CN221099631U - 光学检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供的一种光学检测系统，包括：光源、调整模块、第一检测模块、第二检测模块和采集模块。所述光源用于产生或引入测量用光。所述调整模块用于调整光线。所述第一检测模块和所述第二检测模块用于对光线进行扩束整形。并且第二检测模块的扩束整形能力强于所述第一检测模块的扩束整形能力。所述采集模块可以采集光学数据。本实用新型实施例具有测量精度高、倍率调节区间大的特点。

Description

光学检测系统

技术领域

本实用新型涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种光学检测系统。

背景技术

虽然现有的光学检测系统具有快速、非接触和无损伤优点，但是在进行光学检测时，在现有的一些低倍率的检测系统中当待测样品包括高深宽比的孔，孔底的反射光线容易被遮拦，从而导致测量深孔时精度不高。高倍率的检测系统又存在装配难度大、调节麻烦的问题，难以灵活应用，因此现有光学检测系统也具有倍率调节区间小的缺陷。

因此，亟需提供一种新的光学检测系统，以解决现有光学检测系统的不足。

实用新型内容

由鉴于此，为了解决上述现有技术的不足，本实用新型实施提供了一种光学检测系统，具有测量精度高、倍率调节区间大的特点。

为实现上述目的，本实用新型一个实施提供一种光学检测系统包括：光源，具有光输出端，所述光源用于产生或引入测量用光；调整模块，具有光调整输入端和第一光调整输出端、第二光调整输出端，所述光调整输入端连接所述光输出端，所述调整模块用于调整光线；第一检测模块，具有检测光第一输入端和检测光第一输出端，所述检测光第一输入端连接所述第一光调整输出端，所述第一检测模块用于对光线进行扩束整形；第二检测模块具有检测光第二输入端和检测光第二输出端，所述检测光第二输入端连接所述第二光调整输出端，所述第二检测模块用于对光线进行扩束整形，并且第二检测模块的扩束整形能力强于所述第一检测模块的扩束整形能力；以及采集模块具有采集光输入端，所述采集光输入端连接所述检测光第一输出端和检测光第二输出端，所述采集模块用于采集光学信息。

本实用新型的一个实施例中，所述调整模块包括：第一调整子模块具有第一光调整输入子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块；第二调整子模块具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块。

本实用新型的一个实施例中，所述光源包括分光单元；所述光输出端包括：第一光输出端和第二光输出端。所述分光单元上形成有所述第一光输出端和所述第二光输出端。

本实用新型的一个实施例中，所述调整模块包括孔径限制单元。所述孔径限制单元包括视场光阑和孔径光阑，所述视场光阑用于控制光线的收光角度的大小，所述孔径光阑用于限制光线的截面尺寸。

在本实用新型的一个实施例中，所述调整模块还包括调焦镜组。所述调焦镜组与所述孔径限制单元配合用于实现科勒照明或临界照明。

本实用新型的一个实施例中，所述第一检测模块包括迈克尔逊型物镜模块、米洛型物镜模块。所述第二检测模块为林尼克物镜模块。

本实用新型的一个实施例中，所述第一检测模块还包括物镜切换装置。所述迈克尔逊型物镜模块和所述米洛型物镜模块分别连接所述物镜切换装置。所述物镜切换装置用于将所述检测光第一输入端和检测光第一输出端设置在所述迈克尔逊型物镜模块上或所述米洛型物镜模块上。

本实用新型的一个实施例中，所述采集模块还包括：成像单元、测量单元。所述成像单元和所述测量单元分别连接所述采集光输入端。所述成像单元用于采集光学数据。所述测量单元用于检测光信号，并根据检测到的光信号获取所述光信号的光源结构和物质信息。

本实用新型的一个实施例中，所述采集模块还包括：第一调整子模块，具有第一光调整输入子端和第一光调整输出子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块；第二调整子模块，具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述第一光调整输出子端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块。

本实用新型的一个实施例中，所述光学检测系统还包括置物平台，用于承载待测样品；所述置物平台设置在所述第一检测模块的一侧和第二检测模块的一侧，并用于接收来自于所述检测光第一输出端和检测光第二输出端的光线。

上述实施方案有如下优点或有益效果：

1、所述第一检测模块和第二检测模块可以切换使用，提升检测效率；当测件为高深宽比的孔时，第二检测模块可以对高深宽比的孔的三维形貌进行更高精度测量；而同时整个光学检测系统可以兼容低倍到高倍几乎所有的放大倍率的要求，即可兼容低分辨率到高分辨率；

2、通过设置所述第一调整子模块和第二调整子模块实现了分别调整进入所述第一检测模块和第二检测模块的光线，避免了第一检测模块和第二检测模块共用光调整元件，降低了光调整难度，因此能提升检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1a为本实用新型一个实施例提供的一种光学检测系统的结构示意图。

图1b为本实用新型一个实施例提供的另一种光学检测系统的结构示意图。

图2为图1a所示光学检测系统的局部结构放大示意图。

图3为图1a所示光学检测系统的另一种局部结构放大示意图。

具体实施方式

以上是本实用新型的核心思想，为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合附图，对本实用新型实施例中的具体结构和功能细节进行清楚、完整地描述，这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本实用新型的示例性实施例的目的。但是本实用新型可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”和“一端”、等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序；“输入端”、“输出端”的连接关系默认指光路连接，即输入端与输出端构成光路的两端，“输入端”、“输出端”在空间中的具体位置在没有明确写出时不做限制。应当理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排它的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、产品或设备固有的其他步骤或单元。

参见图1a和图1b，本实用新型实施例提供的光学检测系统包括光源10，具有光输出端，所述光源10用于产生或引入测量用光；调整模块13，具有光调整输入端和第一光调整输出端、第二光调整输出端，所述光调整输入端连接所述光输出端，所述调整模块13用于调整光线；第一检测模块12，具有检测光第一输入端和检测光第一输出端，所述检测光第一输入端连接所述第一光调整输出端，所述第一检测模块12用于对光线进行扩束整形；第二检测模块14具有检测光第二输入端和检测光第二输出端，所述检测光第二输入端连接所述第二光调整输出端，所述第二检测模块14用于对光线进行扩束整形，并且所述第二检测模块14的扩束整形能力强于所述第一检测模块12的扩束整形能力；以及采集模块11具有采集光输入端，所述采集光输入端连接所述检测光第一输出端和检测光第二输出端，所述采集模块11用于采集光学数据。

从光源10处产生或引入的光可以通过所述调整模块13后，抵达所述第一检测模块12和第二检测模块14。所述第一检测模块12的检测光第一输出端和所述第二检测模块14的检测光第二输出端可以让光线照射在待测样品上。待测样品将光线反射，所述光线经过第一检测模块12或第二检测模块14后，抵达所述采集模块11。故所述待测样品的光学信息被所述采集模块11所采集。并且所述第二检测模块14的扩束整形能力强于所述第一检测模块12的扩束整形能力。因此当待测样品具有高深宽比的孔时，所述第二检测模块14可以检测待测样品。所述采集模块11根据所述待测样品反射的所述光线对高深宽比的孔的三维形貌进行更高精度测量。而当不需要太高的测量精度时，则可以通过第一检测模块12检测待测样品。所述采集模块11根据所述待测样品反射的所述光线对待测样品进行低倍率的测量。因此，仅需要将待测样品匹配至所需的检测模块，对调整模块13进行调整，无需重新装配大量的设备即可使整个光学检测系统可以兼容低倍到高倍几乎所有的放大倍率的要求，即可兼容低分辨率到高分辨率，并提高检测效率。

具体地，所述扩束整形是指扩大光束和改变光场，例如让进入第一检测模块12或第二检测模块14的光线在空间中的传播方向发生改变，例如让所述光线的传播表面发生变化，让所述光线的传播表面的形状发生改变，如传播表面的曲率和面积大小发生改变。所述第二检测模块14的扩束整形能力强于所述第一检测模块12的扩束整形能力是例如指，在有限的传播距离内，光线传播表面的曲率和面积的可以发生较大的变化。例如第一检测模块12和第二检测模块14通过物镜进行检测，那么所述第二检测模块14所包含的物镜的放大倍率要高于所述第一检测模块12所包含物镜的放大倍率。

进一步地，本实用新型实施例提供的光学检测系统的一种实施方式如图1a所示。所述调整模块13包括：第一调整子模块133，具有第一光调整输入子端和第一光调整输出子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块133；第二调整子模块135，具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述第一光调整输出子端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块135。所述第一检测模块12和所述第二检测模块14共用所述第一调整子模块133。图1b中所示的透镜139用于将所述调整模块13内的光线转换为平行光并传递至所述第二调整模块14。图1b中所示的第二分光件137可以透射和反射光线，用于将光线反射至第一检测模块12，以及将光线透射至第二检测模块14和采集模块11。

进一步地，本实用新型实施例提供的光学检测系统的一种优选实施方式如图1b、图2和图3所示，所述调整模块13包括：第一调整子模块133具有第一光调整输入子端。所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块133。第二调整子模块135具有第二光调整输入子端。所述第二光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块135。通过设置所述第一调整子模块133和所述第二调整子模块135，所述调整模块13可以分别对经过所述调整模块13并进入所述第一检测模块12和所述第二检测模块14的光线进行调整，从而避免了第一检测模块12和所述第二检测模块14公用同一调整模块。所述第一调整子模块133和所述第二调整子模块135因此近降低了光线的调整难度。

进一步地，参见图2，所述光源10包括分光单元102。所述光输出端包括：第一光输出端和第二光输出端。所述分光单元102用于将所述光输出端分为所述第一光输出端和所述第二光输出端。所述第一光输出端连接所述第一光调整输入子端，所述第二光输出端连接所述第二光调整输入子端。通过设置所述分光单元102，所述第一检测模块12和所述第二检测模块14可以同时接收光线并进行光学检测。

此外，参见图2，所述分光单元102例如还包括滤光件、第一分光件、第一导光件和第二导光件。所述滤光件可以滤除从所述光源发出的所述光线的杂散光，选择所述光线的波长。第一分光件用于分光。所述第一导光件和所述第二导光件用于传输所述第一分光件分出的光线，例如一束光线通过所述第一导光件，另一束光线通过所述第二导光件。所述滤光件例如为偏振片，滤波装置等。所述第一分光件例如为分光镜、分光棱镜等。所述第一导光件和所述第二导光件例如为光纤、光学镜组等。

进一步地，参见图2和图3所述调整模块13包括孔径限制单元；所述孔径限制单元包括视场光阑和孔径光阑，所述视场光阑用于控制光线的收光角度的大小，所述孔径光阑用于限制光线的截面尺寸。

具体地，参见图2和图3，所述孔径限制单元包括：第一视场光阑1332和第一孔径光阑1334。所述第一视场光阑1332位于所述第一调整子模块133。所述第一视场光阑1332可以控制所述光线的收光角度的大小。所述第一孔径光阑1334在所述第一光路上。所述第一孔径光阑1334用于限制所述光线的截面尺寸。所述孔径限制单还包括：第二视场光阑1352和第二孔径光阑1354。所述第二视场光阑1352位于所述第二调整子模块135。所述第二视场光阑1352可以控制所述光线的收光角度的大小。所述第二孔径光阑1354位于所述第二调整子模块135。所述第二孔径光阑1354用于限制所述光线的截面尺寸。因此，所述第一视场光阑1332和所述第一孔径光阑1334能够调节经过所述第一调整子模块133到达第一检测模块12的光线的光照强度和照射面积；所述第二视场光阑1352和所述第二孔径光阑1354能够调节经过所述第二调整子模块135到达所述第二检测模块14的光线的光照强度和照射面积。从而实现了第一检测模块12和第二检测模块14所需探测光线的分别独立调节，从而避免了公用孔径光阑和视场光阑造成的重复调整和调整难度，从而提升了检测效率。

进一步地，参见图2和图3，所述调整模块13还包括调焦镜组。所述调焦镜组与所述孔径限制单元配合用于实现科勒照明或临界照明。

具体地，参见图2和图3，所述调焦镜组例如包括第一调焦子镜组和第二调焦子镜组。所述第一调焦子镜组例如位于所述第一调整子模块133，并例如包括第一透镜1331、第二透镜1333和第三透镜1335。所述第一透镜1331、第二透镜1333和第三透镜1335形成一光路，所述第一视场光阑1332和第一孔径光阑1334位于所述光路上，并且所述第一视场光阑1332位于所述第二透镜1333和所述第三透镜1335之间；所述第一孔径光阑1334位于所述第一透镜1331和所述第二透镜1333之间。所述第一透镜1331、第二透镜

1333和第三透镜1335和所述第一视场光阑1332、第一孔径光阑1334配合用于对所述第一检测模块12进行科勒照明或临界照明的调节。所述第二调焦子镜组例如位于所述第二调整子模块135，并例如包括第四透镜1351、第五透镜1353和第六透镜1355。所述第四透镜1351、第五透镜1353和第六透镜1355形成一光路，所述第二视场光阑1352和第二孔径光阑1354位于所述光路上，并且所述第二视场光阑1352位于所述第五透镜1353和所述第六透镜1355之间；所述第二孔径光阑1354位于所述第四透镜1351和所述第五透镜1353之间。所述第四透镜1351、第五透镜1353和第六透镜1355和所述第二视场光阑1352、第二孔径光阑1354配合用于对所述第二检测模块14进行科勒照明或临界照明的调节。

此外，参见图2，所述调整模块13例如还包括第二分光件137。所述第二分光件137可以将通过所述调整模块13的光线折射至所述第一检测模块12，并可以将通过所述第一检测模块12并被待测样品反射的光线透射至所述采集模块11。所述第二分光件137例如为分光镜、分光棱镜等。所述第二分光件137还可以将通过如图1b所示的第一调整子模块133的光线透射至所述第二检测模块14。如图1b所示，所述调整模块13例如还包括传导透镜139，用于将通过所述第一调整子模块133的光线调整为平行光，并传递至所述第二检测模块14。

进一步地，参见图2和图3，所述第一检测模块12包括(michelson)迈克尔逊型物镜模块121、(mirau)米洛型物镜模块122。所述第二检测模块14为(Linnik)林尼克物镜模块。所述第一检测模块12和所述第二检测模块14的扩束整形能力通过所述迈克尔逊型物镜模块121、米洛型物镜模块122和所述林尼克物镜模块实现。

进一步地，参见图2，所述第一检测模块12还包括物镜切换装置123。所述迈克尔逊型物镜模块121和所述米洛型物镜模块122分别连接所述物镜切换装置123。所述物镜切换装置123用于将所述检测光第一输入端和检测光第一输出端设置在所述迈克尔逊型物镜模块121上或所述米洛型物镜模块122上。所述迈克尔逊型物镜模块121和所述米洛型物镜模块可以满足用户的低倍率测量需求。通过所述物镜切换装置123，用户可以选择使用迈克尔逊型物镜模块121或所述米洛型物镜模块122。所述光学检测系统故可以满足不同待测样品的不同测量需求，无需另外地复杂组装，可实现一键切换功能，操作方便。

具体地，如图2所示的所述迈克尔逊型物镜模块121内包括迈克尔逊型物镜；所述米洛型物镜模块122包括米洛型物镜；如图3所示的所述林尼克物镜模块包括林尼克物镜141。并且，迈克尔逊型物镜和米洛物镜为常用的低倍率光学检测系统中的物镜，可以根据实际测量需求以选择不同型号，在此不再赘述。

具体地，参见图3，所述林尼克物镜模块包括林尼克物镜141和林尼克参考物镜143、以及参考镜144和第三分光件142。所述林尼克物镜141用于对照射在待测样品上的光线进行扩束整形；所述林尼克参考物镜143用于对照射在所述参考镜144上的光线进行扩束整形。所述待测样品反射的光线经过所述林尼克物镜141并照射在所述第三分光件142上，所述参考镜144反射的光线经过所述林尼克参考物镜143并照射在所述第三分光件142上，两束光线在所述第三分光镜142上形成干涉图样。所述干涉图样被所述第三分光镜142传递至所述采集模块11，用于采集待测样品的光学信息。

进一步地，所述采集模块11还包括：成像单元、测量单元。所述成像单元和所述测量单元分别连接所述采集光输入端。所述成像单元用于采集光学数据。所述测量单元用于检测光信号，并根据检测到的光信号获取所述光信号的光源结构和物质信息。

具体地，参见图2和图3，所述成像单元包括第一成像元件112和第二成像元件115。所述测量单元包括第一测量元件111和第二测量元件114。所述采集模块还包括：第四分光件113和第五分光件116。所述第四分光件113用于将来自于所述第一检测模块12的光线分为两束光线，并将所述的两束光线传至所述第一成像元件112和所述第一测量元件111。所述第五分光件116用于将来自于所述第二检测模块14的光线分为两束光线，并将所述的两束光线分别传至所述第二成像元件115和所述第二测量元件114。

具体地，本实用新型实施例中的第一测量元件111例如为二极管阵列检测器(PDA)，第二测量元件114为光谱仪(Spectrometer)，光谱仪例如用于根据第六光路获得待测样品的结构信息，二极管阵列检测器例如用于根据第八光获得待测样品的结构信息。

具体地，本实用新型实施中的成像单元例如为图像传感器，如CCD(ChargeCoupled Device电荷耦合器件)图像传感器，该图像传感器利用光线成像，以便处理单元实现待测区域的识别、定位以及面积分析，具体地，该图像传感器可以根据通过第五光路和第七光路的光线进行图像测量，处理单元通过图像识别找到成像光线中所需测量部分并提取其位置信息和尺寸信息等。

其中，结构信息包括结构的轮廓和孔径等信息，各个区域的特征信息包括该区域内结构的轮廓和孔径等信息。

进一步地，参见图1a和图1b，所述光学检测系统还包括置物平台15，用于承载所述待测样品；所述置物平台15设置在所述第一检测模块12的一侧和第二检测模块14的一侧，并并用于接收来自于所述检测光第一输出端和检测光第二输出端的光线。

下面举例说明该实用新型实施例的工作原理：参见图2，所述光源101发射光线。所述光线抵达所述分光单元102，所述光线经过滤光件过滤。所述光线之后到达第一分光件。所述光线在第一分光件分为两束光线，一束光线通过第一光调整输入子端进入所述第一调整子模块133，另一束光线通过所述第二光调整输入子端进入所述第二光调整子模块135。所述第一调整子模块133和所述第二调整子模块135通过所述孔径限制单元和所述调焦镜组实现对在所述第一调整子模块133和所述第二调整子模块135的光线分别进行科勒照明或临界照明的调节。调节后的光线进入所述第一检测模块12和第二检测模块14。所述物镜切换装置123可以设置用迈克尔逊型物镜121或米洛型物镜122来接受光线，例如米洛型物镜122接受所述光线。所述光线经过所述米洛型物镜122，照射在设置于所述置物平台15的待测样品上。所述待测样品反射所述光线。所述光线再次经过所述米洛型物镜122，被扩束整形后，通过所述第二分光件137后抵达所述采集模块11。所述光线携带有所述待测样品的光学信息，该光学信息被所述采集模块11通过所述第一成像元件112和所述第一测量元件111采集。

所述第二检测模块14接收光线并对待测样本进行测量的情况参见上述第二检测模块14所包括的结构和功能以及上述用米洛型物镜122进行测量的情况。因整体流程基本一致，故不在此赘述。

此外，如图1b、图2和图3共同所示的光学检测系统和图1a所示的光学检测系统均可以选用第一检测模块12和第二检测模块14，也可以使用第一检测模块12和第二检测模块14同时进行测量。如图1b所示的光学检测系统不同于如图1a、图2和图3共同所示的光学检测系统的主要区别在于，如图1a所示的光学检测系统的所述第一检测模块12和所述第二检测模块14共用所述第一调整子模块133和第二调整子模块135。图1b中所示的透镜139用于将所述调整模块13内的光线转换为平行光并传递至所述第二调整模块14。

在本实用新型所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多路单元或模块可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多路网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。

另外，在本实用新型各个实施例中的各功能模块可以集成在一个处理模块中，也可以是各个模块单独物理存在，也可以两个或两个以上模块集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能模块的形式实现。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：光源(10)，具有光输出端，所述光源(10)用于产生或引入测量用光；

调整模块(13)，具有光调整输入端和第一光调整输出端、第二光调整输出端，所述光调整输入端连接所述光输出端，所述调整模块(13)用于调整光线；

第一检测模块(12)，具有检测光第一输入端和检测光第一输出端，所述检测光第一输入端连接所述第一光调整输出端，所述第一检测模块(12)用于对光线进行扩束整形；

第二检测模块(14)具有检测光第二输入端和检测光第二输出端，所述检测光第二输入端连接所述第二光调整输出端，所述第二检测模块(14)用于对光线进行扩束整形，并且所述第二检测模块(14)的扩束整形能力强于所述第一检测模块(12)的扩束整形能力；以及

采集模块(11)具有采集光输入端，所述采集光输入端连接所述检测光第一输出端和检测光第二输出端，所述采集模块(11)用于采集光学信息。

2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括：

第一调整子模块(133)，具有第一光调整输入子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块(133)；

第二调整子模块(135)，具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块(135)。

3.根据权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，所述光源(10)包括分光单元(102)；所述光输出端包括：第一光输出端和第二光输出端；所述分光单元(102)上形成有所述第一光输出端和所述第二光输出端；

所述第一光输出端连接所述第一光调整输入子端，所述第二光输出端连接所述第二光调整输入子端。

4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括孔径限制单元；

所述孔径限制单元包括视场光阑和孔径光阑，所述视场光阑用于控制光线的收光角度的大小，所述孔径光阑用于限制光线的截面尺寸。

5.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)还包括调焦镜组；所述调焦镜组与所述孔径限制单元配合用于实现科勒照明或临界照明。

6.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测模块(12)包括迈克尔逊型物镜模块(121)、米洛型物镜模块(122)；

所述第二检测模块(14)为林尼克物镜模块。

7.根据权利要求6所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测模块(12)还包括物镜切换装置(123)；所述迈克尔逊型物镜模块(121)和所述米洛型物镜模块(122)分别连接所述物镜切换装置(123)，所述物镜切换装置(123)用于将所述检测光第一输入端和检测光第一输出端设置在所述迈克尔逊型物镜模块(121)上或所述米洛型物镜模块(122)上。

8.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述采集模块(11)还包括：成像单元、测量单元；所述成像单元和所述测量单元分别连接所述采集光输入端；所述成像单元用于采集光学数据；所述测量单元用于检测光信号，并根据检测到的光信号获取所述光信号的光源结构和物质信息。

9.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调整模块(13)包括：

第一调整子模块(133)，具有第一光调整输入子端和第一光调整输出子端，所述第一光调整输入子端连接所述光调整输入端，所述第一光调整输出端位于所述第一调整子模块(133)；

第二调整子模块(135)，具有第二光调整输入子端，所述第二光调整输入子端连接所述第一光调整输出子端，所述第二光调整输出端位于所述第二调整子模块(135)。

10.根据权利要求1-9任一项所述的光学检测系统，其特征在于，还包括置物平台(15)，用于承载待测样品；所述置物平台(15)设置在所述第一检测模块(12)的一侧和第二检测模块(14)的一侧，并用于接收来自于所述检测光第一输出端和检测光第二输出端的光线。