CN221051977U - 一种靶材距离调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种靶材距离调节装置。一种靶材距离调节装置，包括：安装板，所述安装板上分布有调节孔，多个调节孔周向排布，每个调节孔径向延伸；调节座，所述调节座装配在靶材的端部，所述靶材穿过所述调节孔并沿所述调节孔运动；锁紧件，所述锁紧件将所述调节座锁紧在所述安装板上。所述调节孔为腰型孔。多个调节孔呈半圆排布，所述调节孔的高度不高于圆心，相邻的两个调节孔之间的周向间距相等。所述调节座为板件，所述调节座紧贴所述安装板的板面运动，所述靶材穿过所述调节孔与所述调节座连接。解决了现有技术中的镀膜装置的靶材位置固定，无法调节位置，镀膜质量差的技术问题。

Description

一种靶材距离调节装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种靶材距离调节装置。

背景技术

现有技术中，镀膜的表面处理的方式有电镀、蒸发镀、磁控溅射、离子枪溅射等几种方式，由于膜是有机分子组成，不耐高温，因此选择冷镀的方式就是必然的趋势。上述的镀膜方式中，磁控溅射和离子枪溅射就是冷镀的方式，而且磁控溅射由于可以有限的控制靶材的均匀溅射，因此成为解决复合铜箔的理想选择方式。

如申请号为CN201910369473.1的文件公开了一种磁控溅射镀膜装置，所述镀膜装置包括镀膜腔室、镀膜辊及多个旋转阴极，所述镀膜腔室包括多个子镀膜腔室，多个所述子镀膜腔室围绕所述镀膜辊周缘设置，每一所述子镀膜腔室内至少有一个所述旋转阴极。所述旋转阴极包括圆柱状的本体，装于所述本体外周面的靶材及装于所述本体内部的磁体，所述磁体包括第一磁体及对称设置于所述第一磁体两侧的两个第二磁体。所述第一磁体与所述第二磁体在所述靶材表面形成磁场，在所述横截面上，所述磁场包括第一磁场最大点和第二磁场最大点，所述第一磁场最大点或所述第二磁场最大点与所述交点的连线与所述中心线的夹角为溅射角，所述溅射角为12°～22°。本申请避免了溅射角过大影响导电薄膜的性能。

上述磁控溅射镀膜装置可实现镀膜，但其靶材在镀膜辊的外周位置固定，无法调节位置，镀膜质量差。

实用新型内容

为了解决现有技术中的镀膜装置的靶材位置固定，无法调节位置，镀膜质量差的技术问题，本实用新型提供了一种靶材距离调节装置，解决了上述技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种靶材距离调节装置，包括：

安装板，所述安装板上分布有调节孔，多个调节孔周向排布，每个调节孔径向延伸；

调节座，所述调节座装配在靶材的端部，所述靶材穿过所述调节孔并沿所述调节孔运动；

锁紧件，所述锁紧件将所述调节座锁紧在所述安装板上。

根据本实用新型的一个实施例，所述调节孔为腰型孔。

根据本实用新型的一个实施例，多个调节孔呈半圆排布，所述调节孔的高度不高于圆心，相邻的两个调节孔之间的周向间距相等。

根据本实用新型的一个实施例，所述调节座为板件，所述调节座紧贴所述安装板的板面运动，所述靶材穿过所述调节孔与所述调节座连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述安装板上开设有第一锁紧孔组，所述调节座上开设有第二锁紧孔组，所述锁紧件穿过所述第一锁紧孔组和所述第二锁紧孔组实现锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述第一锁紧孔组包括多个圆孔锁紧孔，每个所述调节孔的外周围设多个离散的圆孔锁紧孔。

根据本实用新型的一个实施例，所述圆孔锁紧孔两个一组，所述调节孔的长边两侧分别分布有两组圆孔锁紧孔，所述调节孔的径向内侧分布有两组圆孔锁紧孔，多个所述圆孔锁紧孔相对于所述调节孔的长中线对称排布。

根据本实用新型的一个实施例，所述第二锁紧孔组包括长孔锁紧孔，所述第二锁紧孔组对应所述第一锁紧孔组设置。

根据本实用新型的一个实施例，所述调节座的周向两侧平行设置有两个第一长孔锁紧孔，两个第一长孔锁紧孔对应调节孔的长边两侧的圆孔锁紧孔设置；所述调节座的径向内端的两侧平行设置有两个第二长孔锁紧孔，两个第二长孔锁紧孔对应调节孔的径向内侧的两组圆孔锁紧孔设置。

基于上述的技术方案，本实用新型所能实现的技术效果为：

1.本实用新型的靶材距离调节装置，通过设置调节孔径向延伸，靶材可沿调节孔滑动，即径向运动来调节靶材到镀膜辊的距离，调整到位后，锁紧件将调节座锁紧在安装板上，如此，在镀膜时，可调节靶材到镀膜辊的距离，进而可控制镀膜质量，满足不同的镀膜需求；每个靶材可单独调节距离，适应镀膜的需求；

2.本实用新型的靶材距离调节装置，设置调节座的结构，调节座呈板状，且贴紧在安装板的板面上，则可增大调节座与安装板的接触面，实现调节座及靶材在安装板上的稳定固定；

3.本实用新型的靶材距离调节装置，设置第一锁紧孔组和第二锁紧孔组的结构，锁紧件穿过第一锁紧孔组和第二锁紧孔组可实现将调节座紧固在安装板上。具体设置第一锁紧孔组和第二锁紧孔组的结构，可实现调节座在调节孔的不同位置的锁紧，满足靶材位置调整的需求，满足靶材到镀膜辊的间距调节的需求。

附图说明

图1为本实用新型的靶材距离调节装置的结构示意图；

图2为另一视角下的靶材距离调节装置的结构示意图；

图3为安装板装配在安装架上的结构示意图；

图4为图3中的A部放大图；

图5为调节座的结构示意图；

图中：1-安装板；11-调节孔；12-第一锁紧孔组；121-圆孔锁紧孔；2-调节座；21-第二锁紧孔组；211-第一长孔锁紧孔；212-第二长孔锁紧孔；22-安装孔；3-靶材；4-安装架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

如图1-5所示，本实施例提供了一种靶材距离调节装置，包括安装板1，安装板1上设置有调节孔11，靶材3的一端可穿过调节孔11，靶材3可沿调节孔11运动以实现靶材3到镀膜辊的距离的调节，靶材3的穿过调节孔11的端部连接有调节座2，当靶材3调整到位后，锁紧件可锁紧调节座2和安装板1，实现对靶材3的位置的固定。

安装板1为板状件，安装板1可竖直装配，具体地，安装板1可装配在安装架4上，呈竖直设置。安装板1上设置有多个调节孔11，多个调节孔11周向排布，每个调节孔11基本径向延伸。

作为本实施例的优选技术方案，使用时，多个调节孔11周向围设在镀膜辊的外周，且调节孔11的高度不高于镀膜辊的中心线。

作为本实施例的优选技术方案，调节孔11为腰型孔。调节孔11的宽度与靶材3的端部外径相适应。

作为本实施例的优选技术方案，调节孔11基本上呈半圆周均匀排布，相邻的两个调节孔11之间的周向间距基本相等。具体地，调节孔11的径向内端呈均匀排布，相邻的两个调节孔11的内端之间的周向间距相等；调节孔11为偶数个，两两一组，同组内的调节孔11为平行设置。

调节座2为板件，靶材3的端部穿过调节孔11与调节座2连接，调节座2紧贴安装板1的板面运动，当靶材3带调节座2运动至所需位置后，锁紧件锁住调节座2和安装板1，实现对靶材3的位置的固定。

作为本实施例的优选技术方案，调节座2的中部设置有安装孔22，靶材3的端部伸到安装孔22内，与调节座2固定连接。

作为本实施例的优选技术方案，安装板1上围绕调节孔11设置有第一锁紧孔组12，调节座2上设置有第二锁紧孔组21，锁紧件穿过第一锁紧孔组12和第二锁紧孔组21来实现锁紧作用。

作为本实施例的优选技术方案，第一锁紧孔组12包括多个圆孔锁紧孔121，每个调节孔11的外周围设置有多个离散的圆孔锁紧孔121。具体地，圆孔锁紧孔121两两一组，调节孔11的长边两侧分别分布有两组圆孔锁紧孔121，调节孔11的径向内侧还分布有两组圆孔锁紧孔121，每个调节孔11的外周的圆孔锁紧孔121相对于调节孔11的长中线对称排布。

作为本实施例的优选技术方案，第二锁紧孔组21对应第一锁紧孔组12设置，第二锁紧孔组21包括多个长孔锁紧孔，具体地，调节座2的周向两侧平行设置有两个第一长孔锁紧孔211，调节座2的径向内端的两侧平行设置有两个第二长孔锁紧孔212，两个第一长孔锁紧孔211对应调节孔11长边两侧的圆孔锁紧孔121设置，两个第二长孔锁紧孔212对应调节孔11径向内侧的两组圆孔锁紧孔121设置。

除了上述对第一锁紧孔组12和第二锁紧孔组21的设置外，还可设置第一锁紧孔组12和第二锁紧孔组21均为圆孔锁紧孔，当调节座2和靶材3沿调节孔11运动至不同位置时，第二锁紧孔组21的不同圆孔锁紧孔与第一锁紧孔组12的圆孔锁紧孔对准，锁紧件进行锁紧固定。

基于上述技术方案，本实施例的靶材距离调节装置，在实际的使用中，靶材3的内周设置有镀膜辊，每个靶材3到镀膜辊的距离均可单独调节，以满足镀膜效果。

上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型的宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (9)

1.一种靶材距离调节装置，其特征在于，包括：

安装板（1），所述安装板（1）上分布有调节孔（11），多个调节孔（11）周向排布，每个调节孔（11）径向延伸；

调节座（2），所述调节座（2）装配在靶材（3）的端部，所述靶材（3）穿过所述调节孔（11）并沿所述调节孔（11）运动；

锁紧件，所述锁紧件将所述调节座（2）锁紧在所述安装板（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述调节孔（11）为腰型孔。

3.根据权利要求1所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，多个调节孔（11）呈半圆排布，所述调节孔（11）的高度不高于圆心，相邻的两个调节孔（11）之间的周向间距相等。

4.根据权利要求1所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述调节座（2）为板件，所述调节座（2）紧贴所述安装板（1）的板面运动，所述靶材（3）穿过所述调节孔（11）与所述调节座（2）连接。

5.根据权利要求4所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述安装板（1）上开设有第一锁紧孔组（12），所述调节座（2）上开设有第二锁紧孔组（21），所述锁紧件穿过所述第一锁紧孔组（12）和所述第二锁紧孔组（21）实现锁紧。

6.根据权利要求5所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述第一锁紧孔组（12）包括多个圆孔锁紧孔（121），每个所述调节孔（11）的外周围设多个离散的圆孔锁紧孔（121）。

7.根据权利要求6所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述圆孔锁紧孔（121）两个一组，所述调节孔（11）的长边两侧分别分布有两组圆孔锁紧孔（121），所述调节孔（11）的径向内侧分布有两组圆孔锁紧孔（121），多个所述圆孔锁紧孔（121）相对于所述调节孔（11）的长中线对称排布。

8.根据权利要求7所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述第二锁紧孔组（21）包括长孔锁紧孔，所述第二锁紧孔组（21）对应所述第一锁紧孔组（12）设置。

9.根据权利要求8所述的一种靶材距离调节装置，其特征在于，所述调节座（2）的周向两侧平行设置有两个第一长孔锁紧孔（211），两个第一长孔锁紧孔（211）对应调节孔（11）的长边两侧的圆孔锁紧孔（121）设置；所述调节座（2）的径向内端的两侧平行设置有两个第二长孔锁紧孔（212），两个第二长孔锁紧孔（212）对应调节孔（11）的径向内侧的两组圆孔锁紧孔（121）设置。