CN221051989U - 一种原子层沉积设备用化学源源柜系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及薄膜技术领域，具体涉及一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，所述柜体的内表面包裹有保温层，所述保温层过反射板压紧；在所述柜体的内底面设滑动导轨，所述滑动导轨可与源瓶连接；所述柜体的外顶面还设有排风装置和尾气侦测器；其中，所述排风装置连接至尾气处理设备；所述柜体的内顶面还设有光电感烟火灾探测器；位于柜门上方的柜体的前侧外壁设有压差表。本实用新型的优点是：结构简单合理，安装、维护操作简便，减少相关的装配维护时间；功能齐全，配置有尾气探测装置，安全性好。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜技术领域，具体涉及一种原子层沉积设备用化学源源柜系统。
背景技术
在原子层沉积镀膜设备中，化学源源柜系统起着重要的作用。是设备存放化学源的重要部分。稳定地、合理地、持续地供应是镀膜的第一步。其次还要保证操作与维护的便利性、安全性。现有的设备体积大且笨重，内部结构不是太合理，导致操作不方便，且存在安全隐患。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，提供一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，通过优化化学源源柜的布局，提高化学源源柜的使用性能，尤其是确保其使用安全，避免安全隐患。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成：
一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，包括柜体和柜门，所述柜门可开合的设置在所述柜体上，所述柜门上设置有视窗，其特征在于：所述柜体的内表面包裹有保温层，所述保温层过反射板压紧；在所述柜体的内底面设滑动导轨，所述滑动导轨可与源瓶连接；所述柜体的外顶面还设有排风装置和尾气侦测器；其中，所述排风装置连接至尾气处理设备；所述柜体的内顶面还设有光电感烟火灾探测器；位于柜门上方的柜体的前侧外壁设有压差表。
所述柜体的背部还设有电气接头固定板、CDA气管接头固定板，所述CDA气管接头固定板用于安装CDA气管接头，所述电气接头固定板用于安装电气接头。
所述柜体和所述柜门之间设有密封层。
所述柜门上还设有安全锁。
所述视窗采用防爆玻璃。
本实用新型的优点是：结构简单合理，安装、维护操作简便，减少相关的装配维护时间；功能齐全，配置有尾气探测装置，安全性好。
附图说明
图1为本实用新型柜门打开状态时的结构示意图。
图2为本实用新型侧视状态时的内部结构示意图。
图3为本实用新型中电气接头固定板的示意图。
图4为本实用新型中CDA气管接头固定板的示意图。
实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型的特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1-4所示，图中标记1-12分别表示为：柜体1、柜门2、视窗3、安全锁4、保温棉5、排风装置6、光电感烟火灾探测器7、尾气侦测器8、滑动导轨9、压差表10、电气接头固定板11、CAD气管接头固定板12。
实施例：如图1-4所示，本实施例中的原子层沉积设备用化学源源柜系统，用于为原子层沉积镀膜工艺提供化学源。
具体而言，本实施例中的化学源源柜系统包括柜体1、柜门2以及设在柜门上的采用防爆玻璃的视窗3，该柜门2可开合的设置在柜体1的一侧，通过柜门2的开合可进行源瓶的更换。除视窗3外的柜体1的内表面设保温棉5，再由反射板对该保温棉5进行压紧，其中保温棉5起到保温效果，避免内部热量向外流失，而反射板则进一步实现热反射，与保温棉5共同降低热量流失。
结合图1和图2所示，在柜体1的内腔底面位置设置有沿柜体1由内至外方向布设的滑动导轨9，在滑动导轨9上可设置有源瓶的搭载工作台，该搭载工作台可沿滑动导轨9滑动，源瓶可安装在该搭载工作台上；当更换源瓶时，可以利用滑轨9将源瓶从柜体1内拖出，方便拆装源瓶，提高便利性。
结合图1和图2所示，在柜体1的外顶面还设有排风装置6和尾气侦测器8。其中，排风装置6与尾气处理设备连接，保证柜体1内负压的同时，方便将泄漏的化学源及时排出柜内。为了便于操作人员了解到柜体1内的负压情况，在柜门2上方的柜体1的前侧外壁设有压差表10，其用于检测柜内是否始终是负压，防止有害气体扩散到柜外。尾气侦测器8所配置的传感器适用的化学源尾气与源瓶内的化学源产生的尾气形成对应，若使用的化学源没有有毒有害的尾气在一些情况下可以不配置。
如图2所示，柜体1的内顶面还设有光电感烟火灾探测器7，以及时感知柜内产生火焰或烟雾，该光电感烟火灾探测器7也与排风装置6通过控制构成联动，利用排出尾气的排风装置6进行火灾时的排烟，有效提高化学源源柜的安全性。
结合图3和图4所示，柜体1的背面设电线出线孔和气管出线孔，分别用于安装CDA气管接头及电气接头；在柜体1内对应的位置还根据不同的要求设有电气接头固定板11和CAD气管接头固定板12，通用性好。
本实施例在具体实施时：柜体1上还有明确的化学源标签及安全警示标志，给予操作者醒目的提醒。
在柜体1和柜门2之间设有密封层，保证源柜的密封性。
在柜门2上还设有安全锁4，可避免误操作引起的危险情况。
虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换故在此不一一赘述。
Claims (5)
1.一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，包括柜体和柜门，所述柜门可开合的设置在所述柜体上，所述柜门上设置有视窗，其特征在于：所述柜体的内表面包裹有保温层，所述保温层过反射板压紧；在所述柜体的内底面设滑动导轨，所述滑动导轨可与源瓶连接；所述柜体的外顶面还设有排风装置和尾气侦测器；其中，所述排风装置连接至尾气处理设备；所述柜体的内顶面还设有光电感烟火灾探测器；位于柜门上方的柜体的前侧外壁设有压差表。
2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，其特征在于：所述柜体的背部还设有电气接头固定板、CDA气管接头固定板，所述CDA气管接头固定板用于安装CDA气管接头，所述电气接头固定板用于安装电气接头。
3.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，其特征在于：所述柜体和所述柜门之间设有密封层。
4.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，其特征在于：所述柜门上还设有安全锁。
5.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，其特征在于：所述视窗采用防爆玻璃。
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