CN221136466U - 张力机构、线锯单元、线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及线切割技术领域，具体提供了一种张力机构、线锯单元、线切割机，其中的张力机构包括：张力轮；第一机构，所述张力轮至少能够基于驱动部件提供的扭矩经所述第一机构产生绕第一轴线的运动；以及第二机构，在外力作用下，至少所述张力轮能够经所述第二机构绕第二轴线运动；其中，所述第一机构和所述第二机构之间至少一定程度地集成设置；其中，所述第一轴线与第二轴线不共面且二者之间具有夹角。在此基础上，通过将张力机构设置于线切割机的收放线机构和切割机构之间，有望在省略了排线轮和换向轮的前提下仍保证线切割机的运行可靠性以及切割质量。以及，通过将第一机构和第二机构进行至少一定程度的集成设置，能够提高张力机构的结构紧凑性。

Description

张力机构、线锯单元、线切割机

技术领域

本实用新型涉及线切割技术领域，具体提供一种张力机构、线锯单元、线切割机。

背景技术

线切割机是一种利用切割线(如金刚线等，金刚线通常为表面镶嵌有金刚石微小颗粒的切割钢线)对硬脆材料的待加工件(如硅棒(包括单晶硅棒、多晶硅锭等)、蓝宝石棒、磁材棒、半导体棒等)进行如截断、开方、切片等切割作业的设备。

以线切割机对光伏硅棒(简称硅棒)进行切片作业的切片机为例，切片机是通过切割机构对硅棒进行直接作业的，如通常情形下，线切割机主要包括呈倒三角形式分布的三个切割主辊(上方两个、下方一个)，切割主辊上加工有密集的环状沟槽，通过将金刚线密集地缠绕在对应于环状沟槽的位置便可形成能够对硅棒进行连续切割的线网。基于此，通过金刚线在切割机构以及线切割机的如收放线辊等其他结构之间的往复运动，位于上方的两个切割主辊之间的金刚线便能够对工件进行切割。

现有例的切片机中，金刚线在左、右两个收放线机构的绕线辊之间，切片机的切割机构通常包括两个或者三个主辊，本示例中包括三个，分别为左上方的主辊一、右上方的主辊二、下方的主辊三。此外，切片机包括至少六个导轮(左右两侧分别设置有三个)，以左侧为例，三个导轮分别为排线轮、张力轮、换向轮。基于该结构，切片机的绕线路径为：左侧的绕线辊(以该绕线辊为放线辊(此时右侧的绕线辊为收线辊)为例，显然，该绕线辊的功能可以在收线辊和放线辊之间切换，如假设左侧的绕线辊为收线辊，则右侧的绕线辊相应地切换为放线辊)→左侧的(排线轮、张力轮、换向轮)→主辊三→主辊二→主辊一→主辊三(多次缠绕形成线网)→右侧的(换向轮、张力轮、排线轮)→右侧的绕线辊。

在此基础上，发明人有意提出减少导轮个数的产品形式。这是因为：减少导轮个数的产品形式不仅能够降低用户侧在导轮耗材等方面的投入成本，还可以减少金刚线从主辊到绕线辊的距离。在此基础上，有望降低由于金刚线在运行过程中因导轮的惯性、摩擦阻力、金刚线绕过导轮的弯曲应力、导轮间共面不理想导致的金刚线的扭转应力等因素带来的额外张力造成的负面影响，从而提高切片机的切割质量。显然，这对将来切片机的超细线化、高线速化的应用具有重大意义。

不过，如何仍能够保证切片机的运行可靠性以及切割质量，是在提出减少导轮个数的产品形式时必然要面对的技术问题。

因此，本领域需要一种新的技术方案来解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一部分地解决上述技术问题，具体而言，解决在提出减少导轮个数的产品形式时，如何尽可能地保证切片机的运行可靠性以及切割质量的技术问题。

在第一方面，本实用新型提供了一种张力机构，该张力机构包括：张力轮，第一机构，所述张力轮至少能够基于驱动部件提供的扭矩经所述第一机构产生绕第一轴线的运动；以及第二机构，在外力作用下，至少所述张力轮能够经所述第二机构绕第二轴线运动；其中，所述第一机构和所述第二机构之间至少一定程度地集成设置；其中，所述第一轴线与第二轴线不共面且二者之间具有夹角。

通过这样的构成，能够谋求通过与两个轴线相关的运动的配合，使得张力机构能够在保证绕设于其上的切割线的张力水平的基础上实现对应于传统六导轮结构中的排线轮中的部分功能。如可以是：在因切割线在线槽内的位置偏斜而与线槽的槽壁之间产生摩擦并因此受力时，至少通过张力轮绕第二轴线的转动来减小该摩擦力。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定第一机构和第二机构在实现各自的功能的前提下实现集成设置的具体方式以及集成设置的程度等。如可以是：引入一个中间结构，二者均设置于其上且可以实现无干涉的运动；引入一个中间结构，二者可以固定设置或者活动设置的方式设置于该中间结构；第一机构和第二机构之间的至少一部分共用；等。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定第一轴线和第二轴线之间的夹角的大小以及在形成夹角时的相对位置关系、张力轮产生绕二者的运动所需的力/力矩的来源、通过二者的配合实现的运动的合成方式等。示例性地，如张力轮除了在驱动部件的作用下，还可以借助于如线切割机在运行中产生的外力(如伴随于切割线的偏斜而产生的外力等)发生绕第一轴线的运动，可以是仅张力轮绕第一轴线运动，也可以是张力轮与其他的相关结构与其同步或者不同步的运动。同理，使张力轮发生绕第二轴线的运动的外力可以是如线切割机在运行中产生的外力(如伴随于切割线的偏斜而产生的外力等)，也可以是通过如前述的驱动部件或者其他驱动部件等可以施加的外力。

示例性地，使得张力轮产生绕第一/第二轴线的运动的力均包括来自驱动部件与线切割机在运行中产生的外力。张力轮可以以任意合理的姿态绕第一/第二轴线产生运动，抑或说张力轮的中心线与第一/第二轴线之间可以是任意合理的相对位置关系，如可以重合、平行或者具有夹角等。

此外，本领域技术人员可以根据实际需求确定驱动部件的具体形式，如可以是电机、转动模组或者通过动力缸(液压缸、气缸、电缸等)与相应的传动机构实现的转动组件。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第一机构包括：连接组件，所述张力轮设置于其上；以及第一转轴，其与所述驱动部件的动力输出轴连接并能够基于所述驱动部件提供的扭矩使得所述张力轮产生绕所述第一轴线的运动。

通过这样的构成，给出了第一机构的可能的结构形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定连接组件的结构形式、个数及其与转轴之间的连接关系。示例性地，转轴与连接组件刚性连接，从而通过转轴的转动直接带动张力轮绕第一轴向转动。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述连接组件包括：第一连接部件，所述张力轮设置于其上，所述第一连接部件以枢转设置的方式构成所述张力机构，其中，所述第一转轴通过传动机构与所述第一连接部件连接。

通过这样的构成，给出了连接组件的一种可能的结构形式。

这样一来，基于枢转设置的第一连接部件，在驱动部件输出的扭矩经转轴和传动机构传递至第一连接部件，便可通过驱动部件带动第一连接部件以及设置于其上的张力轮绕第一轴线运动。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定第一连接部件的结构形式、其以枢转设置构成张力机构的具体方式以及具体的枢转设置的实现方式等。如可以枢转设置于一个相对固定的结构或者可产生运动的结构上，可以是张力机构现有的部件上或者额外增设的部件等。

此外，可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定传动机构的具体形式，如可实现两种转动之间的传动的各种形式的减速器等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述传动机构包括齿轮副。

通过这样的构成，给出了传动机构的一种可能的结构形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定齿轮副的级数、各个齿轮之间的位置关系/规格等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述齿轮副包括与第一转轴连接的第一齿轮和与所述第一连接部件连接的第二齿轮，其中，所述第一齿轮的分度圆直径小于所述第二齿轮的分度圆直径；并且/或者所述第一齿轮和/或所述第二齿轮为扇形齿轮。

通过这样的构成，给出了齿轮副的可能的结构形式。如基于分度圆之间的关系，齿轮副为增扭齿轮组。基于扇形齿轮的结构，可以更好地适配张力机构的安装环境。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第一连接部件包括：第一部分，所述张力轮枢转设置于其上且所述第一部分以枢转设置的方式构成所述张力机构；以及第二部分，其以固定连接或者一体成型的方式设置于所述第一部分，所述第二齿轮设置于所述第二部分。

通过这样的构成，给出了第一连接部件的可能的结构形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二部分可能的结构形式以及二者构成第一连接部件的实现方式等。如第一部分可以是板状结构、条状结构等，第二部分可以为由第一部分伸出的安装板或者如多杆状结构等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二部分包括与所述第二齿轮相适配的弧状结构。

通过这样的构成，给出了第二部分的一种具体的结构形式。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述弧状结构上设置有调整结构，以便：通过调整结构调整所述第二齿轮在所述弧状结构上的位置，从而调节所述第二齿轮与所述第一齿轮之间的啮合间隙。

通过这样的构成，能够谋求保证传动机构的传动可靠性如调整结构为与弧状结构相适配的条形孔等。如可以通过较大的齿轮在弧状结构上的小幅度移动来消除第一齿轮和第二齿轮之间的啮合间隙。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述连接组件包括第二连接部件，其中，所述第二连接部件具有第一安装位，所述第一转轴枢转设置于所述第一安装位；并且/或者所述第一连接部件枢转设置于所述第二连接部件。

通过这样的构成，给出了连接组件的一种可能的结构形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定第二连接部件的结构形式/个数、其形成的第一安装位的结构形式/个数以及第二连接部件枢转设置于第一安装位的具体实现方式等。如第二连接部件可以为板状结构、杆状结构、块状结构等，安装位可以为孔、槽等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二机构包括第二转轴，所述第二转轴与所述第二连接部件枢转连接。

通过这样的构成，给出了第一机构和第二机构的可能的集成方式。如二者之间可以直接枢转连接或者借助于中间结构枢转连接。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二连接部件具有第二安装位，所述第二转轴枢转设置于所述第二连接部件。

通过这样的构成，给出了第二转轴与第二连接部件实现枢转连接的一种的方式。与前述的第一安装位类似，本领域技术人员可以根据实际需求确定第二安装位的结构形式、个数及其在第二连接部件上的设置位置以及方式。此外，还可以根据实际需求确定第一安装位和第二安装位的相对位置。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二连接部件在对应于所述第二安装位的位置与所述第二转轴之间配置有旋转阻尼器。

通过这样的构成，能够谋求有效地抑制在转动运动发生期间出现瞬间转动过快等情形，从而获得更平缓的转动效果。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求选择任意合理的旋转阻尼器的结构形式及其与第二连接部件与所述第二转轴的配置方式。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第一转轴包括第一子轴和第二子轴，所述第一子轴和所述第二子轴之间设置有万向传动机构。

通过这样的构成，给出了第一机构和第二机构在实现两种转动时的集成方式。如第一子轴和第二子轴可以是在万向传动机构的基础上增设的轴或者属于万向传动机构的轴。

需要说明的是，此处的万向传动机构应当理解为可满足两个子轴之间的多个方向的可靠传动的机构。所谓的“万”仅用于表示多个方向或者多个自由度的属性，本领域技术人员可以根据实际需求选择任意合理的可实现万向传动机构的形式及其确定具体的量化程度。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第一子轴、所述第二子轴和所述万向传动机构形成万向节联轴器。

通过这样的构成，给出了第一机构和第二机构的一种具体的集成方式。如本领域技术人员可以根据实际需求选择任意已知形式的万向联轴器等。

基于此，基于驱动部件提供的驱动扭矩，张力轮能够产生绕第一轴线的摆动。当切割线在张力轮内发生偏斜从而对张力轮的轮槽施加外力时，在该外力的作用下，张力轮能够产生绕第二轴向的偏摆。由于万向传动机构的作用，在能够保证扭矩仍被可靠传递的前提下，张力轮能够产生绕第二轴向的偏摆能够伴随着第一子轴和第二子轴之间发生的转动而可靠地实现。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述张力机构在对应于所述万向传动机构的位置设置有遮挡构件。

通过这样的构成，能够有效地避免工作环境中的切割液以及切割液中的杂质等进入万向传动机构的内部。如遮挡构件可以包括一个或者多个，其结构可以是板状结构、环状结构等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二连接部件配置有配重组件。

通过这样的构成，能够谋求保证在张力轮绕第二轴线转动的过程中，重心始终保持在第二轴线上。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定配重组件的结构形式、个数及其设置位置以及设置方式等，如可以是固定结构或者可活动的结构。如配置组件可以设置于第二连接部件上，也可以设置于与第二连接部件一起偏转的等其他组件上。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重组件的至少一部分为可活动的结构。

通过这样的构成，能够谋求通过结构的活动调整配重组件的重量分配形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定配重组件的活动形式，如可以是移动、转动(自转、公转)以及二者的结合等。示例性地，可以沿十字方向移动。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重组件包括：配重块，其设置于配重杆，所述配重杆通过直接或者间接的方式设置于所述第二连接部件；其中，所述配重块能够沿所述配重杆的轴向和/或绕所述配重杆的周向运动。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重组件包括：调节部件，其能够向配重杆施加外力，以便：所述配重块在该外力的作用下沿所述配重杆的轴向运动。

通过这样的构成，能够谋求通过调节部件施加外力的方式实现配重块沿配重杆轴向的运动。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定调节部件的结构形式、个数其向配重块施加的力的方向等。示例性地，配重块横向设置，配重块沿设置方向的两侧设置两个可伸缩的调节部件，在左侧的调节部件伸出、右侧的调节部件缩回的情形下，配重块向右运动。反之则向左运动。在能够实现可伸缩运动的前提下，本领域技术人员可以选择任意合理的结构或者机构。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重杆包括一根或者多个；并且/或者所述调节部件为调节螺钉。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重块能够沿所述配重杆螺旋运动。

通过这样的构成，给出了配重组件实现其可活动的一种具体的形式。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重块包括至少一个，其中，在所述配重块包括多个的情形下，对应于多个所述配重块的配重杆的安装方向相同或者不同并且/或者所述配重块通过配重杆直接或者间接地设置于所述第二连接部件。

通过这样的构成，给出了配重块构成配重组件的可能的形式。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述配重块包括第一配重块和第二配重块，所述第一配重块通过配重杆设置于所述第二连接部件，所述第二配重块通过配重杆设置于所述第一配重块，其中，对应于所述第一配重块和所述第二配重块的配重杆之间具有夹角。

通过这样的构成，给出了配重组件的一种具体的构成方式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定两个配重杆之间的夹角的大小，如可以是彼此垂直或者呈任意合理的角度。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第二连接部件或者随所述第二连接部件运动的结构设置有安装基体，所述配重组件设置于所述安装基体。

通过这样的构成，给出了配重组件设置于第二连接部件的一种可能的形式。

可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定配重安装基体的结构形式及其在第二连接部件上的设置位置。如配重安装基体为支架、盘状结构、板状结构或者块状结构等。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述张力轮具有可绕设切割线的线槽，所述第二轴线处于所述线槽所在的平面或者所述第二轴线平行于所述线槽所在的平面。

通过这样的构成，给出了张力机构的一种具体的内部相对位置关系。

对于上述张力机构，在一种可能的实施方式中，所述第一轴线与所述第二轴线之间彼此垂直。

通过这样的构成，给出了张力机构的一种具体的内部相对位置关系。

在第二方面，本实用新型提供了一种线锯单元，该线锯单元包括前述任一项所述的张力机构。

可以理解的是，该线锯单元具有前述任一项所述的张力机构的所有技术效果，在此不再赘述。

对于上述线锯单元，在一种可能的实施方式中，所述线锯单元包括收放线机构以及切割机构，所述张力机构设置于所述收放线机构和所述切割机构之间。

通过这样的构成，给出了线锯单元的可能的结构形式。

对于上述线锯单元，在一种可能的实施方式中，所述张力轮具有可绕设切割线的线槽，所述切割机构与所述张力机构之间设置有穿线机构，其中，在未发生切割线偏斜的情形下，所述第二轴线与位于所述线槽与所述穿线机构之间的切割线平行。

通过这样的构成，给出了第二轴线在线锯单元上的一种具体的位置。

应当理解的是，此处所说的平行应当理解为大致平行，更具体地说，在理论上讲可以做到二者之间处于平行关系，不过考虑到实际的线锯工作状态、结构上允许的误差以及如前述的第二连接臂的结构形式等，二者之间可获得被视为大致平行的位置关系。

在第三方面，本实用新型提供了一种线切割机，该线切割机包括前述任一项所述的张力机构或者线锯单元。

可以理解的是，该线切割机具有前述任一项所述的张力机构的所有技术效果，在此不再赘述。

对于上述线切割机，在一种可能的实施方式中，所述线切割机为切片机。

通过这样的构成，给出了线切割机的一种具体的结构形式。

附图说明

下面以待加工件为待切割的硅棒(下文简称硅棒)、线切割机为切片机为例，并参照附图来描述本实用新型的优选实施方式，附图中：

图1示出本实用新型一种实施例的切片机的结构示意图；

图2示出现有例的切片机的张力机构的结构示意图；

图3示出现有例的切片机的张力机构的工作原理示意图；

图4示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图一，图中包含了穿线机构、收放线辊等；

图5示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图二，图中省略了穿线机构、收放线辊等；

图6示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图三，图中示出了张力摆杆；

图7示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图四，图中示出了连接杆；

图8示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图五，图中示出了张力摆杆和作为传动机构的齿轮副；

图9示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中限位结构的结构示意图；

图10示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中配重组件的结构示意图；

图11示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中万向联轴器的结构示意图；

图12示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中万向联轴器的爆炸示意图；

图13示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中旋转阻尼器的结构示意图；

图14示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构中旋转阻尼器的爆炸示意图；

图15示出本实用新型一种实施例的切片机的偏摆运动组件的状态示意图一；

图16示出本实用新型一种实施例的切片机的偏摆运动组件的状态示意图二；

图17示出本实用新型一种实施例的切片机的偏摆运动组件的状态示意图三；

图18示出本实用新型一种实施例的切片机的偏转运动组件的状态示意图一；以及

图19示出本实用新型一种实施例的切片机的偏转运动组件的状态示意图二。

附图标记列表：

04、张力轮；041、张力电机(现有例)；042、张力摆杆(现有例)；

100、切片机；

21、第一收放线机构；211、收放线辊；22、第二收放线机构；

31、第一切割主辊；32、第二切割主辊；33、第三切割主辊；

41、第一张力机构；42、第二张力机构；

5、穿线机构；51、走线槽；

61、张力轮；62、张力电机；621、电机座；622、转接板；623、调整块；

63、张力摆杆；

631、第一部分；632、第二部分；6331、小齿轮；6332、大齿轮；

634、限位结构；6341、限位底板；6342、限位挡杆；6343、限位过渡段；6344、限位连接孔；

635、限位孔；

636、条形孔；

637、转动轴；

64、连接杆；

641、第一安装孔；

642、第二安装孔；

643、第三安装孔；

651、万向节联轴器；

6511、短轴；6512、长轴；6514、销轴；6515、压盖；6516、滚珠；6517、PTFE(聚四氟乙烯)片；6518、防水挡板；

652、第二转轴；

66、旋转阻尼器；

661、挡油板；662、阻尼端盖；663、阻尼压环；664、阻尼导轨；665、阻尼活塞；666、O型圈；

671、第一轴线；672、第二轴线；

7、配重组件；

71、配重支架；711、减重槽；

721、第一配重块；722、第二配重块；

731、第一配重杆；732、第二配重杆；

74、调整螺钉；

8、金刚线；

9、硅棒；

10、测距传感器。

具体实施方式

下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理，并非旨在限制本实用新型的保护范围。例如，虽然本实施方式中是结合第一机构和第二机构通过连接杆和万向节联轴器集成设置的方式来进行介绍的，显然，本领域技术人员能够根据实际需求进行灵活调整。此外，在不影响切片机的作业可靠性的前提下，对应于第一轴线的运动和对应于第二轴线运动可以通过合成的方式来满足保证张力稳定以及及时排偏的需求。如第一轴线和第二轴线可以不局限于垂直等。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，为了更好地说明本实用新型，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节，本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本实用新型同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的切片机的原理等未作详细描述，以便于凸显本实用新型的主旨。

线切割机的其中三种设备形式为截断机、开方机和切片机，以待加工件为硅棒为例，其中的截断机主要用于将较长的硅棒切为长度较短的硅棒(如通常为横截面为圆形的硅棒，简称圆棒)，具体而言，通过沿硅棒的径向切割的方式将一根硅棒切为多段。其中的开方机主要用于将圆棒切为横截面为矩形(如正方形)的硅棒(简称方棒，如该阶段的方棒未经过磨削加工，通常可以称作毛棒)，具体而言，通过沿硅棒的轴向切割的方式去除圆棒的边皮从而将圆棒切割为方棒。其中的切片机主要用于将精度达标的方棒(如该阶段的方棒经过磨削加工，通常可以称作成品棒)通过多线切割的方式沿其径向进行密集性地连续切割从而获得待用的薄片。本实用新型主要以切割线为线网的切片机来为例来对线切割机来进行说明的。

主要参照图1和图4，图1示出本实用新型一种实施例的切片机的结构示意图，图4示出本实用新型一种实施例的切片机的张力机构的结构示意图。如图1和图4所示，在一种可能的实施方式中，切片机100的线锯单元主要包括左、右两侧的第一收放线机构21和第二收放线机构22，第一/第二收放线机构的主要结构为收放线辊，作为切割线的金刚线能够其实现收放功能(收放功能可以互换)。其中，切片机的切割区域设置有切割机构3，如在本示例中，切割机构包括呈倒三角形分布的第一切割主辊31、第二切割主辊32和第三切割主辊33，其中的切割主辊(31、32)位于第三切割主辊33的上方。切割机构3与第一收放线机构21以及第二收放线机构22之间分别设置有第一张力机构41和第二张力机构42，两个收放线机构的收放线辊低于同侧的张力机构的张力轮。这样一来，通过金刚线在两个收放线辊、相应侧的张力轮和以及切割机构之间的往复运动，便可通过对硅棒沿其径向进行切割从而获得硅片。具体而言，处于“放”功能的收放线辊绕出的金刚线经相应侧张力轮导向由切割主辊(31、32、33)组成的切割机构，然后经另一张力轮导向处于“收”功能的收放线辊，两侧收放线辊交替进行收线和放线。基于此，便可通过位于上方的切割主辊(31、32)之间的运动的金刚线8的线网对向下移动的硅棒9进行切割。此外，线锯单元还包括与第一张力机构41和第二张力机构42对应的两个穿线机构5，穿线机构的一端与相应侧的第一/第二张力机构固定连接而另一端伸入切割区域。如在穿线机构5上设置有能够自由容纳金刚线的走线槽51。以收放线辊为放线辊为例，收放线辊上的金刚线绕到张力轮之后，经走线槽51进入切片机的切割室内。以收放线辊为放线辊为例，收放线辊上的金刚线绕到张力轮之后，经走线槽51进入切片机的切割室内。

与背景技术中提到的现有的六导轮结构的切片机相比，在实施例的切片机的结构形式中省略了排线轮和换向轮而将切片机改进成了两导轮结构。基于该结构，仍假设左侧的绕线辊为收线辊(此时右侧的绕线辊为放线辊)，切片机的绕线路径为：左侧的绕线辊→左侧的张力轮→第三主辊→第二主辊→第一主辊→第三主辊(多次缠绕形成线网)→右侧的张力轮→右侧的绕线辊，完成的绕线路径中只经过两个导轮。为了保证切片机的可靠性，对应于传统的排线轮和换向轮的功能仍需保留。在本实用新型中，主要是通过对第一/第二张力机构进行改进来实现的。下面以第一张力机构为例(下文简称为张力机构)来进行说明。

参照图2和图3，图2示出现有例的切片机的张力机构的结构示意图。图3示出现有例的切片机的张力机构的工作原理示意图。如图2和图3所示，现有例的张力机构主要包括张力轮04及其驱动传动机构，驱动传动机构主要包括张力电机(现有例)041和张力摆杆(现有例)042(为了便于描述，将现有例的部件描述采用与本实用新型不同的附图标记)，输出恒扭矩的张力电机能够与金刚线的初始张力值平衡，这样一来，在金刚线上的张力发生变化时，便可通过张力摆杆(绕张力偏摆轴线)的左右摆动来缓冲金刚线上的张力变化，从而使得金刚线上的张力保持在一定相对稳定的状态。具体而言，在张力机构工作过程中，张力电机持续输出恒扭矩，以金刚线向左缠绕为例，由于这张力电机输出的恒定扭矩M的存在，张力轮因此受到了向右的力F(恒定扭矩M/张力摆杆的长度)，假设缠绕在张力轮上的金刚线的便产生向左的拉力(分别为记作F1、F2)。当切割主辊转速与绕线辊转速相匹配(平衡状态)时，F1、+F2＝F，因此张力摆杆不会发生摆动(处于零位)。而当切割主辊上转速与绕线辊转速不匹配时，就会出现F1和F2的合力与F不同的情形，此时，若F1+F2>F，则张力摆杆向左摆动，若F1+F2<F，则张力摆杆向右摆动，以缓冲金刚线张力变化。此时，张力电机上的编码器便会捕捉并识别到张力摆杆向左/向右摆动的姿态，基于此，便可通过调整绕线辊的转速使得金刚线上的张力平衡，从而使得张力摆杆恢复零位。

主要参照图4和图5，在一种可能的实施方式中，张力机构主要包括张力轮61、作为驱动部件的张力电机62以及连接组件，连接组件包括作为第一连接部件的张力摆杆63以及作为第二连接部件的连接杆64，张力电机62设置于电机座621上，转接板622主要用于将电机座等结构固定到相应的移动单元上以实现张力机构的移动或者将张力机构固定到切片机上。调整块623可设置为四块，其通过均布在电机座背面的张力电机的四周，如可以通过顶丝等结构来调节张力电机在构成张力机构时的安装位置。张力轮与张力摆杆驱动连接，张力摆杆和转动臂转动连接，张力轮枢转设置于转动臂从而使得张力轮可在金刚线的带动下相对于转动臂自由转动并因此保证金刚线的往复运动。这样一来，基于张力电机提供的恒扭矩，在金刚线的张力发生变化时，张力轮便会绕第一轴线671(称作张力偏摆轴线)发生摆动，在张力轮因金刚线在线槽内发生偏斜而受力时，张力轮带动转动臂相对于张力摆杆产生绕第二轴线672(称作张力偏转轴线)的转动，以通过该转动来减小金刚线与张力轮的线槽的槽壁之间因金刚线偏斜而产生的摩擦，并因此降低出现由于金刚线和张力轮的槽壁之间发生摩擦而导致的如金刚线磨损、金刚线脱槽、金刚线断线等风险的概率，有利于提高切片机的切割质量。在本示例中，张力偏摆轴线和张力偏转轴线大致垂直。如参照图4中的方位，张力偏摆轴线位于张力偏转轴线的上方。

主要参照图4至图14，在一种可能的实施方式中，连接组件包括作为第一连接部件的张力摆杆63以及作为第二连接部件的连接杆64，其中，张力电机能够带动张力摆杆沿第一轴线摆动，在金刚线向张力轮的线槽施加外力的情形下，包含张力轮以及连接杆在内的偏转运动组件可沿第二轴线偏转。

在一种可能的实施方式中，张力摆杆63主要包括大致沿竖向分布的第一部分631以及由第一部分延伸出的第二部分632，在本示例中，第二部分为弧状结构，弧状结构上设置有与下文提到的大齿轮匹配连接的导轨。第一部分的上端设置有下文所述的安装孔、键槽、缝隙等结构，张力轮枢转设置于其下端。弧状结构的第二部分是沿其大致中部的位置延伸而形成的。在本示例中，在张力摆杆63的上端加工出安装孔及键槽，以便将张力摆杆通过键连接的方式与转动轴647连接。且在安装孔的上方加工出一个小缝隙，并在侧面(沿缝隙的厚度方向)安装一螺钉，这样一来，可确保张力摆杆与转动轴之间(下文所述的连接杆的第一安装孔处)枢转连接的可靠性。

在一种可能的实施方式中，连接杆64上设置有第一安装孔641、作为第一安装位的第二安装孔642以及作为第二安装位的第三安装孔643。在本示例中，连接杆的主体结构为带转角的倾斜杆，如在倾斜杆上加工有减重槽以减轻连接杆的重量。第一安装孔641设置于倾斜杆的上端部，如前所述，第一安装孔主要用于安装张力摆杆的转动轴。第二安装孔642设置于倾斜杆的下端部与转角的一个端部之间并主要用于安装第一转轴。第三安装孔643设置于转角的另一个端部并主要用于安装第二转轴652，如第二转轴设置于切片机的框架，第二轴线为第二转轴的轴线。

可以理解的是，上述连接杆的具体结构形式以及第一/第二/第三安装孔在其上的分布形式只是一种示例性的描述，本领域技术人员可以根据实际需求对其进行灵活的调整。

在一种可能的实施方式中，张力电机通过第一转轴与张力摆杆连接，基于张力电机提供的恒扭矩，在金刚线的张力发生变化时，张力摆杆可带动张力轮绕第一轴线摆动。在本示例中，第一转轴为万向节联轴器651，万向节联轴器651的短轴6511与张力电机相连接，长轴6512与前述的第二安装孔642枢转连接。这样一来，通过短轴与长轴的组合，在张力电机输出的恒扭矩能够被可靠地传递至张力轮的前提下，还能够通过短轴和长轴之间相对转动允许张力轮绕第二轴线发生偏转，从而实现了两种转动的集成设置。

在本示例中，万向节联轴器主要包括短轴6511、长轴6512、销轴6514、压盖6515、滚珠6516以及PTFE片6517。长轴与短轴的叉头在销轴上交错安装，以使两轴可以不处于同一轴线，销轴的各方向依次安装有PTFE片、滚珠以及压盖，其中，每个压盖和销轴端均配置有1/4的圆形滚道，二者在安装后形成一个完整半圆滚道以实现滚珠在滚道内的滚动，PTFE片粘接在长轴与短轴的叉头内壁，实现滚珠的油脂密封。

可以理解的是，上述的万向节联轴器只是一种示例性的描述，本领域技术人员可以根据实际需求选用任何形式的可选万向节联轴器。

高速运行的金刚线在绕过张力轮时由于其运动方向会发生改变，因此金刚线上携带的切割液会因惯性的影响被甩出。因此，在一种可能的实施方式中，张力机构在对应于万向节联轴器的位置配置有作为遮挡构件的防水挡板6518，以防止由于切割液中的杂质等进入万向节联轴器而影响万向节联轴器的工作可靠性。如在本示例中，防水挡板由薄板加工而成，如其结构大致为一个折弯结构从而有效地将万向节联轴器对应于长短轴的连接区包拢，如防水挡板可通过螺钉等紧固件设置于电机座上。

在一种可能的实施方式中，张力摆杆配置有作为传动机构的齿轮组，万向节联轴器长轴通过齿轮组与张力摆杆的第二部分连接。这样一来，张力电机输出的恒扭矩便可通过第一转轴、齿轮组、张力摆杆传递至张力轮。如在本示例中，齿轮组包括与万向节联轴器的长轴连接的小齿轮以及设置于第二部分上的大齿轮6332，这样一来，传动机构便为一个增扭齿轮副(大齿轮的齿数少，小齿轮的齿数多，张力电机输出的扭矩在经小齿轮传递到大齿轮时，速度减小、扭矩增大)。在本示例中，大齿轮与小齿轮均为扇形齿轮，第二部分的弧状结构上设置有导轨，大齿轮能够穿设于导轨并固定于其上。

示例性地，在大齿轮上设计两个弧状的条形孔636。这样一来，两个齿轮之间的啮合间隙可通过大齿轮在弧形导轨上的移动来消除，从而确保齿轮副的啮合效果，进而保证基于该传动机构的平顺性。

在一种可能的实施方式中，在小齿轮的轮面上设置有一个限位孔635，通过为限位孔配置限位结构634，可约束小齿轮的转动范围进而限定出张力轮的合理的摆动空间。在本示例中，限位结构634包括限位底板6341以及设置于限位底板上的伸出部分，在本示例中，伸出部分为限位挡杆6342，限位档杆能够伸如限位孔内并伴随着小齿轮的转动在限位孔的两个极限位置处抵接至小齿轮从而约束小齿轮的转动范围，底板固定至连接杆的预留位置上，如连接杆的倾斜杆在靠近第二安装孔的位置预留有一个孔，在底板上预留有一个限位连接孔6344，借助于螺钉等紧固件与两个孔的配合便可实现底板在连接杆上的固定。如在底板上预留两个限位连接孔，一个用于实现底板与连接板之间的连接另一个则用于设置限位档杆。

在一种可能的实施方式中，为了保证限位结构的强度，在底板和限位挡杆之间设置有限位过渡段6343。如限位过渡段为径向尺寸应当大于限位挡杆，这样一来，便可在保证限位功能得以实现的前提下有效地减少限位挡杆的尺寸从而提高限位结构的强度。在本示例中，限位过渡段为锥状结构的一部分(纵切面为梯形)。

在一种可能的实施方式中，在第二转轴的端部配置有旋转阻尼器66，具体而言，在第二转轴和连接杆对应于第三安装孔的位置之间配置有旋转阻尼器66，以阻止如连接杆瞬间快速转动等现象，从而保证转动的平稳性。

在本示例中，旋转阻尼器的结构主要包括挡油板661、阻尼端盖662、阻尼压环663、阻尼导轨664、阻尼活塞665以及设置于阻尼端盖与挡油板之间的O型圈666。

其中，旋转阻尼器内形成有用于容纳具有一定的流动性的阻尼液体的容纳空间，如可以通过端盖上的注油口向该容纳空间内加注阻尼液体，其中，阻尼活塞和阻尼导轨之间通过一个螺钉固定并设置于挡油板的两侧。示例性地，阻尼活塞为沿周向具有开放端的结构(如大致为C形结构)，阻尼活塞上设有多个阻尼孔。故而，阻尼液体可穿过阻尼孔的方式在容纳空间内流动。阻尼导轨能够穿过挡油板与阻尼活塞固定连接并因此使得阻尼导轨和阻尼活塞便可在挡油板上同步运动。示例性地，阻尼导轨包括导轨连接盘和凸起，导轨连接盘设置于挡油板远离阻尼活塞的一侧，凸起穿过挡油板并与阻尼活塞固定连接(如通过螺钉等紧固件)。

在本示例中，挡油板与第二转轴固定连接，固定连接的阻尼导轨、阻尼活塞与连接杆固定连接。具体而言，与挡油板固定连接的阻尼压环与第二转轴固定连接，阻尼导轨的导轨连接盘与连接杆固定连接。

基于此，当金刚线在张力轮上出现偏斜时，张力轮带动张力摆杆绕第二轴线旋转，此时阻尼活塞也会随张力摆杆一起旋转。阻尼活塞在转动的过程中便会挤压阻尼液体使其流经阻油孔等相对狭小的空间。由于阻尼液体的黏性属性，该过程便会吸收金刚线在发生偏斜时伴随的高频低幅的抖动冲击现象所产生的能量，从而有效地降低金刚线在发生偏斜的过程中的高频低幅抖动现象。

与前述为万向节联轴器类似，也可为第二转轴在安装旋转阻尼器的一侧安装防水挡板，以避免金刚线上携带的切割液被甩出时，由于切割液中的杂质进入旋转阻尼器而影响旋转阻尼器的使用效果。

为了保证张力轮在第二轴线偏转的过程中，包含张力轮的偏转运动组件(除张力轮之外还包括连接杆以及齿轮副等)的重心能够落在张力偏转轴线上从而避免由此导致的金刚线出现脱槽及偏磨的现象，为张力机构配置了配重组件。

在一种可能的实施方式中，配重组件7包括配重支架71以及设置于配重支架上的第一配重块721和第二配重块722。如在本示例中，配重支架一方面设置于连接杆靠近第三安装孔的位置处，另一方面具有一个大致为平面的安装台，第一配重块721设置于安装台上，第二配重块722设置于第一配重块721上。

在一种可能的实施方式中，第一/第二配重块以可沿轴向运动和/或可沿周向转动的方式设置于第一/第二配重杆，以便：通过第一/第二配重块沿第一/第二配重杆的轴向运动和/或转动，使得包含张力轮的摆动结构的重心能够落在第二轴线上。

示例性地，第一配重块和第二配重块均大致为厚饼状结构且二者的安装方向大致垂直。具体地，第一配重杆731为竖向设置的光杆且包括两个，第一配重块以可活动的方式设置于第一配重杆，配重安装块在对应于第一配重块的位置设置可伸缩的调节部件(如调节螺钉74等)，这样一来，在将调节螺钉抵接至第一配重块的下表面的基础上，通过使调节螺钉继续上升，便可推动第一配重块沿第一配重杆(竖直方向)运动。第二配重杆732为螺杆或者加工有螺纹段的杆，这样一来，通过转动第二配重块便可使其沿第二配重杆(水平方向)螺旋前进/后退。基于此，通过合理地调节两个配重块，便有望实现包含张力轮、转动臂、轴承箱在内的整个偏转运动组件的中心位于张力偏摆轴线上。

可以理解的是，上述配重块的结构形式、个数、相对位置其在配重支架上的安装方式、其能够产生的活动形式及其产生相应的活动所借助的结构/机构只是一种示例性的描述，本领域技术人员可以根据实际需求对其进行灵活地调整，示例性地，第一/第二配重块均直接设置于配重支架的安装台上、配重块为异形结构、配重块包括大于两个的多个等。

此外，在本示例中，为了减少配重支架的重量，避免配重支架的自身重量对包括张力轮在内的偏转运动组件的重心产生影响，如可以对配重支座进行如加工出减重槽711(或者部分减薄)等减重处理。以及，也可以对前述张力摆杆、连接杆等也作减重处理以减小相应的部件在转动发生时的转动惯量。

基于上述结构，张力机构中与第一轴线相关的结构组合可称作偏摆运动组件，偏摆运动组件主要是基于张力电机输出的恒扭矩负责缓冲金刚线上的张力变化。下面参照图15至图17来说明偏摆运动组件的作用。

参照图15，当切片机的切割机构的主辊转速与收放线辊的转速相匹配时，张力摆杆的基体大致处于竖直方向，此时的张力轮处于理想位置。参照图16，当金刚线的张力产生的力矩大于张力电机的扭矩时金刚线拉动张力摆杆朝向金刚线的方向摆动，从而通过这样的摆动趋势来降低金刚线上的张力。具体而言，理想状态下，金刚线上的张力恒定，偏摆运动组件处于相对平衡的状态，因此张力摆杆不会绕张力偏摆轴线发生左右摆动。如图17所示，当金刚线的张力产生的力矩小于张力电机的扭矩时，张力电机将带动张力摆杆朝向背离金刚线的方向摆动转动，从而通过这样的摆动趋势来增加金刚线上的张力。具体而言，在金刚线切割或者高速跑线等工况下，因伺服误差、导轮惯性、收放线不均、导轮阻力等因素的影响，金刚线上的张力在时刻地发生变化，在这个过程中，偏摆运动组件就发挥着吸收张力波动的作用，如当金刚线上的张力大于设定张力时，偏摆运动组件会被拉扯，准确地说是张力摆杆被拉扯，使其绕张力偏摆轴线朝着使金刚线放松的方向摆动，通过这样的摆动来缓解金刚线被“抻紧”的程度，从而减少金刚线上的张力增加趋势。而当金刚线上的张力小于设定张力时，张力摆杆摆动臂在张力电机输出的恒扭矩带动下朝着使金刚线抻紧的方向摆动，通过这样的摆动便可将金刚线“抻紧”，从而补偿金刚线上的张力不足。如此循环，便可保证金刚线上的张力保持在稳定的范围内。

基于上述结构，张力机构中与第二轴线相关的结构组合可称作偏转运动组件，偏转运动组件主要是在金刚线在张力轮的线槽内发生偏斜的情形下，通过金刚线以及相关结构沿第二轴线的偏转运动来至少一定程度地抵消所发生的偏斜现象，并因此减小或者避免由于金刚轮与张力轮的线槽产生摩擦而导致的断线风险。下面参照图18至图19来说明偏转运动组件的作用。

参照图18，在理想状态下，即进入(或离开)张力轮61的线槽的金刚线未发生偏斜的情形下，从收放线辊211(以第一收放线机构为例)进入张力轮的线槽的金刚线沿竖直方向分布，金刚线处于线槽所在的平面内。参照图19，当进入(或离开)张力轮61的线槽的金刚线发生偏斜(金刚线偏离张力轮的线槽的中心所在的平面)的情形下，张力轮便会因金刚线的偏斜而受力并因此使得张力轮(以及连接杆)绕第一转轴产生一定的偏摆量，基于此来降低金刚线与张力轮的线槽之间的磨损程度，并因此降低了出现金刚线断线等现象的概率。而在本实用新型中，由于万向节联轴器的配置，万向节联轴器允许其长轴相对短轴发生一定的转动量恰好适配于张力轮绕第二转轴的偏摆运动。此外，基于该偏摆还可以有效地避免出现如金刚线脱出线槽等现象。同时，在偏斜现象已经发生的情形下，如可以通过测距传感器10等检测部件来确定偏斜程度，如通过测量出的测距传感器与张力摆杆的第一部分之间的距离(b-a)来确定出偏斜程度，如偏斜程度可以通过偏摆的角度和方向来描述。如在正常状态下时，测距传感器测得的距离为a，其中，允许a有一个小幅的变化范围。基于此，通过相应的纠偏措施(如通过调整排线参数、使收放线辊沿其轴线方向运动等)将张力轮纠回与图18示出的理想的位置。

可以看出，在本实用新型的张力机构中，通过为张力机构配置能够实现其绕第一轴线的摆动的第一机构以及能够实现其绕第二轴线的偏转的第二机构，有望在省略传统的六导轮结构的切片机中的排线轮和换向轮的基础上，仅通过收放线机构、张力机构和切割机构的组合保证切片机的工作可靠性以及切割质量。以及，通过第一机构和第二机构借助于万向节联轴器在一定程度上进行集成设置，提高了张力机构的结构紧凑性。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (31)

1.一种张力机构，其特征在于，所述张力机构包括：

张力轮，

第一机构，所述张力轮至少能够基于驱动部件提供的扭矩经所述第一机构产生绕第一轴线的运动；以及

第二机构，在外力作用下，至少所述张力轮能够经所述第二机构绕第二轴线运动；

其中，所述第一机构和所述第二机构之间至少一定程度地集成设置；其中，所述第一轴线与第二轴线不共面且二者之间具有夹角。

2.根据权利要求1所述的张力机构，其特征在于，所述第一机构包括：

连接组件，所述张力轮设置于其上；以及

第一转轴，其与所述驱动部件的动力输出轴连接并基于所述驱动部件提供的扭矩使得所述张力轮产生绕所述第一轴线的运动。

3.根据权利要求2所述的张力机构，其特征在于，所述连接组件包括：

第一连接部件，所述张力轮设置于其上，所述第一连接部件以枢转设置的方式构成所述张力机构，

其中，所述第一转轴通过传动机构与所述第一连接部件连接。

4.根据权利要求3所述的张力机构，其特征在于，所述传动机构包括齿轮副。

5.根据权利要求4所述的张力机构，其特征在于，所述齿轮副包括与第一转轴连接的第一齿轮和与所述第一连接部件连接的第二齿轮，

其中，所述第一齿轮的分度圆直径小于所述第二齿轮的分度圆直径；并且/或者

所述第一齿轮和/或所述第二齿轮为扇形齿轮。

6.根据权利要求5所述的张力机构，其特征在于，所述第一连接部件包括：

第一部分，所述张力轮枢转设置于其上且所述第一部分以枢转设置的方式构成所述张力机构；以及

第二部分，其以固定连接或者一体成型的方式设置于所述第一部分，所述第二齿轮设置于所述第二部分。

7.根据权利要求6所述的张力机构，其特征在于，所述第二部分包括与所述第二齿轮相适配的弧状结构。

8.根据权利要求7所述的张力机构，其特征在于，所述弧状结构上设置有调整结构，以便：

通过调整结构调整所述第二齿轮在所述弧状结构上的位置，从而调节所述第二齿轮与所述第一齿轮之间的啮合间隙。

9.根据权利要求3至8中任一项所述的张力机构，其特征在于，所述连接组件包括第二连接部件，

其中，所述第二连接部件具有第一安装位，所述第一转轴枢转设置于所述第一安装位；并且/或者

所述第一连接部件枢转设置于所述第二连接部件。

10.根据权利要求9所述的张力机构，其特征在于，所述第二机构包括第二转轴，所述第二转轴与所述第二连接部件枢转连接。

11.根据权利要求10所述的张力机构，其特征在于，所述第二连接部件具有第二安装位，所述第二转轴枢转设置于所述第二连接部件。

12.根据权利要求11所述的张力机构，其特征在于，所述第二连接部件在对应于所述第二安装位的位置与所述第二转轴之间配置有旋转阻尼器。

13.根据权利要求10所述的张力机构，其特征在于，所述第一转轴包括第一子轴和第二子轴，所述第一子轴和所述第二子轴之间设置有万向传动机构。

14.根据权利要求13所述的张力机构，其特征在于，所述第一子轴、所述第二子轴和所述万向传动机构形成万向节联轴器。

15.根据权利要求13所述的张力机构，其特征在于，所述张力机构在对应于所述万向传动机构的位置设置有遮挡构件。

16.根据权利要求11所述的张力机构，其特征在于，所述第二连接部件配置有配重组件。

17.根据权利要求16所述的张力机构，其特征在于，所述配重组件的至少一部分为可活动的结构。

18.根据权利要求17所述的张力机构，其特征在于，所述配重组件包括：

配重块，其设置于配重杆，所述配重杆通过直接或者间接的方式设置于所述第二连接部件；

其中，所述配重块能够沿所述配重杆的轴向和/或绕所述配重杆的周向运动。

19.根据权利要求18所述的张力机构，其特征在于，所述配重组件包括：

调节部件，其能够向配重杆施加外力，以便：

所述配重块在该外力的作用下沿所述配重杆的轴向运动。

20.根据权利要求19所述的张力机构，其特征在于，所述配重杆包括一根或者多个；并且/或者

所述调节部件为调节螺钉。

21.根据权利要求18所述的张力机构，其特征在于，所述配重块能够沿所述配重杆螺旋运动。

22.根据权利要求18所述的张力机构，其特征在于，所述配重块包括至少一个，

其中，在所述配重块包括多个的情形下，对应于多个所述配重块的配重杆的安装方向相同或者不同并且/或者所述配重块通过配重杆直接或者间接地设置于所述第二连接部件。

23.根据权利要求22所述的张力机构，其特征在于，所述配重块包括第一配重块和第二配重块，所述第一配重块通过配重杆设置于所述第二连接部件，所述第二配重块通过配重杆设置于所述第一配重块，

其中，对应于所述第一配重块和所述第二配重块的配重杆之间具有夹角。

24.根据权利要求17至23中任一项所述的张力机构，其特征在于，所述第二连接部件或者随所述第二连接部件运动的结构设置有配重安装基体，所述配重组件设置于所述安装基体。

25.根据权利要求1所述的张力机构，其特征在于，所述张力轮具有可绕设切割线的线槽，所述第二轴线处于所述线槽所在的平面内或者所述第二轴线平行于所述线槽所在的平面。

26.根据权利要求1所述的张力机构，其特征在于，所述第一轴线与所述第二轴线之间彼此垂直。

27.一种线锯单元，其特征在于，所述线锯单元包括权利要求1至26中任一项所述的张力机构。

28.根据权利要求27所述的线锯单元，其特征在于，所述线锯单元包括收放线机构以及切割机构，所述张力机构设置于所述收放线机构和所述切割机构之间。

29.根据权利要求28所述的线锯单元，其特征在于，所述张力轮具有可绕设切割线的线槽，所述切割机构与所述张力机构之间设置有穿线机构，

其中，在未发生切割线偏斜的情形下，所述第二轴线与位于所述线槽与所述穿线机构之间的切割线平行。

30.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括权利要求1至26中任一项所述的张力机构；或者

所述线切割机包括权利要求27至29中任一项所述的线锯单元。

31.根据权利要求30所述的线切割机，其特征在于，所述线切割机为切片机。