CN221041094U - 一种半导体制造用可调节治具 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 18
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 18
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型涉及半导体制造用治具技术领域，具体涉及一种半导体制造用可调节治具，包括：底座、夹具以及驱动所述夹具移动的驱动组件；所述驱动组件由固定盘、转动盘以及驱动转动盘转动的动力件组成；本实用新型一种半导体制造用可调节治具，气缸活塞杆伸缩带动转动盘转动，转动盘转动带动滑槽转动，滑槽转动使得连接杆在滑道内做径向运动，连接杆从滑道的外部滑动到滑道的内部，从而带动夹具做径向运动，从而使得所述夹具夹住并夹紧硅片，实现了自动化固定硅片，提高了生产效率；同时可适用于固定不同形状及厚度的硅片，能够满足不同的制造需求，提高了设备的通用性和灵活性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造用治具技术领域，具体涉及一种半导体制造用可调节治具。
背景技术
在半导体制造过程中，硅片需要进行固定以便进行各种制造步骤，包括光刻、刻蚀、离子注入等；传统的治具一般是通过手动调节来适应不同形状的硅片，调节过程较为繁琐，而且治具的精度也受到手动调节的影响，难以保证调节的准确性；为了在硅片上精确地雕刻电路图，需要改良现有的固定技术。
申请号为CN202320288738.7的专利提供一种半导体陶瓷基板固定治具。所述半导体陶瓷基板固定治具包括置物平台、与其顶面水平放置的陶瓷基板主体，所述置物平台的内部开设有限位滑槽，所述置物平台的内部轴承穿设有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的两螺纹端对称螺纹连接有限位滑座，所述限位滑座距离双向螺纹杆较远一端均贯穿限位滑槽焊接有夹持板，且夹持板对称分布于陶瓷基板主体两侧，所述双向螺纹杆距离置物平台较远一端焊接有旋转盘，所述旋转盘的外壁焊接有驱动把手。本实用新型，有效的避免了现有人工手掌按压固定易抖动使陶瓷基板偏离原始固定位置，有利于增加陶瓷基板固定稳定性，提高陶瓷基板加工精准性。
但是，该专利在固定陶瓷基板时，通过人工手持驱动把手的方式控制夹持板位置，手动操作控制精度低，难以保证夹持板位置的准确性和稳定性；且手动控制需要工人逐一调整夹持板的位置，降低生产效率。
因此，有必要提供一种新的技术方案以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可有效解决上述技术问题的一种快速打磨装置。
为达到本实用新型之目的，采用如下技术方案：一种半导体制造用可调节治具，包括：底座、夹具以及驱动所述夹具移动的驱动组件。
所述驱动组件由固定盘、转动盘以及驱动转动盘转动的动力件组成；所述固定盘固定安装于所述底座上，所述固定盘上开设有径向的滑道；所述转动盘与所述底座滑动接触，所述转动盘上开设有呈弧状的滑槽。
所述夹具上固定连接有连接杆，所述连接杆插入到所述滑道、所述滑槽内。
进一步的，所述动力件为气缸，所述气缸固定安装于所述底座上，所述气缸的活塞杆与所述转动盘连接。
进一步的，所述气缸的活塞杆末端固定安装有铰接座，所述气缸通过所述铰接座及销钉与所述转动盘铰接。
进一步的，所述气缸的活塞杆沿所述转动盘的切线运动。
进一步的，所述夹具斜面呈梯状。
进一步的，所述夹具斜面设有橡胶保护套。
进一步的，所述橡胶保护套上设有防滑纹。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1.本实用新型一种半导体制造用可调节治具，气缸活塞杆伸缩带动转动盘转动，转动盘转动带动滑槽转动，滑槽转动使得连接杆在滑道内做径向运动，连接杆从滑道的外部滑动到滑道的内部，从而带动夹具做径向运动，从而使得所述夹具夹住并夹紧硅片，实现了自动化固定硅片，提高了生产效率。
2.本实用新型一种半导体制造用可调节治具，还可适用于固定不同形状及厚度的硅片，能够满足不同的制造需求，提高了设备的通用性和灵活性。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
图1为本实用新型一种半导体制造用可调节治具的结构示意图；
图2为本实用新型一种半导体制造用可调节治具的运动原理图；
图3为本实用新型一种半导体制造用可调节治具的正视图。
图中：1、底座；2、夹具；21、连接杆；3、驱动组件；31、固定盘；311、滑道；32、转动盘；321、滑槽；33、气缸；331、铰接座。
具体实施方式
为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的部分实施例，而不是全部实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“纵向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。当机构被称为“固定于”另一个机构，它可以直接在另一个机构上或者也可以存在居中的机构。当一个机构被认为是“连接”另一个机构，它可以是直接连接到另一个机构或者可能同时存在居中机构。当一个机构被认为是“设置于”另一个机构，它可以是直接设置在另一个机构上或者可能同时存在居中机构。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
如图1至图3所示，本实用新型一种半导体制造用可调节治具，包括：底座1、夹具2以及驱动所述夹具2移动的驱动组件3；所述驱动组件3由固定盘31、转动盘32以及驱动转动盘32转动的动力件组成；所述固定盘31固定安装于所述底座1上，所述固定盘31上开设有径向的滑道311；所述转动盘32与所述底座1滑动接触，所述转动盘32上开设有呈弧状的滑槽321；所述夹具2上固定连接有连接杆21，所述连接杆21插入到所述滑道311、所述滑槽321内。
在转动的初始状态，所述连接杆21处于所述滑槽321的最外部，且所述连接杆21处于所述滑道311的最外部；随着所述转动盘32继续转动，由于所述固定盘31固定，使得所述连接杆21沿着所述滑道311做径向运动，从而实现所述夹具2对硅片进行固定；所述转动盘32的所述滑槽321及所述固定盘31的所述滑道311共同限制所述夹具2的位置，可以保证所述夹具2位置的稳定性；所述转动盘32转动到极限时，所述连接杆21处于所述滑槽321的最内部，且所述连接杆21处于所述滑道311的最内部。
在使用时，所述气缸33活塞杆伸缩带动所述转动盘32转动，所述转动盘32转动带动所述滑槽321转动，所述滑槽321转动使得所述连接杆21在所述滑道311内做径向运动，所述连接杆21从所述滑道311的外部滑动到所述滑道311的内部，从而带动所述夹具2做径向运动，从而使得所述夹具2夹住并夹紧硅片，实现了自动化固定硅片。
进一步：所述动力件为气缸33，所述气缸33固定安装于所述底座1上，所述气缸33的活塞杆与所述转动盘32连接；所述气缸33的活塞杆末端固定安装有铰接座331，所述气缸33通过所述铰接座331及销钉与所述转动盘32铰接，所述气缸33的活塞杆在运动初始时沿所述转动盘32的切线运动；使用所述气缸33可以有效的控制活塞杆伸缩的长度，从而控制所述转动盘32转动的角度；所述气缸33与所述转动盘32铰接，可以实现所述转动盘32最大范围的转动，从而实现所述连接杆21从所述滑槽321的外部滑动到所述滑槽321的内部。
进一步：所述夹具2斜面呈梯状，可用来适应不同厚度或不同形状的硅片；所述夹具2斜面设有橡胶保护套，防止硅片在所述夹具2夹住的过程中受到损伤；所述橡胶保护套上设有防滑纹，从而防止夹具2与硅片之间相对滑动。
工作原理：所述气缸33活塞杆伸缩带动所述转动盘32转动，所述转动盘32转动带动所述滑槽321转动，所述滑槽321转动使得所述连接杆21在所述滑道311内做径向运动，所述连接杆21从所述滑道311的外部滑动到所述滑道311的内部，从而带动所述夹具2做径向运动，从而使得所述夹具2夹住并夹紧硅片，实现了自动化固定硅片。
本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，包括：底座、夹具以及驱动所述夹具移动的驱动组件；
所述驱动组件由固定盘、转动盘以及驱动转动盘转动的动力件组成；所述固定盘固定安装于所述底座上，所述固定盘上开设有径向的滑道；所述转动盘与所述底座滑动接触，所述转动盘上开设有呈弧状的滑槽；
所述夹具上固定连接有连接杆，所述连接杆插入到所述滑道、所述滑槽内。
2.如权利要求1所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述动力件为气缸，所述气缸固定安装于所述底座上，所述气缸的活塞杆与所述转动盘连接。
3.如权利要求2所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述气缸的活塞杆末端固定安装有铰接座，所述气缸通过所述铰接座及销钉与所述转动盘铰接。
4.如权利要求2或3所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述气缸的活塞杆沿所述转动盘的切线运动。
5.如权利要求1所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述夹具斜面呈梯状。
6.如权利要求5所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述夹具斜面设有橡胶保护套。
7.如权利要求6所述的一种半导体制造用可调节治具，其特征在于，所述橡胶保护套上设有防滑纹。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322731342.8U CN221041094U (zh) | 2023-10-12 | 2023-10-12 | 一种半导体制造用可调节治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322731342.8U CN221041094U (zh) | 2023-10-12 | 2023-10-12 | 一种半导体制造用可调节治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221041094U true CN221041094U (zh) | 2024-05-28 |
Family
ID=91138867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322731342.8U Active CN221041094U (zh) | 2023-10-12 | 2023-10-12 | 一种半导体制造用可调节治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221041094U (zh) |
-
2023
- 2023-10-12 CN CN202322731342.8U patent/CN221041094U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
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