝板6的两侧活动设置有多对刷条15，多对所述刷条15能够抵接到冷凝板6上，所述壳体1的底部连通设置有出液管2，所述出液管2上设置有阀门3；所述壳体1顶部的内壁上且位于每块冷凝板6的两侧设置有多对安装槽11，每对所述安装槽11内水平滑动设置有限位板13，每个所述安装槽11内设置有多个压缩弹簧12，每个所述压缩弹簧12一端与限位板13远离冷凝板6一侧的侧壁连接，另一端与安装槽11的内壁连接，每个所述安装槽11的底部开设有第二通槽11-1，每个所述限位板13的底部连接有L形板14，每块所述L形板14贯穿于第二通槽11-1内且靠近冷凝板6的侧壁与刷条15连接；每块所述限位板13的两端设置有一对限位块13-1，每个所述安装槽11的侧壁上水平开设有一对限位槽11-2，每对所述限位块13-1水平滑动设置在对应的一对限位槽11-2中；所述壳体1的底部设置多个支撑腿。
其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，具体如下：
本实用新型中气缸4通过导线与外部的电控系统连接，以上设备以及连接方式为现有技术，在此不再过多赘述。
根据说明书附图1-4可知，本实用新型在使用时，将扩散斗1-1与化学气相沉积炉的尾气出口连通连接，尾气通过多块冷凝板6冷凝后通过聚气斗1-2向外排出，当长时间使用后需要对冷凝板6上的焦油进行清理时，首先打开出液管2上的阀门3，其次，启动与第一进液管7一端连通连接的外置供液装置，外置供液装置将清洗液输送到第一进液管7中，清洗液再流入多根第二进液管8和第三进液管9中，通过每根第三进液管9上连通连接的多个喷头10喷到冷凝板6上，来对冷凝板6进行初步的冲洗，再次，启动设置在壳体1顶部的一对气缸4，使一对气缸4的伸缩端竖直向上伸出来带动上盖5移动，上盖5带动底部连接的多块冷凝板6竖直向上移动，使抵接在每块冷凝板6两侧侧壁的每对刷条15来对冷凝板6进行清理，清理后的清洗液通过出液管2向外排出，最后将排出的清洗液进行收集；本实用新型通过外置供液装置向第一进液管7中输送清洗液，清洗液从多个喷头10喷出来对多块冷凝板6进行冲洗，再利用一对气缸4带动多块冷凝板6竖直向上移动，使多对刷条15对多块冷凝板6进行清理，无需人工进行清理，人员省时省力，提升了清洗的效率。
有一种实施的可能，由于每个压缩弹簧12一端与限位板13远离冷凝板6一侧的侧壁连接，另一端与安装槽11的内壁连接，每块L形板14贯穿于第二通槽11-1内且靠近冷凝板6的侧壁与刷条15连接，因此在压缩弹簧12的弹力下，能够带动限位板13和L形板14向冷凝板6的方向移动，进而使刷条15始终抵接到冷凝板6上，使冷凝板6竖直向上移动时刷条15对冷凝板6进行清理。
有一种实施的可能，每块限位板13的两端设置有一对限位块13-1，每个安装槽11的侧壁上水平开设有一对限位槽11-2，每对限位块13-1水平滑动设置在对应的一对限位槽11-2中，每对限位槽11-2对每对限位块13-1进行限位，防止在滑动的过程中发生偏移。
有一种实施的可能，壳体1的底部设置多个支撑腿，多个支撑腿对壳体1进行支撑。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)的两侧侧壁上连通设置有扩散斗(1-1)和聚气斗(1-2)，所述壳体(1)的顶壁上开设有多个第一通槽(1-3)，所述壳体(1)的顶部活动设置有上盖(5)，所述上盖(5)的底部且位于多个第一通槽(1-3)内设置有多块冷凝板(6)，其特征在于，所述壳体(1)的顶部设置有一对气缸(4)，一对所述气缸(4)的伸缩端与上盖(5)的底部连接，所述壳体(1)的顶部设置有第一进液管(7)，所述第一进液管(7)一端封闭，另一端连接有外置供液装置，所述壳体(1)的顶壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧贯穿设置有多对第二进液管(8)，每对所述第二进液管(8)的底部连通设置有第三进液管(9)，每个所述第三进液管(9)上设置有多个喷头(10)，所述壳体(1)的顶部内壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧活动设置有多对刷条(15)，多对所述刷条(15)能够抵接到冷凝板(6)上，所述壳体(1)的底部连通设置有出液管(2)，所述出液管(2)上设置有阀门(3)。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其特征在于，所述壳体(1)顶部的内壁上且位于每块冷凝板(6)的两侧设置有多对安装槽(11)，每对所述安装槽(11)内水平滑动设置有限位板(13)，每个所述安装槽(11)内设置有多个压缩弹簧(12)，每个所述压缩弹簧(12)一端与限位板(13)远离冷凝板(6)一侧的侧壁连接，另一端与安装槽(11)的内壁连接，每个所述安装槽(11)的底部开设有第二通槽(11-1)，每个所述限位板(13)的底部连接有L形板(14)，每块所述L形板(14)贯穿于第二通槽(11-1)内且靠近冷凝板(6)的侧壁与刷条(15)连接。
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其特征在于，每块所述限位板(13)的两端设置有一对限位块(13-1)，每个所述安装槽(11)的侧壁上水平开设有一对限位槽(11-2)，每对所述限位块(13-1)水平滑动设置在对应的一对限位槽(11-2)中。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，其特征在于，所述壳体(1)的底部设置多个支撑腿。
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