CN221155634U - 一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 - Google Patents
一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN221155634U CN221155634U CN202322946019.2U CN202322946019U CN221155634U CN 221155634 U CN221155634 U CN 221155634U CN 202322946019 U CN202322946019 U CN 202322946019U CN 221155634 U CN221155634 U CN 221155634U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- filter screen
- outer cylinder
- cylinder body
- edge
- filtering device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 24
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 18
- 239000010931 gold Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 59
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 37
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 7
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 2
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
本实用新型属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，包括外筒体、精滤滤网安装骨架、粗滤滤网安装骨架、精滤滤网及粗滤滤网，精滤滤网安装骨架设置于外筒体内侧，精滤滤网安装骨架上安装有精滤滤网，粗滤滤网安装骨架设置于精滤滤网安装骨架内侧，粗滤滤网安装骨架上安装有粗滤滤网。本实用新型通过设置粗滤滤网与精滤滤网两层组合的过滤方式，分层拦截而避免所需拦截的金属膜或光阻膜全部堆积在同一个滤网上，既可防止大片金属膜或光阻膜在短时间内堵住滤网，也防止了较多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力；在提高过滤效率的同时，可降低设备停机维护的频次，降低过滤系统的使用成本。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置。
背景技术
现有技术中的基于撕金去胶工艺后的过滤装置，一般为一个或多个串联的罐体或腔体，每个罐体或腔体中一般仅设有一层具有过滤网的过滤组件进行过滤，而这种设计会存在一些问题。如过滤网孔径偏小，虽然能够满足过滤要求减轻后端过滤器过滤压力时，但该滤网会经常容易堵塞，需要经常停机维护。如过滤网孔径偏大时，该过滤网的过滤效果会较差，会使后端过滤器频繁堵塞更换，使用成本变高。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，包括外筒体、精滤滤网安装骨架、粗滤滤网安装骨架、精滤滤网及粗滤滤网；
所述精滤滤网安装骨架设置于所述外筒体内侧，所述精滤滤网安装骨架上安装有所述精滤滤网，所述粗滤滤网安装骨架设置于所述精滤滤网安装骨架内侧，所述粗滤滤网安装骨架上安装有所述粗滤滤网；
所述外筒体的外周面上分别设有与所述外筒体的内部相连通的进液口及出液口；待过滤液体从所述进液口进入外筒体的内部后先流入所述粗滤滤网安装骨架的内侧，液体流过所述粗滤滤网安装骨架及粗滤滤网被粗过滤，接着流过所述精滤滤网安装骨架及精滤滤网被精过滤，之后位于所述精滤滤网安装骨架外侧的被过滤液体从所述外筒体的出液口流出。
所述精滤滤网的孔径大小小于所述粗滤滤网的孔径大小，所述精滤滤网与所述粗滤滤网之间具有间隙。
所述外筒体的底面中部开设有与该外筒体的内部相连通的排液口，所述排液口上设有用于控制排液口开闭的阀门，所述外筒体的内腔底面由远离所述排液口处至靠近所述排液口处逐渐向下倾斜。
所述外筒体的上端开口，所述外筒体的内侧面上部位置上设有环状支撑边沿，所述进液口位于所述环状支撑边沿的上方，所述出液口位于所述环状支撑边沿的下方；
所述精滤滤网安装骨架的顶部向外周延伸设有抵接边沿A，所述抵接边沿A搭接于所述环状支撑边沿上，位于所述抵接边沿A下侧的所述精滤滤网安装骨架的外周面及底面上分别设有所述精滤滤网；
所述粗滤滤网安装骨架的顶部向外周延伸设有抵接边沿B，所述抵接边沿B搭接于所述抵接边沿A上，位于所述抵接边沿B下侧的所述粗滤滤网安装骨架伸入至所述精滤滤网安装骨架的内侧，位于所述抵接边沿B下侧的所述粗滤滤网安装骨架的外周面及底面上分别设有所述粗滤滤网。
所述环状支撑边沿与所述抵接边沿A之间设有密封圈A。
所述外筒体的上端开口安装有上盖。
所述外筒体的上端开口处向外周延伸有卡接边沿，所述上盖的外周边沿与所述外筒体的卡接边沿通过卡箍固定。
所述上盖的外周边沿与所述外筒体的卡接边沿之间设有密封圈B。
所述粗滤滤网安装骨架的顶部向上延伸设有压接架，所述压接架的顶部与所述上盖的底面抵接，所述压接架的外周开设有若干个液体通过口。
所述外筒体外周面上凸设有若干个安装凸台，每个所述安装凸台上均开设有若干个用于安装使用的螺纹孔或通孔。
本实用新型的优点与积极效果为：
1.本实用新型通过设置粗滤滤网与精滤滤网两层组合的过滤方式，分层拦截而避免所需拦截的金属膜或光阻膜全部堆积在同一个滤网上，既可防止大片的金属膜或光阻膜在短时间内堵住滤网，也防止了较多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力。
2.本实用新型在提高过滤效率的同时，可降低设备停机维护的频次，降低过滤系统的使用成本。
附图说明
图1为本实用新型的外部结构示意图之一；
图2为本实用新型的外部结构示意图之二；
图3为本实用新型的外筒体的内部结构示意图；
图4为本实用新型的安装有精滤滤网的精滤滤网安装骨架的结构示意图；
图5为本实用新型的安装有粗滤滤网的粗滤滤网安装骨架的结构示意图；
图6为本实用新型的整体的内部结构示意图；
图7为图6的A处放大图；
图8为图6的B处放大图。
图中：1为外筒体、101为进液口、102为出液口、103为排液口、104为环状支撑边沿、105为安装凸台、106为卡接边沿、2为精滤滤网安装骨架、201为抵接边沿A、3为粗滤滤网安装骨架、301为抵接边沿B、302为压接架、303为液体通过口、4为精滤滤网、5为粗滤滤网、6为密封圈A、7为上盖、8为卡箍、9为密封圈B。
具体实施方式
下面结合附图1-8对本实用新型作进一步详述。
一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，如图1-8所示，本实施例中包括外筒体1、精滤滤网安装骨架2、粗滤滤网安装骨架3、精滤滤网4及粗滤滤网5。
精滤滤网安装骨架2设置于外筒体1内侧，精滤滤网安装骨架2上安装有精滤滤网4，粗滤滤网安装骨架3设置于精滤滤网安装骨架2内侧，粗滤滤网安装骨架3上安装有粗滤滤网5。
外筒体1的外周面上分别设有与外筒体1的内部相连通的进液口101及出液口102。进液口101可通过管路与上游去胶单元或浸泡单元的排液端连接，在外筒体1中完成过滤的液体则从出液口102流出。通过设置粗滤滤网5与精滤滤网4两层组合的过滤方式，分层拦截而避免所需拦截的金属膜或光阻膜全部堆积在同一个滤网上，既可防止大片的金属膜或光阻膜在短时间内堵住滤网，也防止了较多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力。
具体而言，本实施例中精滤滤网4的孔径大小小于粗滤滤网5的孔径大小，精滤滤网4的目数规格通常可采用20目至600目，粗滤滤网5的单个孔直径为2-8mm，可依据工艺搭配调整。精滤滤网4与粗滤滤网5之间具有大于5mm的间隙，避免精滤滤网4与粗滤滤网5相互干扰。
具体而言，本实施例中外筒体1的底面中部开设有与该外筒体1的内部相连通的排液口103，排液口103上设有用于控制排液口103开闭的阀门。该阀门的设置方式采用现有技术，在正常使用过滤装置时该阀门保持关闭，需要维护时可将该阀门开启从而使外筒体1中液体完全排出。外筒体1的内腔底面由远离排液口103处至靠近排液口103处逐渐向下倾斜，可使外筒体1中液体充分排出。
具体而言，如图3-8所示，本实施例中外筒体1的上端开口，外筒体1的内侧面上部位置上设有环状支撑边沿104，进液口101位于环状支撑边沿104的上方，出液口102位于环状支撑边沿104的下方。
精滤滤网安装骨架2的顶部向外周延伸设有抵接边沿A 201，抵接边沿A 201搭接于环状支撑边沿104上，位于抵接边沿A 201下侧的精滤滤网安装骨架2的外周面及底面上分别设有精滤滤网4，精滤滤网安装骨架2与精滤滤网4之间的安装结构采用现有技术。
粗滤滤网安装骨架3的顶部向外周延伸设有抵接边沿B 301，抵接边沿B 301搭接于抵接边沿A 201上，位于抵接边沿B 301下侧的粗滤滤网安装骨架3伸入至精滤滤网安装骨架2的内侧，位于抵接边沿B 301下侧的粗滤滤网安装骨架3的外周面及底面上分别设有粗滤滤网5。粗滤滤网安装骨架3与粗滤滤网5之间的安装结构采用现有技术。本实施例中抵接边沿A 201上还凹设有与抵接边沿B 301相契合的凹槽，便于定位安装抵接边沿B 301，可使粗滤滤网安装骨架3的轴向中心线与精滤滤网安装骨架2的轴向中心线共线，保证安装精度。环状支撑边沿104与抵接边沿A 201之间设有密封圈A 6，可防止待过滤液体中的金属屑和光阻不会从环状支撑边沿104与抵接边沿A 201之间绕过各滤网。
具体而言，如图8所示，本实施例中外筒体1的上端开口安装有上盖7，外筒体1的上端开口处向外周延伸有卡接边沿106，上盖7的外周边沿与外筒体1的卡接边沿106通过卡箍8固定，拆装方便。本实施例中卡箍8采用市购产品。上盖7的外周边沿与外筒体1的卡接边沿106之间设有密封圈B 9，可增强该处密封效果，外筒体1的卡接边沿106上开设有凹槽以便于密封圈B 9的安装。
粗滤滤网安装骨架3的顶部向上延伸设有压接架302，压接架302的顶部与上盖7的底面抵接，压接架302的外周开设有若干个液体通过口303，待过滤液体从进液口101进入外筒体1的内部后，可从液体通过口303通过并进入至粗滤滤网安装骨架3的内侧。通过上盖7抵住压接架302，可使粗滤滤网安装骨架3整体受到一定压力，使抵接边沿B 301、抵接边沿A201、密封圈A 6及环状支撑边沿104依次紧密压紧，进一步保证待过滤液体中的金属屑和光阻不会从粗滤滤网安装骨架3外周及精滤滤网安装骨架2的外周绕过各滤网。
具体而言，如图1和图2所示，本实施例中外筒体1外周面上凸设有四个安装凸台105，每个安装凸台105上均开设有若干个用于安装使用的螺纹孔或通孔，便于与外接设备机架等连接固定。
工作原理：
使用时，从上游去胶单元或浸泡单元排出的药液，也即待过滤液体中混有尺寸不一的金属膜屑和光阻膜屑，待过滤液体从进液口101进入外筒体1的内部后先流入粗滤滤网安装骨架3的内侧；液体流过粗滤滤网安装骨架3及粗滤滤网5被粗过滤，经粗滤滤网5过滤后，大片的金属膜屑和光阻膜屑留在其内部，药液和细小的金属膜屑和光阻膜屑能够穿过粗滤滤网5流入精滤滤网安装骨架2及精滤滤网4内；接着待过滤液体流过精滤滤网安装骨架2及精滤滤网4被精过滤，小于其精滤滤网4孔径的细小的金属膜屑和光阻膜屑被过滤在其内部；之后位于精滤滤网安装骨架2外侧的被过滤液体从外筒体1的出液口102流出；维护保养操作时，需要将卡箍8和上盖7取下，将精滤滤网安装骨架2及粗滤滤网安装骨架3取出，对精滤滤网4及粗滤滤网5进行清洗等维护保养操作，完成后再一次将所有元件安装好即可再次使用。
Claims (10)
1.一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：包括外筒体(1)、精滤滤网安装骨架(2)、粗滤滤网安装骨架(3)、精滤滤网(4)及粗滤滤网(5)；
所述精滤滤网安装骨架(2)设置于所述外筒体(1)内侧，所述精滤滤网安装骨架(2)上安装有所述精滤滤网(4)，所述粗滤滤网安装骨架(3)设置于所述精滤滤网安装骨架(2)内侧，所述粗滤滤网安装骨架(3)上安装有所述粗滤滤网(5)；
所述外筒体(1)的外周面上分别设有与所述外筒体(1)的内部相连通的进液口(101)及出液口(102)；待过滤液体从所述进液口(101)进入外筒体(1)的内部后先流入所述粗滤滤网安装骨架(3)的内侧，液体流过所述粗滤滤网安装骨架(3)及粗滤滤网(5)被粗过滤，接着流过所述精滤滤网安装骨架(2)及精滤滤网(4)被精过滤，之后位于所述精滤滤网安装骨架(2)外侧的被过滤液体从所述外筒体(1)的出液口(102)流出。
2.根据权利要求1所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述精滤滤网(4)的孔径大小小于所述粗滤滤网(5)的孔径大小，所述精滤滤网(4)与所述粗滤滤网(5)之间具有间隙。
3.根据权利要求1所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述外筒体(1)的底面中部开设有与该外筒体(1)的内部相连通的排液口(103)，所述排液口(103)上设有用于控制排液口(103)开闭的阀门，所述外筒体(1)的内腔底面由远离所述排液口(103)处至靠近所述排液口(103)处逐渐向下倾斜。
4.根据权利要求1所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述外筒体(1)的上端开口，所述外筒体(1)的内侧面上部位置上设有环状支撑边沿(104)，所述进液口(101)位于所述环状支撑边沿(104)的上方，所述出液口(102)位于所述环状支撑边沿(104)的下方；
所述精滤滤网安装骨架(2)的顶部向外周延伸设有抵接边沿A(201)，所述抵接边沿A(201)搭接于所述环状支撑边沿(104)上，位于所述抵接边沿A(201)下侧的所述精滤滤网安装骨架(2)的外周面及底面上分别设有所述精滤滤网(4)；
所述粗滤滤网安装骨架(3)的顶部向外周延伸设有抵接边沿B(301)，所述抵接边沿B(301)搭接于所述抵接边沿A(201)上，位于所述抵接边沿B(301)下侧的所述粗滤滤网安装骨架(3)伸入至所述精滤滤网安装骨架(2)的内侧，位于所述抵接边沿B(301)下侧的所述粗滤滤网安装骨架(3)的外周面及底面上分别设有所述粗滤滤网(5)。
5.根据权利要求4所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述环状支撑边沿(104)与所述抵接边沿A(201)之间设有密封圈A(6)。
6.根据权利要求4所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述外筒体(1)的上端开口安装有上盖(7)。
7.根据权利要求6所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述外筒体(1)的上端开口处向外周延伸有卡接边沿(106)，所述上盖(7)的外周边沿与所述外筒体(1)的卡接边沿(106)通过卡箍(8)固定。
8.根据权利要求7所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述上盖(7)的外周边沿与所述外筒体(1)的卡接边沿(106)之间设有密封圈B(9)。
9.根据权利要求6所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述粗滤滤网安装骨架(3)的顶部向上延伸设有压接架(302)，所述压接架(302)的顶部与所述上盖(7)的底面抵接，所述压接架(302)的外周开设有若干个液体通过口(303)。
10.根据权利要求1所述的一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，其特征在于：所述外筒体(1)外周面上凸设有若干个安装凸台(105)，每个所述安装凸台(105)上均开设有若干个用于安装使用的螺纹孔或通孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322946019.2U CN221155634U (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322946019.2U CN221155634U (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221155634U true CN221155634U (zh) | 2024-06-18 |
Family
ID=91440216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322946019.2U Active CN221155634U (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221155634U (zh) |
-
2023
- 2023-11-01 CN CN202322946019.2U patent/CN221155634U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207974904U (zh) | 燃油精滤器 | |
| CN221155634U (zh) | 一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置 | |
| CN213555698U (zh) | 一种水处理用具有防堵塞功能的过滤罐 | |
| CN214106019U (zh) | 一种新型两级一体机过滤器 | |
| CN211189251U (zh) | 一种化工生产用过滤装置 | |
| CN207974905U (zh) | 燃滤模块 | |
| CN216677204U (zh) | 一种双层袋式过滤器 | |
| CN207913329U (zh) | 一种化学化工用的过滤装置 | |
| CN214437116U (zh) | 直通过滤器 | |
| CN110812930B (zh) | 一种用于一体化污水处理的反冲洗装置 | |
| CN209865419U (zh) | 一种用于树脂生产的异型过滤器 | |
| CN202289674U (zh) | 一种供水管道杂质过滤器 | |
| CN217773398U (zh) | 一种袋式精密过滤器 | |
| CN220345221U (zh) | 一种自动排污高效过滤器 | |
| CN218106930U (zh) | 一种旁路过滤器的结构 | |
| CN212236226U (zh) | 泵油过滤装置及真空泵 | |
| CN214007385U (zh) | 一种双精度燃油滤芯结构 | |
| CN210814153U (zh) | 一种pta废水袋式过滤器 | |
| CN218306536U (zh) | 具有多级过滤功能的中水回用设备 | |
| CN221144902U (zh) | 一种自封式吸油过滤器 | |
| CN213668146U (zh) | 一种物料自动增压过滤装置 | |
| CN220956019U (zh) | 一种油泵过滤器 | |
| CN212700847U (zh) | 一种机械式水净化装置 | |
| CN220860930U (zh) | 一种高压气体过滤器筒体 | |
| CN214274605U (zh) | 一种具备良好防堵效果的减压阀 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |