CN221041049U - 一种单片晶圆清洗设备挡液装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种单片晶圆清洗设备挡液装置，由第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒三层挡液结构组成，第一挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸缘；第二挡液筒的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘和第三凸缘；第三挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第四凸缘，第四凸缘伸入第三凸缘内；从而使三层挡液筒在升起时，相互配合形成弯折的气体通道，能够减少溅入的清洗液的量，并且通过第二挡液筒的两侧的凹陷处能收集溅入的清洗液，以便于后续的处理。

Description

一种单片晶圆清洗设备挡液装置

技术领域

本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种单片晶圆清洗设备挡液装置。

背景技术

单片晶圆就是一块一块对晶圆进行清洗的装置，中国发明专利文献CN112750734B公开了一种单晶圆载体清洗干燥装置，该文献中，尤其是图6中可以看到该装置中由若干层挡液筒来进行清液液的收集和回收，然而该装置中，清洗液能够直接沿着相邻两个挡液筒的间隙流出，能够直接流入到挡液筒的下方，从而导致液体收集不方便。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够减少溅入的清洗液的量并方便收集少溅入的清洗液单片晶圆清洗设备挡液装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种单片晶圆清洗设备挡液装置，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒；

所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒分别包括竖直部分和位于竖直部分顶部的向着中心方向延伸的顶端部；

所述第一挡液筒的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸缘；

所述第二挡液筒的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘和第三凸缘；

所述第三挡液筒的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第四凸缘，所述第四凸缘伸入第三凸缘内；

所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒处于运动行程的最高位置时，所述第二凸缘能够伸入所述第一凸缘内，且第二凸缘的最高端低于所述第一凸缘的最低端，所述第三凸缘的最高端低于所述第四凸缘的最低端。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒的顶端部的下边缘具有凸起，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒的顶端部的上边缘具有凹陷，且所述第二挡液筒的凸起能够与所述第一挡液筒的凹陷配合，所述第三挡液筒的凸起能够与所述第二挡液筒的凹陷配合。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒的顶端部的边缘位置具有向上抬起的部分。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒中间为单片晶圆支撑盘，单片晶圆支撑盘由第一驱动件驱动而转动。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒分别由三个第二驱动件驱动而升降。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒分别安装第一安装板上，所述第二驱动件分别驱动第二安装板运动，第一安装板与第二安装板通过竖直杆连接。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一安装板为半圆形，所述竖直杆布置在所述第一安装板和所述第二安装板的两侧。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述第一安装板和所述第二安装板之间设置有限位板，所述竖直杆穿过限位板设置。

优选地，本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，所述竖直杆外位于所述第一安装板与所述限位板之间套设有波纹密封件。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的单片晶圆清洗设备挡液装置，由第一挡液筒、第二挡液筒和第三挡液筒三层挡液结构组成，第一挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第一凸缘；第二挡液筒的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘和第三凸缘；第三挡液筒的竖直部分的底部朝向第二挡液筒的一侧成型有开口朝下的第四凸缘，第四凸缘伸入第三凸缘内；从而使三层挡液筒在升起时，相互配合形成弯折的气体通道，能够减少溅入的清洗液的量，并且通过第二挡液筒的两侧的凹陷处能收集溅入的清洗液，以便于后续的处理。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的单片晶圆清洗设备挡液装置的结构示意图；

图2是本申请实施例的单片晶圆清洗设备挡液装置的剖视图；

图3是图2中三个挡液筒位置的放大图；

图4是本申请实施例的第二挡液筒的剖视图。

图中的附图标记为：

1 单片晶圆支撑盘；

2 第一驱动件；

4 第二驱动件；

31 第一挡液筒；

32 第二挡液筒；

33 第三挡液筒；

37 凸起；

38 凹陷；

51 第一安装板；

52 竖直杆；

53 第二安装板；

54 限位板；

55 波纹密封件；

312 第一凸缘；

322 第二凸缘；

323 第三凸缘；

332 第四凸缘。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例

本实施例提供一种单片晶圆清洗设备挡液装置，如图1-4所示，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33；

所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33分别包括竖直部分和位于竖直部分顶部的向着中心方向延伸的顶端部；

所述第一挡液筒31的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒32的一侧成型有开口朝下的第一凸缘312；

所述第二挡液筒32的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘322和第三凸缘323；

所述第三挡液筒33的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒32的一侧成型有开口朝下的第四凸缘332，所述第四凸缘332伸入第三凸缘323内；

所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33处于运动行程的最高位置时，所述第二凸缘322能够伸入所述第一凸缘312内，且第二凸缘322的最高端低于所述第一凸缘312的最低端，所述第三凸缘323的最高端低于所述第四凸缘332的最低端。

本实施例的单片晶圆清洗设备挡液装置，由第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33三层挡液结构组成，第一挡液筒31的竖直部分的底部朝向第二挡液筒32的一侧成型有开口朝下的第一凸缘312；第二挡液筒32的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘322和第三凸缘323；第三挡液筒33的竖直部分的底部朝向第二挡液筒32的一侧成型有开口朝下的第四凸缘332，第四凸缘332伸入第三凸缘323内；从而使三层挡液筒在升起时，相互配合形成弯折的气体通道，能够减少溅入的清洗液的量(气流不能直接流动到下方)，并且通过第二挡液筒32的两侧的凹陷处能收集溅入的清洗液，以便于后续的处理。

进一步地，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33的顶端部的下边缘具有凸起37，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33的顶端部的上边缘具有凹陷38，且所述第二挡液筒32的凸起37能够与所述第一挡液筒31的凹陷38配合，所述第三挡液筒33的凸起37能够与所述第二挡液筒32的凹陷38配合。

进一步地，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33的顶端部的边缘位置具有向上抬起的部分。

进一步地，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33中间为单片晶圆支撑盘1，单片晶圆支撑盘1由第一驱动件2驱动而转动。

进一步地，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33分别由三个第二驱动件4驱动而升降。也就是能够使所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33分别抵达最高位置。

进一步地，所述第一挡液筒31、第二挡液筒32和第三挡液筒33分别安装第一安装板51上，所述第二驱动件4分别驱动第二安装板53运动，第一安装板51与第二安装板53通过竖直杆52连接。

进一步地，所述第一安装板51为半圆形，所述竖直杆52布置在所述第一安装板51和所述第二安装板53的两侧，以提供平衡的驱动力。

进一步地，所述第一安装板51和所述第二安装板53之间设置有限位板54，所述竖直杆52穿过限位板54设置。通过限位板54保证竖直杆52竖直布置。

进一步地，所述竖直杆52外位于所述第一安装板51与所述限位板54之间套设有波纹密封件55。波纹密封件55具有伸缩功能且能够密封住竖直杆52。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (9)

1.一种单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，包括：从内向外依次布置的第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)；

所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)分别包括竖直部分和位于竖直部分顶部的向着中心方向延伸的顶端部；

所述第一挡液筒(31)的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒(32)的一侧成型有开口朝下的第一凸缘(312)；

所述第二挡液筒(32)的竖直部分的底部两侧分别成型有开口朝上的第二凸缘(322)和第三凸缘(323)；

所述第三挡液筒(33)的竖直部分的底部朝向所述第二挡液筒(32)的一侧成型有开口朝下的第四凸缘(332)，所述第四凸缘(332)伸入第三凸缘(323)内；

所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)处于运动行程的最高位置时，所述第二凸缘(322)能够伸入所述第一凸缘(312)内，且第二凸缘(322)的最高端低于所述第一凸缘(312)的最低端，所述第三凸缘(323)的最高端低于所述第四凸缘(332)的最低端。

2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的下边缘具有凸起(37)，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的上边缘具有凹陷(38)，且所述第二挡液筒(32)的凸起(37)能够与所述第一挡液筒(31)的凹陷(38)配合，所述第三挡液筒(33)的凸起(37)能够与所述第二挡液筒(32)的凹陷(38)配合。

3.根据权利要求2所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)的顶端部的边缘位置具有向上抬起的部分。

4.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)中间为单片晶圆支撑盘(1)，单片晶圆支撑盘(1)由第一驱动件(2)驱动而转动。

5.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)分别由三个第二驱动件(4)驱动而升降。

6.根据权利要求5所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一挡液筒(31)、第二挡液筒(32)和第三挡液筒(33)分别安装第一安装板(51)上，所述第二驱动件(4)分别驱动第二安装板(53)运动，第一安装板(51)与第二安装板(53)通过竖直杆(52)连接。

7.根据权利要求6所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一安装板(51)为半圆形，所述竖直杆(52)布置在所述第一安装板(51)和所述第二安装板(53)的两侧。

8.根据权利要求7所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述第一安装板(51)和所述第二安装板(53)之间设置有限位板(54)，所述竖直杆(52)穿过限位板(54)设置。

9.根据权利要求8所述的单片晶圆清洗设备挡液装置，其特征在于，所述竖直杆(52)外位于所述第一安装板(51)与所述限位板(54)之间套设有波纹密封件(55)。