CN221123638U - 一种mpcvd碟形腔设备的五轴捕捉测温装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，该MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，包括支撑底板，所述支撑底板顶部固定安装有支撑斜板，所述支撑斜板顶部固定安装有测温组件，该MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，通过设置支撑底板、支撑斜板与Z轴移动滑轮等进行五轴调节，第一轴通过固定螺栓调节支撑底板与支撑斜板的角度大小，使测温仪在XZ面方向进行角度调节；第二轴通过调节移动台的X轴，在X轴上对测温仪进行调节；第三轴通过调节移动台的Y轴，在Y轴上对测温仪进行调节；第四轴通过调节移动台的Z轴，在Z轴上对测温仪进行调节，第五轴通过调节移动台的R轴，在XY平面上对测温仪进行调节。

Description

一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置

技术领域

本实用新型涉及MPCVD设备测温技术领域，具体为一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置。

背景技术

CVD金刚石的生长温度值对晶体生长有着很重要的影响，需要对生长的金刚石的温度进行实时监测，防止未能及时发现金刚石温度变化，导致金刚石生长出现异常；并且可以根据生长温度数值的变化，调整生长参数，有助于金刚石生长。

现实际CVD金刚石生产过程中，由于测温窗口尺寸有限，测温仪距离测温窗口距离较近，金刚石生长面积在扩大，可达到75-100mm，导致测温仪在实际生长中可监测到的测温面积极少，不能大面积的测量金刚石生长温度，对生长过程中的温度监控数据较少，影响对金刚石生长的判断，不利于CVD金刚石生长，故提出一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可增大测温仪对CVD金刚石生长的测温面积且方便将测温仪从测温基台拆卸的MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，包括支撑底板，所述支撑底板顶部固定安装有支撑斜板，所述支撑斜板顶部固定安装有测温组件，所述测温组件包括移动台，所述移动台设置于支撑斜板顶部，所述移动台左侧与顶部分别固定安装有Z轴移动滑轮与X轴移动滑轮，所述移动台右侧固定安装有Y轴移动滑轮与R轴移动滑轮，所述移动台顶部固定安装有测温载具，所述测温载具顶部固定连接有安装箱，所述安装箱内设置有拆装结构，所述测温载具通过拆装结构连接有测温仪，所述支撑底板底部设置有腔体，所述腔体内底壁顶部固定安装有水冷基片台，所述水冷基片台顶部固定安装有生长基台，所述安装箱顶部固定安装有支架，所述测温仪表面固定安装有支架；

所述拆装结构包括齿杆，所述齿杆活动安装于安装箱内部，所述齿杆表面啮合有齿轮，所述齿轮中部固定安装有转杆，所述转杆顶部固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆表面螺纹套装有螺纹块，所述螺纹块表面转动安装有两个运动杆，两个所述运动杆底部均转动安装有滑块，两个所述滑块中部滑动安装有滑杆，两个所述滑块顶部均固定安装有插杆。

进一步，所述支撑底板通过固定螺栓固定连接有支撑斜板，所述腔体顶部开设有测温窗口。

进一步，所述支架上开设有插孔，所述安装箱内部固定安装有两个隔板，且两个隔板均开设有限位孔，所述滑杆固定安装于两个隔板之间，所述安装箱顶部开设有通槽。

进一步，所述X轴移动滑轮位于支撑斜板上方，Y轴移动滑轮位于X轴移动滑轮上方。

进一步，所述Z轴移动滑轮位于Y轴移动滑轮上方，R轴移动滑轮位于Z轴移动滑轮上方。

进一步，所述测温载具位于R轴移动滑轮上方。

进一步，所述生长基台位于冷基片台上方中心位置，所述生长基台的生长直径为75-100mm。

进一步，所述测温窗口的直径为10-15mm。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，通过设置支撑底板、支撑斜板与Z轴移动滑轮等进行五轴调节，第一轴通过固定螺栓调节支撑底板与支撑斜板的角度大小，使测温仪在XZ面方向进行角度调节；第二轴通过调节移动台的X轴，在X轴上对测温仪进行调节；第三轴通过调节移动台的Y轴，在Y轴上对测温仪进行调节；第四轴通过调节移动台的Z轴，在Z轴上对测温仪进行调节；第五轴通过调节移动台的R轴，在XY面上对测温仪进行调节，通过上述设置可确保测温仪有最大的测温面积，极大的增强了对CVD金刚石生长的温度监控效果，且通过设置拆装结构方便将测温仪上固定的支架与测温载具分离，则若测温仪损坏，方便将测温仪拆下维修。

附图说明

图1为本实用新型测温组件主视图；

图2为本实用新型测温组件俯视图；

图3为本实用新型测温仪工作示意图；

图4为本实用新型安装箱剖视图。

图中：1、支撑底板；2、固定螺栓；3、支撑斜板；4、Z轴移动滑轮；5、X轴移动滑轮；6、Y轴移动滑轮；7、R轴移动滑轮；8、测温仪；9、测温载具；10、腔体；11、生长基台；12、水冷基片台；13、测温窗口；14、安装箱；15、拆装结构；1501、齿杆；1502、齿轮；1503、转杆；1504、螺纹杆；1505、螺纹块；1506、运动杆；1507、滑块；1508、滑杆；1509、插杆；16、支架；17、移动台；18、测温组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实施例中的一种MPCVD设备的五轴调节测温装置，包括支撑底板1，支撑底板1顶部固定安装有支撑斜板3，支撑底板1通过固定螺栓2固定连接有支撑斜板3，支撑斜板3顶部固定安装有测温组件18，测温组件1包括移动台17，移动台17设置于支撑斜板3顶部，移动台17左侧与顶部分别固定安装有Z轴移动滑轮4与X轴移动滑轮5，移动台17右侧固定安装有Y轴移动滑轮6与R轴移动滑轮7，移动台17顶部固定安装有测温载具9，测温载具9顶部固定连接有安装箱14，安装箱14内设置有拆装结构15，测温载具9通过拆装结构15连接有测温仪8，支撑底板1底部设置有腔体10，腔体10内底壁顶部固定安装有水冷基片台12，腔体10顶部开设有测温窗口13，水冷基片台12顶部固定安装有生长基台11，安装箱14顶部固定安装有支架16，测温仪8表面固定安装有支架16。

X轴移动滑轮5位于支撑斜板3上方，通过调节支撑底板1与支撑斜板3之间的角度，可使测温仪8与生长基台11保持相同的角度，实际可调节的夹角为40-60°，Y轴移动滑轮6位于X轴移动滑轮5上方，通过调节X轴移动滑轮5，可调节测温仪8的左右距离，测温仪8距离变化范围为0-20mm，Z轴移动滑轮4位于Y轴移动滑轮6上方，通过调节Z轴移动滑轮4，可调节测温仪8的高度，测温仪8高度变化范围为0-15mm，R轴移动滑轮7位于Z轴移动滑轮4上方，通过调节R轴移动滑轮7，可调节测温仪8的XY面的角度，测温仪8旋转角度变化范围为0-360，测温载具9位于R轴移动滑轮7上方，生长基台11位于冷基片台12上方中心位置，生长基台11的生长直径为75-100mm，测温仪8通过测温窗口13的对生长基台11进行测温，经过对五轴调节后，测温直径可达90mm，经过对五轴调节后，测温直径可达90mm，测温窗口13的直径为10-15mm，五轴可移动距离均超过测温窗口13的最大直径，确保测温仪8移动范围覆盖测温窗口13。

拆装结构15包括齿杆1501，齿杆1501活动安装于安装箱14内部，齿杆1501表面啮合有齿轮1502，齿轮1502中部固定安装有转杆1503，转杆1503顶部固定安装有螺纹杆1504，螺纹杆1504表面螺纹套装有螺纹块1505，螺纹块1505表面转动安装有两个运动杆1506，两个运动杆1506底部均转动安装有滑块1507，两个滑块1507中部滑动安装有滑杆1508，两个滑块1507顶部均固定安装有插杆1509，支架16上开设有插孔，安装箱14内部固定安装有两个隔板，且两个隔板均开设有限位孔，对齿杆1501进行限位，滑杆1508固定安装于两个隔板之间，安装箱14顶部开设有通槽，通过移动齿杆1501带动齿轮1502旋转，两个齿轮1502通过转杆1503与螺纹杆1504，使得螺纹块1505移动，螺纹块1505通过运动杆1506与滑块1507使得插杆1509插进支架16开设的插孔实现固定。

在使用时，按以下步骤进行操作：

1)先第一轴通过固定螺栓2调节支撑底板1与支撑斜板3的角度大小，使测温仪8在XZ面方向进行角度调节；

2)然后第二轴通过调节移动台17的X轴移动滑轮5，在X轴上对测温仪8进行调节；

3)再第三轴通过调节移动台17的Y轴移动滑轮6，在Y轴上对测温仪8进行调节；第四轴通过调节移动台17的Z轴；

4)最后第四轴通过调节移动台17的Z轴，在Z轴移动滑轮上对测温仪8进行调节；第五轴通过调节移动台17的R轴移动滑轮，在XY面上对测温仪8进行调节。

综上所述，该MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，通过设置支撑底板1、支撑斜板3与Z轴移动滑轮4等进行五轴调节，第一轴通过固定螺栓2调节支撑底板1与支撑斜板3的角度大小，使测温仪8在XZ面方向进行角度调节；第二轴通过调节移动台17的X轴，在X轴上对测温仪8进行调节；第三轴通过调节移动台17的Y轴，在Y轴上对测温仪8进行调节；第四轴通过调节移动台17的Z轴，在Z轴上对测温仪8进行调节；第五轴通过调节移动台17的R轴，在XY面上对测温仪8进行调节，通过上述设置可确保测温仪有最大的测温面积，极大的增强了对CVD金刚石生长的温度监控效果，且通过设置拆装结构15方便将测温仪8上固定的支架16与测温载具9分离，则若测温仪8损坏，方便将测温仪8拆下维修。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，包括支撑底板(1)，其特征在于：所述支撑底板(1)顶部固定安装有支撑斜板(3)，所述支撑斜板(3)顶部固定安装有测温组件(18)，所述测温组件(18)包括移动台(17)，所述移动台(17)设置于支撑斜板(3)顶部，所述移动台(17)左侧与顶部分别固定安装有Z轴移动滑轮(4)与X轴移动滑轮(5)，所述移动台(17)右侧固定安装有Y轴移动滑轮(6)与R轴移动滑轮(7)，所述移动台(17)顶部固定安装有测温载具(9)，所述测温载具(9)顶部固定连接有安装箱(14)，所述安装箱(14)内设置有拆装结构(15)，所述测温载具(9)通过拆装结构(15)连接有测温仪(8)，所述支撑底板(1)底部设置有腔体(10)，所述腔体(10)内底壁顶部固定安装有水冷基片台(12)，所述水冷基片台(12)顶部固定安装有生长基台(11)，所述安装箱(14)顶部固定安装有支架(16)，所述测温仪(8)表面固定安装有支架(16)；

所述拆装结构(15)包括齿杆(1501)，所述齿杆(1501)活动安装于安装箱(14)内部，所述齿杆(1501)表面啮合有齿轮(1502)，所述齿轮(1502)中部固定安装有转杆(1503)，所述转杆(1503)顶部固定安装有螺纹杆(1504)，所述螺纹杆(1504)表面螺纹套装有螺纹块(1505)，所述螺纹块(1505)表面转动安装有两个运动杆(1506)，两个所述运动杆(1506)底部均转动安装有滑块(1507)，两个所述滑块(1507)中部滑动安装有滑杆(1508)，两个所述滑块(1507)顶部均固定安装有插杆(1509)。

2.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述支撑底板(1)通过固定螺栓(2)固定连接有支撑斜板(3)，所述腔体(10)顶部开设有测温窗口(13)。

3.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述支架(16)上开设有插孔，所述安装箱(14)内部固定安装有两个隔板，且两个隔板均开设有限位孔，所述滑杆(1508)固定安装于两个隔板之间，所述安装箱(14)顶部开设有通槽。

4.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述X轴移动滑轮(5)位于支撑斜板(3)上方，Y轴移动滑轮(6)位于X轴移动滑轮(5)上方。

5.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述Z轴移动滑轮(4)位于Y轴移动滑轮(6)上方，R轴移动滑轮(7)位于Z轴移动滑轮(4)上方。

6.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述测温载具(9)位于R轴移动滑轮(7)上方。

7.根据权利要求1所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述生长基台(11)位于冷基片台(12)上方中心位置，所述生长基台(11)的生长直径为75-100mm。

8.根据权利要求2所述的一种MPCVD碟形腔设备的五轴捕捉测温装置，其特征在于：所述测温窗口(13)的直径为10-15mm。