CN221094290U - 一种单晶炉预膜处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种单晶炉预膜处理设备。它解决了现在市面上的专门用于单晶炉预膜处理的设备较少，且适配性不高等技术问题。本单晶炉预膜处理设备，包括箱体A、箱体B、箱体C、箱体D和箱体E，底部分别通过水管A1、水管B1、水管C1、水管D1和水管E1连接有主水管一，顶部设置有开口，开口上方分别通过水管A7、水管B7、水管C7、水管D7和水管E3连接有主水管二，主水管二的一端连接有气管X，气管X通过三通管分别连接有气体管道的一端和气管Y，气管Y与主水管一的一端相连，主水管二的另一端通过单元E与与气体管道的另一端和主水管一的另一端相连。本实用新型通过各管路与阀门之间的配合，能够很好的对单晶炉进行清洗和预膜。

Description

一种单晶炉预膜处理设备

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，涉及一种单晶炉预膜处理设备。

背景技术

预膜处理是水处理的一种基础处理。在清洗结束后,设备金属表面处于活泼状态,预膜处理就是在整个系统的运行初期,向水中投加高浓度的缓蚀阻垢剂,使金属表面迅速生成一种化学保护膜,以阻止介质对设备的侵蚀,从而起到缓蚀阻垢作用。而在单晶炉的运作过程中也需要对其进行预膜处理，而现在市面上的专门用于单晶炉预膜处理的设备较少，且适配性不高，因此，设计出一种单晶炉预膜处理设备是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种单晶炉预膜处理设备。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种单晶炉预膜处理设备，包括A箱、B箱、C箱、D箱和E箱，其特征在于，所述A箱、B箱、C箱、D箱和E箱底部分别通过水管A1、水管B1、水管C1、水管D1和水管E1连接有主水管一，主水管一上又分别通过单元A、单元B、单元C、单元D、单元E连接有外部的流水管一和流水管二，所述A箱、B箱、C箱、D箱和E箱顶部设置有开口，开口上方分别通过水管A7、水管B7、水管C7、水管D7和水管E3连接有主水管二，所述主水管二的一端连接有X气管，X气管通过三通管分别连接有气体管道的一端和Y气管，Y气管与主水管一的一端相连，所述主水管二的另一端通过单元E与与气体管道的另一端和主水管一的另一端相连。

所述单元A包括水管A2，所述水管A2一端连接主水管一，水管A2的另一端通过三通管分别连接有水管A3和水管A4，所述水管A3连接有流水管一，所述水管A4通过三通管分别连接有回水管A和水管A5，所述水管A5又通过三通管分别连接有流水管二和水管A6，所述水管A6通过气管A连接有气体管道。

所述单元E包括水管E2，所述水管E2一端连接主水管一，水管E2的另一端通过三通管分别连接有水管D3和气体管道，所述气体管道端部连接有气管E4，气管E4又通过三通管分别连接主水管二和出气口，所述主水管二的端部设置有水管E5作为备用接口。

所述的各水管和气管上均安装有对应的阀门。

所述Y气管上安装有气阀一，所述X气管上安装有气阀二。

所述出气口上安装有气阀三。

采用上述结构，方便控制。

本实用新型的工作原理如下：选择A箱、B箱、C箱、D箱或E箱其中之一作为主体进行一拖四操作，例如选择A箱作为主体：将流水管一和流水管二接好相应单晶炉后，开关阀门，使A1、A2、A3、A5、A7阀开启，A4、A6阀关闭B2、B3、B5阀开启，B1、B4、B6、B7阀关闭C2、C3、C5阀开启，C1、C4、C6、C7阀关闭D2、D3、D5阀开启，D1、D4、D6、D7阀关闭E1、E2、E3、E4、E5阀关闭气阀1、气阀2、气阀3关闭，之后正式抽A桶液体，常温循环清洗5-8分钟,关A桶开关电源，等液体回流到A桶内，等到没有液体流出时，将A1阀关闭，先开气阀1、后开气阀3，进行排液，排干后关闭气阀1、气阀3，之后再关闭：A2、A5、B2、B5、C2、C5、D2、D5阀，开启：A4、A6、B4、B6、C4、C6、D4、D6阀，再三检查各个阀门状态，再开启气阀3，进行反向排液，排干后，关闭气阀3，最后关闭：A4、A6、B4、B6、C4、C6、D4、D6阀,开启E4阀、气阀2，检查各个阀门状态后，开启气阀3，进行最终排液，排干后关闭气阀3；采用B箱、C箱、D箱或E箱为主体时其工作原理与上述原理相同。

与现有技术相比，本单晶炉预膜处理设备具有该优点：本实用新型通过各管路与阀门之间的配合，能够很好的对单晶炉进行清洗和预膜。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型的平面结构示意图。

图中，1、A箱；2、B箱；3、C箱；4、D箱；5、E箱；6、主水管一；7、流水管一；8、流水管二；9、主水管二；10、X气管；11、Y气管；12、气体管道；13、气阀一；14、气阀二；15、气阀三。

(本实用新型中各管路与阀门具有对应性，因此采用其代号直接在图中标识，如A1表示安装在水管A1上的A1阀……)

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-2所示，本单晶炉预膜处理设备，包括A箱1、B箱2、C箱3、D箱4和E箱5，A箱1、B箱2、C箱3、D箱4和E箱5底部分别通过水管A1、水管B1、水管C1、水管D1和水管E1连接有主水管一6，主水管一6上又分别通过单元A、单元B、单元C、单元D、单元E连接有外部的流水管一7和流水管二8，A箱1、B箱2、C箱3、D箱4和E箱5顶部设置有开口，开口上方分别通过水管A7、水管B7、水管C7、水管D7和水管E3连接有主水管二9，主水管二9的一端连接有X气管10，X气管10通过三通管分别连接有气体管道12的一端和Y气管11，Y气管11与主水管一6的一端相连，主水管二9的另一端通过单元E与与气体管道12的另一端和主水管一6的另一端相连。

本实用新型中各个水管均采用现有的相匹配的型号。

本实用新型中的三通管采用现有的产品。

本实用新型中流水管一7和流水管二8采用快速接头和软管连接对应的单晶炉。

本实用新型中A箱1、B箱2、C箱3、D箱4和E箱5可根据需求放入不同的药剂溶液。

单元A包括水管A2，所述水管A2一端连接主水管一6，水管A2的另一端通过三通管分别连接有水管A3和水管A4，水管A3连接有流水管一7，水管A4通过三通管分别连接有回水管A和水管A5，水管A5又通过三通管分别连接有流水管二8和水管A6，水管A6通过气管A连接有气体管道12。

本实用新型中单元B、单元C和单元D均采用与单元A相同的结构。

单元E包括水管E2，水管E2一端连接主水管一6，水管E2的另一端通过三通管分别连接有水管D3和气体管道12，气体管道12端部连接有气管E4，气管E4又通过三通管分别连接主水管二9和出气口，主水管二9的端部设置有水管E5作为备用接口。

各水管和气管上均安装有对应的阀门。

本实用新型中采用的阀门根据其管路的不同使用现有的水路阀门和气阀门。

Y气管11上安装有气阀一13，X气管10上安装有气阀二。

出气口上安装有气阀三。

本实用新型中气阀一13、气阀二和气阀三均采用现有的产品。

本实用新型的工作原理：选择A箱1、B箱2、C箱3、D箱4或E箱5其中之一作为主体进行一拖四预膜处理操作，例如选择A箱1作为主体：将流水管一7和流水管二8接好相应单晶炉后，开关阀门，使A1、A2、A3、A5、A7阀开启，A4、A6阀关闭B2、B3、B5阀开启，B1、B4、B6、B7阀关闭C2、C3、C5阀开启，C1、C4、C6、C7阀关闭D2、D3、D5阀开启，D1、D4、D6、D7阀关闭E1、E2、E3、E4、E5阀关闭气阀1、气阀2、气阀3关闭，之后正式抽A桶液体，常温循环清洗5-8分钟,关A桶开关电源，等液体回流到A桶内，等到没有液体流出时，将A1阀关闭，先开气阀1、后开气阀3，进行排液，排干后关闭气阀1、气阀3，之后再关闭：A2、A5、B2、B5、C2、C5、D2、D5阀，开启：A4、A6、B4、B6、C4、C6、D4、D6阀，再三检查各个阀门状态，再开启气阀3，进行反向排液，排干后，关闭气阀3，最后关闭：A4、A6、B4、B6、C4、C6、D4、D6阀,开启E4阀、气阀2，检查各个阀门状态后，开启气阀3，进行最终排液，排干后关闭气阀3；采用B箱2、C箱3、D箱4或E箱5为主体时其工作原理与上述原理相同。

本实用新型中阀门把手与管道垂直是关闭状态，与管道平行是开启状态。

本实用新型中各机构通过现有技术进行连接和驱动。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (6)

1.一种单晶炉预膜处理设备，包括A箱(1)、B箱(2)、C箱(3)、D箱(4)和E箱(5)，其特征在于，所述A箱(1)、B箱(2)、C箱(3)、D箱(4)和E箱(5)底部分别通过水管A1、水管B1、水管C1、水管D1和水管E1连接有主水管一(6)，主水管一(6)上又分别通过单元A、单元B、单元C、单元D、单元E连接有外部的流水管一(7)和流水管二(8)，所述A箱(1)、B箱(2)、C箱(3)、D箱(4)和E箱(5)顶部设置有开口，开口上方分别通过水管A7、水管B7、水管C7、水管D7和水管E3连接有主水管二(9)，所述主水管二(9)的一端连接有X气管(10)，X气管(10)通过三通管分别连接有气体管道(12)的一端和Y气管(11)，Y气管(11)与主水管一(6)的一端相连，所述主水管二(9)的另一端通过单元E与气体管道(12)的另一端和主水管一(6)的另一端相连。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述单元A包括水管A2，所述水管A2一端连接主水管一(6)，水管A2的另一端通过三通管分别连接有水管A3和水管A4，所述水管A3连接有流水管一(7)，所述水管A4通过三通管分别连接有回水管A和水管A5，所述水管A5又通过三通管分别连接有流水管二(8)和水管A6，所述水管A6通过气管A连接有气体管道(12)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述单元E包括水管E2，所述水管E2一端连接主水管一(6)，水管E2的另一端通过三通管分别连接有水管D3和气体管道(12)，所述气体管道(12)端部连接有气管E4，气管E4又通过三通管分别连接主水管二(9)和出气口，所述主水管二(9)的端部设置有水管E5作为备用接口。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述的各水管和气管上均安装有对应的阀门。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述Y气管(11)上安装有气阀一(13)，所述X气管(10)上安装有气阀二(14)。

6.根据权利要求3所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述出气口上安装有气阀三(15)。