CN221039588U - 一种多镜片可调节的大靶面管镜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，属于微显示器检测或者晶圆半导体外观缺陷检测的领域，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。采用本实用新型装置可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角度，以满足在微显示器检测或晶圆半导体检测领域的使用需求。

Description

一种多镜片可调节的大靶面管镜装置

技术领域

本实用新型属于微显示器检测或者晶圆半导体外观缺陷检测的领域，更具体地，涉及一种多镜片可调节的大靶面管镜装置。

背景技术

目前，微显示器或者晶圆半导体已经广泛的应用到人们生活的各种场景中，成为人们生活中必不可少的一部分。现在市场上显示器的类型越来越繁多，基于Micro LED技术生产的显示器也慢慢的进入了人们的视野中。Micro LED对于检测要求非常高，且常规的镜头无法达到Micro LED的检测需求。

当下，市场上关于MicroLED微显示器检测的管镜装置的视野普遍较小，且比较单一，现有的管镜内反射镜和折射镜视野都较小，不适合于MicroLED微显示器检测。

因此，需要开发一种能扩展检测视野的检测装置。

实用新型内容

针对现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，旨在解决现有的常规检测镜头无法扩展或者改变视野，不能达到Micro LED的检测需求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。

进一步的，反射镜座结构和分束镜座结构类似，均包括底板和设置在底板上的转接体，转接体与底板连接形成为一体，转接体上设置有透射孔，光学镜头贴合设置在透射孔上，光学镜片为反射镜和分束镜，多个底板均可活动连接在主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分。

进一步的，转接体为柱状结构，其底面为台阶面，台阶面的一个面贴合固体于底板上，台阶面的另一个面与底板相隔间距而形成缝隙，通过调节缝隙大小而能调节转接体上光学镜片的角度。

进一步的，转接体为三角体支座，其呈三角柱状结构，三角体支座底面为台阶面，三角体支座竖直固定于底板上。

进一步的，底板上相邻设置有两个螺纹孔，两个螺纹孔均位于在所述缝隙处，其中一个螺纹孔轴向方向上的台阶面处同样设置螺纹孔，以能使螺接件通过底板的螺纹孔螺接三角体支座。

进一步的，底板的相对两个侧边边缘处设置了两两相对的弧形槽孔，弧形槽孔长度较大，以能使得螺接件沿弧形槽孔调节位置。

进一步的，弧形槽孔呈弧形状，一共设置有四个弧形槽孔，同一侧以及同一边的弧形槽孔相互形成类八字状。

进一步的，主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分分别设置有管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座，管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座均呈空腔状，反射镜座设置在副镜筒固定座空腔内和光源镜筒固定座空腔内，分束镜座设置在管镜主体座内，反射镜座和分束镜座各自的底板通过弧形槽孔和螺接件活动连接在管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座各自的侧壁处。

进一步的，底板的一侧呈圆弧状，另一侧的两个角部具有倒角。

进一步的，管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座各自的侧壁处设置有和底板形状类似的安装槽，并且安装槽在安装各自的底板后具有较大冗余空间，以能容纳底板的转动。

总体而言，通过本实用新型所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下有益效果：

本实用新型的目的在于提供一种用于微显示器检测的多镜片可调节的大靶面管镜装置，使得在Micro LED检测场景下能够满足大视野检测的需求。具体的，本实用新型将管镜结构内部的反射镜和分束镜增加前后俯仰和左右俯仰调节结构，避免了管镜内部某一片反射镜或者分束镜的角度有偏差对整个光路系统造成影响，调节结构均在管镜外部调节，可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角度，以满足在微显示器检测或晶圆半导体检测领域的使用需求。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置的整体结构示意图；

图2是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置的后视图；

图3是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置的侧视图；

图4是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置中分束镜座或者反射镜座的一个轴视图；

图5是图4中分束镜座或者反射镜座的结构又一个轴视图。

其中，在以上附图中，相同的附图标记自始至终表示相同的结构和部件，具体的：

1-管镜基准板，2-管镜主体座，3-副镜筒固定座，4-光源镜筒固定座，5-右侧封盖，6-左侧封盖，7-主镜连接座，8-主镜筒，9-主滤镜固定筒，10-相机连接筒，11-副镜筒，12-副滤镜固定筒，13-光源凸镜座，14-光阑固定座，15-光阑，16-光源固定座，17-旋转固定座，18-调节螺钉座，19-微调螺钉，20-旋转连接环，21-下分束镜座，22-上分束镜座，23-右反射镜座，24-左反射镜座，25-主相机，26-副相机，27-镜头转接座，

201-底板，202三角体支座，203-透射孔，204-光学镜片，205-弧形槽孔，206-拉紧孔，207-顶紧孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

图1是本实用新型实施例提供的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置的整体结构示意图，图2是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置的后视图，图3是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置的侧视图，结合三图可知，本实用新型的多镜片可调节的大靶面管镜装置主要包括主镜筒部分和左右两个副镜筒部分。

具体的，管镜基准板1是用于整个管镜装置的一个组装基准，整个镜筒、反射镜分以及束镜的组装均靠此基准来保证精度。管镜基准板1的整体外形或者结构是根据实际工程需要进行的随形设计。管镜主体座2固定在管镜基准板1上，副镜筒固定座3和光源镜筒固定座4分别固定在管镜主体座2的右边和左边，分别用于安装右侧的光学元件和左侧的光学元件。副镜筒固定座3和光源镜筒固定座4呈类矩形体状，内部为空腔。右侧封盖5和左侧封盖6分别盖合在副镜筒固定座3一侧壁上和光源镜筒固定座4一侧壁上，这样就完成了反射镜或分束镜腔体的组装，能用于安装反射镜座或者分束镜座。左侧封盖6位置预留了WDI自动对焦功能，拆掉左侧封盖6后，通过转接零件即可安装WDI自动对焦模块。

主镜连接座7固定在管镜主体座2的正上方，主镜筒8固定在主镜连接座7上，主滤镜固定筒9固定在主镜筒8上，相机连接筒10固定在主滤镜固定筒9上，主相机25固定在相机连接筒10上，镜头转接座27固定在管镜主体座2的下端，镜头转接座27采用兼容结构设计，螺纹孔可以连接带有匹配螺纹的镜头，V槽结构可以连接V形结构的转轮用作镜头的自动切换，此时完成主镜筒的结构组装。

副镜筒11固定在副镜筒固定座3的顶端上，副滤镜固定筒12固定在副镜筒11上，相机连接筒10固定在副滤镜固定筒12上，副相机26固定在相机连接筒10上，此时完成副镜筒的结构组装。

光源凸镜座13固定在光源镜筒固定座4上，光阑固定座14固定在光源凸镜座13上，光阑15固定在光阑固定座14上，光源固定座16固定在光阑固定座14上，光源固定座16在设计上兼容光源和光纤两种类型的发光源，可以进行光源和光纤的切换安装使用，光源用于给管镜提供照明。光源固定座16可以将光阑15压住，使得旋转光阑15的凸杆可以起到调节光圈大小的作用，此时完成左侧光源镜筒的结构组装。

旋转固定座17设置在管镜基准板1的上端并受管镜基准板1的支撑，调节螺钉座18固定在旋转固定座17上，微调螺钉19设置在调节螺钉座18的两侧，旋转连接环20套设在主滤镜固定筒9上，旋转连接环20的开口处被微调螺钉19设置在调节螺钉座18内。用紧定螺钉将旋转连接环20和主滤镜固定筒9固定在一起，通过旋钮微调螺钉19可以调节主相机25的旋转轴。旋转微调螺钉19可以松动旋转连接环的卡合松紧度，在旋转连接环20松开后，能转动旋转固定座17进而带动主相机25的旋转。采用相同的原理和结构可以完成副相机26的旋转轴调节。

下分束镜座21和上分束镜座22分别设置有下分束镜和上分束镜，然后分别固定在管镜主体座2同一侧壁相对应的下侧和上侧，右反射镜座23和左反射镜座24分别设置有右反射镜和左反射镜，然后分别固定在副镜筒固定座3和光源镜筒固定座4上。此时完成分束镜和反射镜的调节机构组装。

图4是图1中多镜片可调节的大靶面管镜装置中分束镜座或者反射镜座的一个轴视图，图5是图2中分束镜座或者反射镜座的结构又一个轴视图，结合两图可知，分束镜座或者反射镜座的结构类似，其结构中主要包括底板201，底板平整，其外形根据使用位置的需要进行了随形设计，一个端头呈圆弧状，一个端头的两角呈倒角状，在底板201的一个平面上一体成型有三角体支座202，三角体支座202垂直固定在底板201上，三角体支座202与底板201相接触的面为台阶面，台阶面的一个面贴合在底板201上，台阶面的另一个面与底板相距间隔，形成一个缝隙空间。在底板上相邻设置有两个螺纹孔，两个螺纹设置在所述缝隙空间的正下方，一个孔相对较大，称之为拉紧孔206，一个孔相对较小，称之为顶紧孔207，拉紧孔206和顶紧孔207均为螺纹孔。螺杆旋入拉紧孔206后，能进一步旋入开设在台阶面的连接螺纹孔，通过螺杆的螺接，可以适当缩小所述缝隙空间的间距，使得三角体支座202轻微向底板201“低头靠近”，从而实现对光学镜片的前后俯仰调节。顶紧孔207是配合拉紧孔206进行工作的，螺杆旋入顶紧孔207直接抵接在台阶面上，能顶紧台阶面使得三角体支座202微微远离底板201。拉紧孔206和顶紧孔207相互合作，共同实现贴合安装在三角体支座202上的光学镜片204的俯仰调节。

此外，在三角体支座202上开设有贯通的透射孔203，光学镜片204贴合安装在透射孔203上，光学镜片204为反射镜或者分束镜，光学镜片204垂直于底板201。在底板201上相对的两边沿处分别设置了两两相对的弧形槽孔205，位于同一边沿的两个弧形槽孔组成类“八”字，位于同一侧方的两个弧形槽孔同样组成类“八”字状。弧形槽孔的大小设计和位置设计，使得只用调松螺钉就能够微微调整底板的位置，使得底板微微转动下，实现对光学镜片204的左右俯仰调节。实际工程中，管镜主体座2、副镜筒固定座3和光源镜筒固定座4各自的侧壁处设置有和底板形状类似的安装槽，并且安装槽在安装各自的底板后具有较大冗余空间，以能容纳底板的转动。

本实用新型中，下分束镜座21，上分束镜座22，右反射镜座23，左反射镜座24均采用相同的结构设计原理，都如图4和图5所示，通过将三角体支座与主体连接部分硬连接减小(即为设置了三角体支座202与底板相连形成为一体，但是三角体支座202底部为台阶面，两者的硬连接部分只有台阶面的一个部分)，在底板设计一个通孔和螺纹孔，用两个螺钉或者螺杆一拉一顶就可以实现一个前后俯仰角度的调节。将底板一侧的外部设计成一个圆形结构，并在相对的两侧设计圆弧形的弧形槽孔，同时在固定座也设计一个大小适配的随形槽，这样通过底板在固定座的随形槽内转动，可以实现左右俯仰调节的功能。

本实用新型中，通过对光路进行仿真，模拟出大视野场景下的光路效果图，确定了反射镜和分束镜的尺寸、角度和位置距离，再根据模拟出的反射镜和分束镜的尺寸、角度和位置来设计管镜的内部通道大小和固定反射镜和分束镜的结构，通过加工一些设定的结构件之间的配合关系，达到调节反射镜和分束镜的前后俯仰和左右俯仰角度的目的，从而实现对Micro LED微显示器检测或晶圆半导体检测领域的多镜片可调节的大靶面管镜装置。此外，本实用新型的管镜装置通过对结构进行优化，增加管镜内部光线的通光率，同时采用大尺寸的反射镜和折射镜进行组合，从而大大的增加了此装置对于微显示器检测的视野。

本实用新型中，将管镜结构内部的所有反射镜和分束镜增加前后俯仰和左右俯仰调节机构，避免了管镜内部某一片反射镜或者分束镜的角度有偏差对整个光路系统造成影响，调节机构均在管镜外部，能在管镜外部进行调节。所有的反射镜和分束镜都能够在管镜外部实现前后俯仰和左右俯仰的调节。利用本实用新型装置，可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角度，解决了现有技术中反射镜或分束镜在管镜内部无法调节的问题，改进后的设备满足在微显示器检测或晶圆半导体检测领域的使用需求。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。

2.如权利要求1所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，反射镜座结构和分束镜座结构均包括底板(201)和设置在底板(201)上的转接体，转接体与底板(201)连接形成为一体，转接体上设置有透射孔(203)，光学镜片(204)贴合设置在透射孔(203)上，多个底板(201)均可活动连接在主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，反射镜座上设置的光学镜片为反射镜，分束镜座上设置的光学镜片为分束镜。

3.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，转接体为柱状结构，其底面为台阶面，台阶面的一个面贴合固体于底板(201)上，台阶面的另一个面与底板(201)相隔间距而形成缝隙，通过调节缝隙大小而能调节转接体上光学镜片(204)的角度。

4.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，转接体为三角体支座(202)，其呈三角柱状结构，三角体支座(202)底面为台阶面，三角体支座(202)竖直固定于底板(201)上。

5.如权利要求3所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)上相邻设置有两个螺纹孔，两个螺纹孔均位于在所述缝隙处，其中一个螺纹孔轴向方向上的台阶面处同样设置螺纹孔，以能使螺接件通过底板的螺纹孔螺接三角体支座(202)。

6.如权利要求5所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)的相对两个侧边边缘处设置了两两相对的弧形槽孔(205)，弧形槽孔中设置有螺接件，螺接件能沿弧形槽孔调节位置。

7.如权利要求6所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，弧形槽孔呈弧形状，一共设置有四个弧形槽孔，同一侧以及同一边的弧形槽孔相互形成类八字状。

8.如权利要求7所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分分别设置有管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)，管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)均呈空腔状，反射镜座设置在副镜筒固定座(3)空腔内和光源镜筒固定座(4)空腔内，分束镜座设置在管镜主体座(2)内，反射镜座和分束镜座各自的底板通过弧形槽孔和螺接件活动连接在管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)上。

9.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)的一侧呈圆弧状，另一侧的两个角部具有倒角。

10.如权利要求8所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)各自的侧壁处设置有和底板形状匹配的安装槽，并且安装槽在安装各自的底板后具有冗余空间，以能容纳底板的转动。