CN221055989U - 一种循环检漏的氦质谱检漏系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，氦质谱检漏仪、连接真空室、粗抽空真空室、待检维持真空室以及多组检漏组件，氦质谱检漏仪与连接真空室连接，粗抽空真空室连接冷阱；连接真空室、粗抽空真空室和待检维持真空室上分别设置至少三个抽口，每组抽口连接一组检漏组件；检漏组件包括氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀、维持真空挡板阀、氮气破空真空挡板阀和连接真空挡板阀，连接真空室上连接氦检真空挡板阀，粗抽空真空室上连接粗抽空真空挡板阀，待检维持真空室上连接维持真空挡板阀，氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀和维持真空挡板阀连接至一路总管路，总管路连接真空挡板阀。本实用新型提高检漏速度和精度，降低了检漏成本。

Description

一种循环检漏的氦质谱检漏系统

技术领域

本实用新型涉及检漏技术领域，尤其涉及一种循环检漏的氦质谱检漏系统。

背景技术

检漏技术已应用于多种行业中，包括食品包装、医药、半导体、航空航天、能源等，在无损检测技术中，氦质谱检漏选用的示踪气体为惰性气体氦气，具有无毒、易通过小漏孔、在空气中的存在恒量（0.0005%）、相对便宜、不易被吸收以及可以进行动态测试等特点，因此被广泛应用。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高以及不易受其他气体的干扰，在真空检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。随着行业的激烈竞争，在不大量增加人力资源的前提下，企业需要对现有工艺进行优化。

在高真空绝热容器批量生产中，高真空绝热容器的设计、加工以及检测流程已固化，技术较为成熟，产品合格率高。但高真空绝热容器的可靠性要求极高，因此对每一台产品均需进行严格的漏率等指标检测。现有的氦质谱检漏方法有抽空机组、氦质谱检漏仪、分流喷氦检漏法，精度相对不高，预抽空时间长，装配、检测、记录和拆装贯穿每一台产品，现有的氦质谱检漏装置和方法已无法适应批量生产需要，因此需要对于检漏设备进行技术改造，从而提高生产效率，降低不良品率，增大收益。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种循环检漏的氦质谱检漏系统，实现一次装配多件，梯次循环漏率检测，提高检测生产效率。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种循环检漏的氦质谱检漏系统，它包括氦质谱检漏仪、连接真空室、粗抽空真空室、待检维持真空室以及多组检漏组件，所述氦质谱检漏仪与连接真空室连接，所述粗抽空真空室连接冷阱；

所述连接真空室、粗抽空真空室和待检维持真空室上分别设置至少三个抽口，每组抽口连接一组检漏组件；所述检漏组件包括氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀、维持真空挡板阀、氮气破空真空挡板阀和连接真空挡板阀，所述连接真空室上设有支路连接氦检真空挡板阀，所述粗抽空真空室上设有支路连接粗抽空真空挡板阀，所述待检维持真空室上设有支路连接维持真空挡板阀，所述氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀和维持真空挡板阀连接至一路总管路，总管路连接真空挡板阀，总管路上连接氮气破空真空挡板阀，所述连接真空挡板阀连接待检气瓶。

进一步地，所述氦质谱检漏仪通过连接波纹管与连接真空室连接。

进一步地，所述粗抽空真空室和待检维持真空室设置在连接真空室的下方。

进一步地，所述冷阱连接第一罗茨泵直连机组，所述待检维持真空室连接第二罗茨泵直连机组。

进一步地，所述连接真空室上设有第一真空规管。

进一步地，所述粗抽空真空室上设有第二真空规管。

进一步地，所述待检维持真空室上设有第三真空规管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型利用预抽空与检测的时间差，设置三组并列的检漏阀组，控制好产品的装卸环节和上下瓶时间，实现一次装配多件，梯次循环漏率检测，预抽空、切换过程自动控制，大大提高检测效率，降低不良品率，提高经济效益；同时，使用氮气破空，可以有效预防夹层材料的二次污染。

附图说明

图1为本实用新型的氦质谱检漏系统的结构示意图。

图2为本实用新型的氦质谱检漏系统的主视图。

图3为本实用新型的逻辑原理示意图。

其中：

氦质谱检漏仪1、连接波纹管2、连接真空室3、第一真空规管31、第一罗茨泵直连机组4、冷阱5、粗抽空真空室6、第二真空规管61、第二罗茨泵直连机组7、待检维持真空室8、第三真空规管81、检漏组件9、氦检真空挡板阀91、粗抽空真空挡板阀92、维持真空挡板阀93、氮气破空真空挡板阀94、连接真空挡板阀95。

实施方式

为更好地理解本实用新型的技术方案，以下将结合相关图示作详细说明。应理解，以下具体实施例并非用以限制本实用新型的技术方案的具体实施态样，其仅为本实用新型技术方案可采用的实施态样。需先说明，本文关于各组件位置关系的表述，如A部件位于B部件上方，其系基于图示中各组件相对位置的表述，并非用以限制各组件的实际位置关系。

实施例1

参见图1-3，图1绘制了本实用新型的氦质谱检漏系统的结构示意图。如图所示，一种循环检漏的氦质谱检漏系统，它包括氦质谱检漏仪1、连接真空室3、粗抽空真空室6、待检维持真空室8以及三组检漏组件9，所述氦质谱检漏仪1通过连接波纹管2与连接真空室3连接，所述粗抽空真空室6设置在连接真空室3的下方，所述粗抽空真空室6连接冷阱5，所述冷阱5连接第一罗茨泵直连机组4，所述待检维持真空室8设置在粗抽空真空室6的下方，所述待检维持真空室8连接第二罗茨泵直连机组7。

所述连接真空室3、粗抽空真空室6和待检维持真空室8上分别设置三个抽口，每组抽口连接一组检漏组件9；所述检漏组件9包括氦检真空挡板阀91、粗抽空真空挡板阀92、维持真空挡板阀93、氮气破空真空挡板阀94和连接真空挡板阀95，所述连接真空室3上设有支路连接氦检真空挡板阀91，所述粗抽空真空室6上设有支路连接粗抽空真空挡板阀92，所述待检维持真空室8上设有支路连接维持真空挡板阀93，所述氦检真空挡板阀91、粗抽空真空挡板阀92和维持真空挡板阀93连接至一路总管路，总管路连接真空挡板阀95，总管路上连接氮气破空真空挡板阀94，所述连接真空挡板阀95连接待检气瓶。

所述连接真空室3上设有第一真空规管31，所述粗抽空真空室6上设有第二真空规管61，所述待检维持真空室8上设有第三真空规管81。

工作原理：

本实用新型提供的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，设置三组检漏组件，分别连接至连接真空室、粗真空真空室和待检维持真空室的三个抽口，可同时检测三个待检气瓶，利用预抽空与检测的时间差，当瓶1在连接真空室氦检，瓶3则在粗真空真空室进行粗抽空，瓶2则在待检维持真空室进行真空维持，瓶1完成氦检后，循环上瓶下瓶，瓶1进行氮气破空，瓶2则在连接真空室氦检，瓶3则在待检维持真空室进行真空维持，以此类推，实现连续作业。

上述一种循环检漏的氦质谱检漏系统的检漏方法，包括以下内容：

S1、对真空室预抽空

关闭每组检漏组件的氦检真空挡板阀、粗真空挡板阀、维持真空挡板阀和氮气破空真空挡板阀，开启两组罗茨泵直连机组，对粗抽空真空室、待检维持真空室和氦质谱检漏仪连接真空室进行预抽空；

S2、连接待检气瓶并对气瓶夹层预抽空

连接待检气瓶1号、2号和3号，开启1号气瓶对应的粗真空挡板阀和连接真空挡板阀，关闭未接气瓶2号和3号的氦检真空挡板阀和维持真空挡板阀，对1号气瓶夹层预抽空；

S3、1号气瓶夹层的预抽空真空度低于10Pa后，开启1号气瓶对应的维持真空挡板阀，关闭粗真空挡板阀，1号气瓶夹层进入真空维持；

同时开启2号气瓶的粗真空挡板阀和连接真空挡板阀，对2号气瓶夹层预抽空；

S4、对1号气瓶进行检漏

1号气瓶夹层的真空维持到低于1Pa后，关闭1号气瓶对应的维持真空挡板阀，开启氦检真空挡板阀，对夹层进行独立检漏；

在1号气瓶进行检漏的同时，2号气瓶夹层的预抽空真空度低于10Pa后，开启2号气瓶的维持真空挡板阀，关闭2号气瓶的粗真空挡板阀，2号气瓶夹层进入真空维持；开启3号气瓶的粗真空挡板阀和连接真空挡板阀，对3号气瓶夹层预抽空；

S5、对1号气瓶夹层充氮气破空

1号气瓶检漏完成后，关闭1号气瓶对应的氦检真空挡板阀，开启氮气破空真空挡板阀，对夹层充氮气破空，氮气压力1.02E+5Pa；

同时，2号气瓶夹层的真空维持到低于1Pa后，关闭2号气瓶对应的维持真空挡板阀，开启氦检真空挡板阀，对夹层进行独立检漏；3号气瓶夹层的预抽空真空度低于10Pa后，开启3号气瓶的维持真空挡板阀，关闭3号气瓶的粗真空挡板阀，3号气瓶夹层进入真空维持；

循环上瓶下瓶，实现连续作业。

以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (7)

1.一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：它包括氦质谱检漏仪（1）、连接真空室（3）、粗抽空真空室（6）、待检维持真空室（8）以及多组检漏组件（9），所述氦质谱检漏仪（1）与连接真空室（3）连接，所述粗抽空真空室（6）连接冷阱（5）；

所述连接真空室（3）、粗抽空真空室（6）和待检维持真空室（8）上分别设置至少三个抽口，每组抽口连接一组检漏组件（9）；所述检漏组件（9）包括氦检真空挡板阀（91）、粗抽空真空挡板阀（92）、维持真空挡板阀（93）、氮气破空真空挡板阀（94）和连接真空挡板阀（95），所述连接真空室（3）上设有支路连接氦检真空挡板阀（91），所述粗抽空真空室（6）上设有支路连接粗抽空真空挡板阀（92），所述待检维持真空室（8）上设有支路连接维持真空挡板阀（93），所述氦检真空挡板阀（91）、粗抽空真空挡板阀（92）和维持真空挡板阀（93）连接至一路总管路，总管路连接真空挡板阀（95），总管路上连接氮气破空真空挡板阀（94），所述连接真空挡板阀（95）连接待检气瓶。

2.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述氦质谱检漏仪（1）通过连接波纹管（2）与连接真空室（3）连接。

3.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述粗抽空真空室（6）和待检维持真空室（8）设置在连接真空室（3）的下方。

4.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述冷阱（5）连接第一罗茨泵直连机组（4），所述待检维持真空室（8）连接第二罗茨泵直连机组（7）。

5.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述连接真空室（3）上设有第一真空规管（31）。

6.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述粗抽空真空室（6）上设有第二真空规管（61）。

7.根据权利要求1所述的一种循环检漏的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述待检维持真空室（8）上设有第三真空规管（81）。