CN221149959U - 一种循环清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种循环清洗机，包括超声波清洗槽，所述超声波清洗槽的一侧外壁固定连接有泵体，超声波清洗槽的两侧内壁之间固定连接有多个盖板，盖板的底部固定连接有分水管，分水管的底部插接有多个喷头，所述泵体的出液端插接有出水管，出水管的另一端套接有通水管，通水管与分水管连通，泵体的进液端与超声波清洗槽连通，所述通水管的两端均套接有第一密封盖，分水管的一端套接有第二密封盖。本实用新型通过在泵体的作用下使得水输入到分水管内，然后，从喷头喷出，从而使得水喷向超声波清洗槽内的水，进而使得水拨动，于是更好地对硅片进行清洗，从而提高硅片的清洗效率。

Description

一种循环清洗机

技术领域

本实用新型涉及硅片技术领域，尤其涉及一种循环清洗机。

背景技术

目前，硅片在加工时，会通过清洗机对硅片进行清洗作业，其中，经检索，授权公开号为CN218730860U的专利，公开了一种硅片清洗机。上述专利的清洗机在使用过程中，由于超声波对水槽内的水拨动力较小，使得硅片的清洗效率降低，导致清洗机的使用效果不佳，不能满足于硅片的清洗应用。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种循环清洗机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种循环清洗机，包括超声波清洗槽，所述超声波清洗槽的一侧外壁固定连接有泵体，超声波清洗槽的两侧内壁之间固定连接有多个盖板，盖板的底部固定连接有分水管，分水管的底部插接有多个喷头，所述泵体的出液端插接有出水管，出水管的另一端套接有通水管，通水管与分水管连通，泵体的进液端与超声波清洗槽连通，所述通水管的两端均套接有第一密封盖，分水管的一端套接有第二密封盖。

进一步的，所述超声波清洗槽的顶部固定连接有支撑框，支撑框的顶部固定连接有支撑架。

进一步的，所述支撑架的多侧均嵌接有透明板。

进一步的，所述超声波清洗槽的一侧内壁固定连接有导向架，导向架上滑动套设有浮力滑块。

进一步的，所述超声波清洗槽的一侧内壁固定连接有红外发射器，超声波清洗槽的另一侧内壁固定连接有红外接收器，红外接收器与红外发射器相对设置。

进一步的，所述超声波清洗槽的一侧外壁固定连接有处理器和扬声器，处理器与扬声器、红外接收器和红外发射器电性连接。

进一步的，所述盖板的一侧固定连接有斜面板。

本实用新型的有益效果为：

1.通过在泵体的作用下使得水输入到分水管内，然后，从喷头喷出，从而使得水喷向超声波清洗槽内的水，进而使得水拨动，于是更好地对硅片进行清洗，从而提高硅片的清洗效率。

2.通过浮力滑块随着超声波清洗槽内水位的下降而下移，当超声波清洗槽内的水位降到最低水位时，红外接收器可以接受到红外发射器发射的信号，然后，将信息传递给处理器处理，并通过扬声器进行报警，以便及时向超声波清洗槽内添加水，方便快捷。

3.通过支撑框、支撑架和透明板的配合设置能够防止灰尘落在超声波清洗槽内，以免对硅片造成污染。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种循环清洗机的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种循环清洗机的部分侧面剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种循环清洗机的部分内部立体结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种循环清洗机的部分左侧立体结构示意图。

图中：1、超声波清洗槽；2、泵体；3、盖板；4、分水管；5、喷头；6、通水管；7、出水管；8、第一密封盖；9、第二密封盖；10、支撑框；11、支撑架；12、透明板；13、导向架；14、浮力滑块；15、红外发射器；16、红外接收器；17、处理器；18、扬声器；19、斜面板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-图4，一种循环清洗机，包括超声波清洗槽1，超声波清洗槽1的一侧外壁通过螺栓固定有泵体2，超声波清洗槽1的两侧内壁之间通过螺栓固定有多个盖板3，盖板3的底部通过螺栓固定有分水管4，分水管4的底部插接有多个喷头5，泵体2的出液端插接有出水管7，出水管7的另一端套接有通水管6，通水管6与分水管4连通，泵体2的进液端与超声波清洗槽1连通，在泵体2的作用下使得水被抽入出水管7内，再经通水管6输入到分水管4内，然后，从喷头5喷出，从而使得水喷向超声波清洗槽1内的水，进而使得水拨动，于是更好地对硅片进行清洗，通水管6的两端均套接有第一密封盖8，从而便于对通水管6的的清理，分水管4的一端套接有第二密封盖9，从而便于对分水管4的清理。

超声波清洗槽1的顶部通过螺栓固定有支撑框10，支撑框10的顶部通过螺栓固定有支撑架11，支撑架11的多侧均嵌接有透明板12，通过支撑框10、支撑架11和透明板12的配合设计防止灰尘落在超声波清洗槽1内，超声波清洗槽1的一侧内壁通过螺栓固定有导向架13，导向架13上滑动套设有浮力滑块14，超声波清洗槽1的一侧内壁通过螺栓固定有红外发射器15，超声波清洗槽1的另一侧内壁通过螺栓固定有红外接收器16，红外接收器16与红外发射器15相对设置，超声波清洗槽1的一侧外壁通过螺栓固定有处理器17和扬声器18，处理器17与扬声器18、红外接收器16和红外发射器15电性连接，浮力滑块14随着超声波清洗槽1内水位的下降而下移，当超声波清洗槽1内的水位降到最低水位时，红外接收器16可以接受到红外发射器15发射的信号，然后，将信息传递给处理器17处理，并通过扬声器18进行报警，以便及时向超声波清洗槽1内添加水，盖板3的一侧通过螺栓固定有斜面板19。

本实施例的工作原理：使用时，首先，启动泵体2，在泵体2的作用下使得水被抽入出水管7内，再经通水管6输入到分水管4内，然后，从喷头5喷出，从而使得水喷向超声波清洗槽1内的水，进而使得水拨动，于是更好地对硅片进行清洗，然后，浮力滑块14随着超声波清洗槽1内水位的下降而下移，当超声波清洗槽1内的水位降到最低水位时，红外接收器16可以接受到红外发射器15发射的信号，然后，将信息传递给处理器17处理，并通过扬声器18进行报警，以便及时向超声波清洗槽1内添加水。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种循环清洗机，包括超声波清洗槽(1)，其特征在于，所述超声波清洗槽(1)的一侧外壁固定连接有泵体(2)，超声波清洗槽(1)的两侧内壁之间固定连接有多个盖板(3)，盖板(3)的底部固定连接有分水管(4)，分水管(4)的底部插接有多个喷头(5)，所述泵体(2)的出液端插接有出水管(7)，出水管(7)的另一端套接有通水管(6)，通水管(6)与分水管(4)连通，泵体(2)的进液端与超声波清洗槽(1)连通，所述通水管(6)的两端均套接有第一密封盖(8)，分水管(4)的一端套接有第二密封盖(9)。

2.根据权利要求1所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述超声波清洗槽(1)的顶部固定连接有支撑框(10)，支撑框(10)的顶部固定连接有支撑架(11)。

3.根据权利要求2所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述支撑架(11)的多侧均嵌接有透明板(12)。

4.根据权利要求1所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述超声波清洗槽(1)的一侧内壁固定连接有导向架(13)，导向架(13)上滑动套设有浮力滑块(14)。

5.根据权利要求1所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述超声波清洗槽(1)的一侧内壁固定连接有红外发射器(15)，超声波清洗槽(1)的另一侧内壁固定连接有红外接收器(16)，红外接收器(16)与红外发射器(15)相对设置。

6.根据权利要求5所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述超声波清洗槽(1)的一侧外壁固定连接有处理器(17)和扬声器(18)，处理器(17)与扬声器(18)、红外接收器(16)和红外发射器(15)电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种循环清洗机，其特征在于，所述盖板(3)的一侧固定连接有斜面板(19)。