CN221125885U - 基于残气分析仪的质谱分析系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种基于残气分析仪的质谱分析系统，包括：前级泵、分子泵、进样装置、真空腔以及残气分析仪；所述真空腔连接所述分子泵、所述进样装置以及所述残气分析仪，所述分子泵通过波纹管连接所述前级泵。本申请通过真空腔配合前级泵和分子泵为残气分析仪设置可以正常工作的真空环境，解决了传统的残气分析仪只能分析其探测部分所处真空环境下气体的问题，通过进样装置配合真空腔、前级泵和分子泵实现从高气压到低气压的过渡，从而实现高气压气体检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及质谱分析装置领域，具体地，涉及基于残气分析仪的质谱分析系统。
背景技术
传统的RGA(残气分析仪)不配备用于营造真空环境的真空系统，测试前须将RGA探测部分插入腔室内，依靠腔室附带的真空设备，为其营造可以正常工作的真空环境，因而只能分析其探测部分所处真空环境下的气体。传统RGA只能在气压低于0.1pa的环境中使用，因此无法实现对气压高于0.1pa的气体检测。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种基于残气分析仪的质谱分析系统。
根据本实用新型提供的基于残气分析仪的质谱分析系统，包括：前级泵、分子泵、进样装置、真空腔以及残气分析仪；
所述真空腔连接所述分子泵、所述进样装置以及所述残气分析仪，所述分子泵通过波纹管连接所述前级泵。
优选地，所述分子泵安装在操作柜外侧，所述前级泵安装在所述操作柜内部。
优选地，所述进样装置包括：流导毛细管、加热层以及保温层；
所述流导毛细管外侧设置所述加热层，所述加热层外侧设置所述保温层。
优选地，所述真空腔上安装真空计。
优选地，所述残气分析仪通过法兰与所述真空腔一端实现真空密封连接。
优选地，所述操作柜上设置控制面板，所述控制面板连接所述分子泵、所述进样装置以及所述真空计。
优选地，所述操作柜通过万向轮安装在水平面上，所述万向轮设置有锁定装置和高度调节结构。
优选地，所述操作柜上的镂空部分设置盖板，所述盖板上设置散热孔。
优选地，所述前级泵为涡旋泵，抽速为15m3/h；
所述分子泵抽速为220L/s；
所述法兰的通径为40mm。
与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：
本申请通过真空腔配合前级泵和分子泵为残气分析仪设置可以正常工作的真空环境，解决了传统的残气分析仪只能分析其探测部分所处真空环境下气体的问题，通过进样装置配合真空腔、前级泵和分子泵实现从高气压到低气压的过渡，从而实现高气压气体检测。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为质谱分析系统的整体结构图；
图2为进样装置主视图；
图3为进样装置截面视图；
图中所示：
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。
实施例1
如图1所示，本实施例包括：前级泵1、分子泵2、进样装置3、真空腔4以及残气分析仪7；真空腔4连接分子泵2、进样装置3以及残气分析仪7，分子泵2通过波纹管8连接前级泵1，残气分析仪7通过法兰6与真空腔4一端实现真空密封连接，真空腔4上安装真空计5。
如图2和图3所示，进样装置3包括：流导毛细管12、加热层13以及保温层14，流导毛细管12外侧设置加热层13，加热层13外侧设置保温层14。
分子泵2安装在操作柜10外侧，前级泵1安装在操作柜10内部，操作柜10上设置控制面板9，控制面板9连接分子泵2、进样装置3以及真空计5，操作柜10通过万向轮11安装在水平面上，万向轮11设置有锁定装置和高度调节结构，操作柜10上的镂空部分设置盖板，盖板上设置散热孔。
工作原理：
本申请通过分子泵2和前级泵1共同实现真空腔4的真空，其中前级泵1用来建立粗真空，达到分子泵2启动的条件，然后分子泵2启动，建立整个设备使用的真空条件。进样装置3用来实现从高气压(待测气体本身的状态)到低气压(分子泵2和前级泵1共同实现的真空)的过渡。
实施例2
实施例2作为实施例1的优选例。
如图1所示，本实施例包括前级泵1、分子泵2、进样装置3、真空腔4、真空计5、CF法兰6、残气分析仪7、波纹管8、控制面板9、操作柜10以及万向轮11。前级泵1位于操作柜10下方内部并通过波纹管8与分子泵2连接，分子泵2与真空腔4连接，真空腔4位于分子泵2上方，且真空腔4和分子泵2位于操作柜10外部上方，残气分析仪7通过CF法兰6与真空腔4一端实现真空密封，真空腔4另一端设置有进样装置3，真空计5位于真空腔4上。在操作柜10的一侧，设置有分子泵2的控制器、真空计5的控制器和进样装置3的温度控制器，并集成在同一块面板上。操作柜10的底部位于4个角，各设置有1个带有锁定装置且可实现高度调节的万向轮11与地面接触。残气分析仪包括离子源、四极杆、检测器以及电控单元。
在一种实施方式中，操作柜10镂空部分，可根据实际情况增设装饰性盖板，装饰性盖板的底部有散热孔。
在一种实施方式中，前级泵为涡旋泵，抽速为15m3/h，分子泵的抽速为220L/s，真空计为全程规，CF法兰的通径为40mm，波纹管两端的接口制式为KF25。
如图2所示，进样装置3包括流导毛细管12、加热层13以及保温层14。进样装置3内置一根流导毛细管12，其流导值根据待测气体所处气保温层压而定，且确保待测气体经过进样装置3进入真空腔内不至于破坏真空的同时，实现最大气体传输，提高气体检测灵敏度。进样装置3方向可调且设置有加热层13和保温层14，保温层14位于加热层13的外部，加热层13位于流导毛细管12的外部，用于减少气体在流导毛细管12内的残留。
在一种实施方式中，流导毛细管为金属毛细管或非金属毛细管。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。
Claims (9)
1.一种基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于，包括：前级泵(1)、分子泵(2)、进样装置(3)、真空腔(4)以及残气分析仪(7)；
所述真空腔(4)连接所述分子泵(2)、所述进样装置(3)以及所述残气分析仪(7)，所述分子泵(2)通过波纹管(8)连接所述前级泵(1)；
所述进样装置(3)包括：流导毛细管(12)、加热层(13)以及保温层(14)；
所述流导毛细管(12)外侧设置所述加热层(13)，所述加热层(13)外侧设置所述保温层(14)。
2.根据权利要求1所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述分子泵(2)安装在操作柜(10)外侧，所述前级泵(1)安装在所述操作柜(10)内部。
3.根据权利要求2所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述真空腔(4)上安装真空计(5)。
4.根据权利要求1所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述残气分析仪(7)通过法兰(6)与所述真空腔(4)一端实现真空密封连接。
5.根据权利要求3所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述操作柜(10)上设置控制面板(9)，所述控制面板(9)连接所述分子泵(2)、所述进样装置(3)以及所述真空计(5)。
6.根据权利要求2所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述操作柜(10)通过万向轮(11)安装在水平面上，所述万向轮(11)设置有锁定装置和高度调节结构。
7.根据权利要求2所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述操作柜(10)上的镂空部分设置盖板，所述盖板上设置散热孔。
8.根据权利要求4所述基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于：所述前级泵(1)为涡旋泵，抽速为15m3/h；
所述分子泵(2)抽速为220L/s；
所述法兰(6)的通径为40mm。
9.一种基于残气分析仪的质谱分析系统，其特征在于，包括：前级泵(1)、分子泵(2)、进样装置(3)、真空腔(4)以及残气分析仪(7)；
所述真空腔(4)连接所述分子泵(2)、所述进样装置(3)以及所述残气分析仪(7)，所述分子泵(2)通过波纹管(8)连接所述前级泵(1)，所述残气分析仪(7)通过法兰(6)与所述真空腔(4)一端实现真空密封连接，所述真空腔(4)上安装真空计(5)；
所述分子泵(2)安装在操作柜(10)外侧，所述前级泵(1)安装在所述操作柜(10)内部，所述操作柜(10)上设置控制面板(9)，所述控制面板(9)连接所述分子泵(2)、所述进样装置(3)以及所述真空计(5)，所述操作柜(10)通过万向轮(11)安装在水平面上，所述万向轮(11)设置有锁定装置和高度调节结构，所述操作柜(10)上的镂空部分设置盖板，所述盖板上设置散热孔；
所述进样装置(3)包括：流导毛细管(12)、加热层(13)以及保温层(14)，所述流导毛细管(12)外侧设置所述加热层(13)，所述加热层(13)外侧设置所述保温层(14)。
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