CN221068164U - 一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，包括车座架、第一侧架和第二侧架，所述车座架的表面一侧边缘安装有第一侧架，所述车座架的表面另一侧边缘安装有第二侧架，所述第一侧架和第二侧架的内侧下方设置有底座结构，所述第一侧架和第二侧架的顶部均安装有贯穿板，所述贯穿板设置有四个，四个所述贯穿板分别位于车座架的四角上方，所述底座结构的正上方设置有码放盒，所述码放盒的外部设置有防护罩，所述车座架的外壁一侧中部倾斜安装有推杆。该装置可以进行拆卸收纳，第一侧架和第二侧架通过连接的螺栓进行拆除后，可通过底部与车座架之间连接的轴体进行翻转，从而将侧边的侧架展开，节省占地空间。

Description

一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车

技术领域

本实用新型涉及晶圆设备技术领域，具体涉及一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，对于晶圆盒的批量搬运就需要用到一种晶圆盒搬运小车。

现有的晶圆盒搬运小车在使用中通常不便进行多槽位的码放，不利于进行批量搬运，例如申请号为CN201520569182.4公开的一种晶圆盒运送系统。现有的该类对于晶圆盒进行运送的装置多以整体搬运的形式，缺少对批量的晶圆盒进行同时搬运的功能，也不能够根据晶圆盒的数量进行多槽位码放，降低了晶圆盒搬运的效率。

因此，发明一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，以解决技术中在使用中通常不便进行多槽位的码放的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，包括车座架、第一侧架和第二侧架，所述车座架的表面一侧边缘安装有第一侧架，所述车座架的表面另一侧边缘安装有第二侧架，所述第一侧架和第二侧架的内侧下方设置有底座结构，所述第一侧架和第二侧架的顶部均安装有贯穿板，所述贯穿板设置有四个，四个所述贯穿板分别位于车座架的四角上方，所述底座结构的正上方设置有码放盒，所述码放盒的外部设置有防护罩，所述车座架的外壁一侧中部倾斜安装有推杆。

优选的，所述第一侧架转动连接在车座架的表面一侧边缘，所述第一侧架和第二侧架的外壁均设置有凸面板，所述凸面板的顶端中部开设有贯穿孔，所述凸面板的外侧面开设有限位孔。

优选的，所述限位孔开设至贯穿板的外壁上，所述凸面板表面限位孔外侧设置有限位板，所述限位板的外壁两侧均固定设置有柱形对接插块，所述柱形对接插块贯穿在两个侧架同侧的限位孔中，且从侧架表面限位孔中贯穿至贯穿板表面限位孔内。

优选的，所述第二侧架的边缘一侧上方轴连接有挡板，所述挡板的端部卡合在第一侧架的上方一侧，所述挡板的一端通过螺钉固定在第二侧架的外壁上。

优选的，所述底座结构包括底座板、固定桩、缓冲杆、轴块和伸缩杆，所述底座板分别位于第一侧架和第二侧架的内侧上方和车座架的表面，两个所述底座板的相对面四角上均固定安装有固定桩，所述两个所述固定桩之间交叉安装有缓冲杆，两个所述缓冲杆的交叉处安装有轴块，两个所述底座板相对面的中部之间安装有伸缩杆。

优选的，所述码放盒的表面两侧均固定安装有“十”字形卡块，所述卡块的拐角处卡合放置有晶圆盒体。

优选的，所述码放盒的底部两侧均设置有抽屉板，所述抽屉板分别固定连接在同侧的两个贯穿板的侧壁上。

优选的，所述防护罩为透明设置，所述防护罩的内顶面四角均设置有套筒，所述套筒的底面中部与贯穿板顶端卡合安装。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

该多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，通过将需要进行搬运的晶圆盒体在码放盒进行码放，在码放的同时可以根据晶圆盒体的规格大小，将晶圆盒体卡在十字型设置的卡块之间，使得晶圆盒体在十字型卡块形成的槽内稳固摆放，一个码放盒可以同时摆放多个晶圆盒体，该装置设置有多个码放盒，可以同时进行晶圆盒体多量和批量的搬运操作；

装置在使用时贯穿板可以进行高度的调节，将贯穿板往上拉伸，可以增加码放盒摆放的层数，就增加了晶圆盒体摆放的数量，该装置可以进行拆卸收纳，第一侧架和第二侧架通过连接的螺栓进行拆除后，可通过底部与车座架之间连接的轴体进行翻转，从而将侧边的侧架展开，节省占地空间，贯穿板也可以通过柱形对接插块进行拆分，操作简单，安装时也比较方便。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的码放盒抽出结构示意图；

图3为本实用新型的挡板展开结构示意图；

图4为本实用新型的码放盒结构示意图；

图5为本实用新型的底座结构示意图。

附图标记说明：

1、车座架；2、第一侧架；201、凸面板；202、贯穿孔；203、限位孔；204、限位板；205、柱形对接插块；3、第二侧架；301、挡板；4、底座结构；401、底座板；402、固定桩；403、缓冲杆；404、轴块；405、伸缩杆；5、贯穿板；6、码放盒；601、卡块；602、晶圆盒体；603、抽屉板；7、防护罩；701、套筒；8、推杆。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

本实用新型提供了如图1-5所示的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，包括车座架1、第一侧架2和第二侧架3，车座架1的表面一侧边缘安装有第一侧架2，第一侧架2转动连接在车座架1的表面一侧边缘，第一侧架2和第二侧架3的外壁均设置有凸面板201，凸面板201的顶端中部开设有贯穿孔202，凸面板201的外侧面开设有限位孔203，限位孔203开设至贯穿板5的外壁上，凸面板201表面限位孔203外侧设置有限位板204，限位板204的外壁两侧均固定设置有柱形对接插块205，柱形对接插块205贯穿在两个侧架同侧的限位孔203中，且从侧架表面限位孔203中贯穿至贯穿板5表面限位孔203内，车座架1的表面另一侧边缘安装有第二侧架3，第二侧架3的边缘一侧上方轴连接有挡板301，挡板301的端部卡合在第一侧架2的上方一侧，挡板301的一端通过螺钉固定在第二侧架3的外壁上；

第一侧架2和第二侧架3的内侧下方设置有底座结构4，底座结构4包括底座板401、固定桩402、缓冲杆403、轴块404和伸缩杆405，底座板401分别位于第一侧架2和第二侧架3的内侧上方和车座架1的表面，两个底座板401的相对面四角上均固定安装有固定桩402，两个固定桩402之间交叉安装有缓冲杆403，两个缓冲杆403的交叉处安装有轴块404，两个底座板401相对面的中部之间安装有伸缩杆405，第一侧架2和第二侧架3的顶部均安装有贯穿板5，贯穿板5设置有四个，四个贯穿板5分别位于车座架1的四角上方，底座结构4的正上方设置有码放盒6，码放盒6的表面两侧均固定安装有“十”字形卡块601，卡块601的拐角处卡合放置有晶圆盒体602，码放盒6的底部两侧均设置有抽屉板603，抽屉板603分别固定连接在同侧的两个贯穿板5的侧壁上，码放盒6的外部设置有防护罩7，防护罩7为透明设置，防护罩7的内顶面四角均设置有套筒701，套筒701的底面中部与贯穿板5顶端卡合安装，车座架1的外壁一侧中部倾斜安装有推杆8。

本实用工作原理：

参照说明书附图1-5，对于该类多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，在使用时首先将需要进行搬运的晶圆盒体602通过码放盒6进行码放，在码放的同时可以根据晶圆盒体602的规格大小，将晶圆盒体602卡在十字型设置的卡块601之间，使得晶圆盒体602在十字型卡块601形成的槽内稳固摆放，一个码放盒6可以同时摆放多个晶圆盒体602，该装置设置有多个码放盒6，可以同时进行晶圆盒体602多量和批量的搬运操作，底座结构4上方的底座板401也可以用于码放盒6的摆放，装置在使用时贯穿板5可以进行高度的调节，将贯穿板5往上拉伸，可以增加码放盒6摆放的层数，就增加了晶圆盒体602摆放的数量，而少量的进行搬运时，对于晶圆盒体602进行摆放时，可将整件的晶圆盒体602放在底座结构4的底座板401上，两侧四周的第一侧架2和第二侧架3都高于底座板401的位置，所以当晶圆盒体602放在内部时就可以起到四周防护遮挡的效果，避免搬运转运过程中发生晶圆盒体602掉落的现象，底部的底座结构4具有底座增加稳定性的作用，对整个装置的底部增加稳固性能，提高该小车对于晶圆盒体602搬运的效率，同时第一侧架2和第二侧架3之间为可拆卸式安装，第二侧架3端部的挡板301可以进行转动展开，使得其可以从第一侧架2的一侧打开，从而将晶圆盒体602从内侧位置取出，当整个小车卸货完毕后装置可以进行拆卸收纳，第一侧架2和第二侧架3通过连接的螺栓进行拆除后，可通过底部与车座架1之间连接的轴体进行翻转，从而将侧边的侧架展开，节省占地空间，贯穿板5也可以通过柱形对接插块205进行拆分，操作简单，安装时也比较方便。

以上所述仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，包括车座架(1)、第一侧架(2)、第二侧架(3)、底座结构(4)、贯穿板(5)、码放盒(6)、防护罩(7)和推杆(8)，其特征在于，所述车座架(1)的表面一侧边缘安装有第一侧架(2)，所述车座架(1)的表面另一侧边缘安装有第二侧架(3)，所述第一侧架(2)和第二侧架(3)的内侧下方设置有底座结构(4)，所述第一侧架(2)和第二侧架(3)的顶部均安装有贯穿板(5)，所述贯穿板(5)设置有四个，四个所述贯穿板(5)分别位于车座架(1)的四角上方，所述底座结构(4)的正上方设置有码放盒(6)，所述码放盒(6)的外部设置有防护罩(7)，所述车座架(1)的外壁一侧中部倾斜安装有推杆(8)。

2.根据权利要求1所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述第一侧架(2)转动连接在车座架(1)的表面一侧边缘，所述第一侧架(2)和第二侧架(3)的外壁均设置有凸面板(201)，所述凸面板(201)的顶端中部开设有贯穿孔(202)，所述凸面板(201)的外侧面开设有限位孔(203)。

3.根据权利要求2所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述限位孔(203)开设至贯穿板(5)的外壁上，所述凸面板(201)表面限位孔(203)外侧设置有限位板(204)，所述限位板(204)的外壁两侧均固定设置有柱形对接插块(205)，所述柱形对接插块(205)贯穿在两个侧架同侧的限位孔(203)中，且从侧架表面限位孔(203)中贯穿至贯穿板(5)表面限位孔(203)内。

4.根据权利要求1所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述第二侧架(3)的边缘一侧上方轴连接有挡板(301)，所述挡板(301)的端部卡合在第一侧架(2)的上方一侧，所述挡板(301)的一端通过螺钉固定在第二侧架(3)的外壁上。

5.根据权利要求1所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述底座结构(4)包括底座板(401)、固定桩(402)、缓冲杆(403)、轴块(404)和伸缩杆(405)，所述底座板(401)分别位于第一侧架(2)和第二侧架(3)的内侧上方和车座架(1)的表面，两个所述底座板(401)的相对面四角上均固定安装有固定桩(402)，所述两个所述固定桩(402)之间交叉安装有缓冲杆(403)，两个所述缓冲杆(403)的交叉处安装有轴块(404)，两个所述底座板(401)相对面的中部之间安装有伸缩杆(405)。

6.根据权利要求1所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述码放盒(6)的表面两侧均固定安装有“十”字形卡块(601)，所述卡块(601)的拐角处卡合放置有晶圆盒体(602)。

7.根据权利要求6所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述码放盒(6)的底部两侧均设置有抽屉板(603)，所述抽屉板(603)分别固定连接在同侧的两个贯穿板(5)的侧壁上。

8.根据权利要求1所述的一种多槽位便于码放的晶圆盒搬运小车，其特征在于：所述防护罩(7)为透明设置，所述防护罩(7)的内顶面四角均设置有套筒(701)，所述套筒(701)的底面中部与贯穿板(5)顶端卡合安装。