CN221124344U - 一种碲锌镉晶体用检测仪器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于质检的技术领域，具体涉及一种碲锌镉晶体用检测仪器，这种碲锌镉晶体用检测仪器包括：载物台，以放置碲锌镉晶体；镜头机构，所述镜头机构设置于所述载物台的上方，以拍摄碲锌镉晶体；所述镜头机构包括上部的变焦镜头和下部的调焦区，所述变焦镜头通过所述调焦区进行调焦，以清晰的拍摄碲锌镉晶体。所述变焦镜头和调焦区连接处外侧设置有固定环，所述固定环螺纹连接有固定螺栓，以固定所述变焦镜头和所述调焦区。这种碲锌镉晶体用检测仪器具有大大的节省了拼图时间，提高了测试效率，还可以保证足够的图像分辨率，同时简化了成像系统的效果。
Description
技术领域
本实用新型属于质检的技术领域，具体涉及一种碲锌镉晶体用检测仪器。
背景技术
碲锌镉作为一种重要的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料，碲锌镉晶体是一种重要的化合物半导体材料，为闪锌矿结构，广泛应用于空间探测、医疗影像、环境监测、核安全防护及基础科学研究等领域。然而目前采用垂直布里奇曼法制备的碲锌镉单晶中存在较多的缺陷，如夹杂、孪晶、小角度晶界、多晶等缺陷，这些缺陷对探测器性能有很大的影响。
对碲锌镉晶体材料内部缺陷的检测,是晶体工艺质量控制的常规手段,也是衡量和评价晶体质量的重要标准之一。
目前,对晶体内部缺陷的检测常常使用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及红外显微镜。SEM和TEM都具有优异的成像分辨率，能够很清楚的看清晶体表面及内部缺陷，但是由于目前的生长工艺，碲锌镉晶体中的缺陷较大(微米级)，是影响其制成的探测器性能的主要因素之一，使用SEM和TEM检测碲锌镉缺陷可称之为大材小用，且不能拍摄晶片的整体样貌，无法对晶片的整体质量作出评价。一般的红外显微镜主要由:光源、滤光片、光阑、红外物镜、聚光器、玻璃目镜和成像系统、样品台、光路补偿器和检测器等部件组成。传统的成像系统中，成像的分辨率由显微镜决定，在微米级别下，红外显微镜无法将晶片整体成像，所以使样品处于阵列式移动，镜头不断捕捉样品的每个区域，由此将每块区域的成像图片拼接成一张完整的图片。但是，显微镜成像拼图时，每成像一张图片，需要对焦一次，大大增加了一张完整图像的拼图时间。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种碲锌镉晶体用检测仪器，以解决显微镜成像拼图时，每成像一张图片，需要手动对焦一次，大大增加了一张完整图像的拼图时间的技术问题，达到用摄像机镜头代替显微镜成像，依靠摄像机的自动对焦，配合可移动载物台，可进行半自动化拼图，大大的节省了拼图时间，提高了测试效率，且摄像机本身优异的参数保证足够的图像分辨率能够看清晶体内部缺陷，同时简化了成像系统的目的。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种碲锌镉晶体用检测仪器，包括：
载物台，以放置碲锌镉晶体；
镜头机构，所述镜头机构设置于所述载物台的上方，以拍摄碲锌镉晶体；
所述镜头机构包括上部的变焦镜头和下部的调焦区，所述变焦镜头通过所述调焦区进行调焦，以清晰的拍摄碲锌镉晶体。
进一步的，所述变焦镜头和调焦区连接处外侧设置有固定环，所述固定环螺纹连接有固定螺栓，以固定所述变焦镜头和所述调焦区。
进一步的，所述载物台包括下方的支撑台和上方的放置透明板，所述支撑台的中心开设有透光通槽，所述支撑台的下方设置有透射光源。
进一步的，所述支撑台设置有径向移动件和横向移动件。
进一步的，所述径向移动件包括连接于所述支撑台的径向伺服电机和供支撑台径向移动的径向滑轨。
进一步的，所述横向移动件包括连接于所述支撑台的横向伺服电机和供支撑台横向移动的横向滑轨。
进一步的，所述调焦区包括设于上方的粗调焦旋钮和设于下方的微调焦旋钮。
本实用新型的有益效果是：
1、通过镜头机构的变焦镜头和调焦区，能够清晰的拍到碲锌镉晶体的具体分子结构及排列，检测碲锌镉晶体的合格率。
2、通过透射光源和放置透明板，能够从下方进行放射光源，更加通透的照射碲锌镉晶体，提升检测碲锌镉晶体的准确率。
3、通过径向移动件和横向移动件，能够自动的横向和竖向移动碲锌镉晶体，对碲锌镉晶体进行全方位的进行检测，提升检测准确率。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的碲锌镉晶体用检测仪器的结构示意图；
图2是本实用新型的碲锌镉晶体用检测仪器的径向移动件和横向移动件的结构示意图。
图中：
1、支撑台；11、载物台；12、放置透明板；13、透光通槽；14、透射光源；
2、镜头机构；21、变焦镜头；22、调焦区；221、粗调焦旋钮；222、微调焦旋钮；
3、固定环；31、固定螺栓；
4、径向移动件；41、径向伺服电机；42、径向滑轨；
5、横向移动件；51、横向伺服电机；52、横向滑轨。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：
如图1至图2所示，一种碲锌镉晶体用检测仪器，包括：载物台11，以放置碲锌镉晶体，其中，载物台11包括载物台11包括下方的支撑台1和上方的放置透明板12，载物台11和支撑台1的中心开设有透光通槽13，支撑台1的下方设置有透射光源14。通过透射光源14对碲锌镉晶体进行下部照射，以提升碲锌镉晶体的透射率。
还包括：镜头机构2，镜头机构2设置于载物台1的上方，以拍摄碲锌镉晶体；镜头机构2包括上部的变焦镜头21和下部的调焦区22，变焦镜头21通过调焦区22进行调焦，以清晰的拍摄碲锌镉晶体。
在本实施例中，调焦区22包括设于上方的粗调焦旋钮221和设于下方的微调焦旋钮222，通过粗调焦旋钮221，以对变焦镜头21进行粗调焦，调整到大概的对准范围，再通过微调焦旋钮222，以对变焦镜头21进行精确调焦，调焦至清晰的拍摄碲锌镉晶体。
其中，变焦镜头21和调焦区22连接处外侧设置有固定环3，固定环3螺纹连接有固定螺栓31，以固定变焦镜头21和调焦区22，提升变焦镜头21和调焦区22的连接稳定性。
如图1和图2所示，载物台11设置有径向移动件4和横向移动件5。径向移动件4包括连接于载物台11的径向伺服电机41和供载物台11径向移动的径向滑轨42。通过径向伺服电机41的转动，推动载物台11在径向滑轨42内径向滑动，从而能够径向的检查碲锌镉晶体。
横向移动件5包括连接于载物台11的横向伺服电机51和供载物台11横向移动的横向滑轨52，通过横向伺服电机51的转动，推动载物台11在横向滑轨52内横向滑动，从而能够横向的检查碲锌镉晶体。
综上所述，通过镜头机构2的变焦镜头21和调焦区22，能够清晰的拍到碲锌镉晶体的具体分子结构及排列，检测碲锌镉晶体的合格率。通过透射光源14和放置透明板12，能够从下方进行放射光源，更加通透的照射碲锌镉晶体，提升检测碲锌镉晶体的准确率。通过径向移动件4和横向移动件5，能够自动的横向和竖向移动碲锌镉晶体，对碲锌镉晶体进行全方位的进行检测，提升检测准确率。
本申请中选用的各个器件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本领域技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，包括：
载物台(11)，以放置碲锌镉晶体；
镜头机构(2)，所述镜头机构(2)设置于所述载物台的上方，以拍摄碲锌镉晶体；
所述镜头机构(2)包括上部的变焦镜头(21)和下部的调焦区(22)，所述变焦镜头(21)通过所述调焦区(22)进行调焦，以清晰的拍摄碲锌镉晶体。
2.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述变焦镜头(21)和调焦区(22)连接处外侧设置有固定环(3)，所述固定环(3)螺纹连接有固定螺栓(31)，以固定所述变焦镜头(21)和所述调焦区(22)。
3.如权利要求2所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述载物台(11)包括下方的支撑台(1)和上方的放置透明板(12)，所述载物台(11)和支撑台(1)的中心开设有透光通槽(13)，所述支撑台的下方设置有透射光源(14)。
4.如权利要求3所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述载物台(11)设置有径向移动件(4)和横向移动件(5)。
5.如权利要求4所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述径向移动件(4)包括连接于所述支撑台的径向伺服电机(41)和供载物台(11)径向移动的径向滑轨(42)。
6.如权利要求5所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述横向移动件(5)包括连接于所述载物台(11)的横向伺服电机(51)和供支撑台横向移动的横向滑轨(52)。
7.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器，其特征在于，
所述调焦区(22)包括设于上方的粗调焦旋钮(221)和设于下方的微调焦旋钮(222)。
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2023
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