CN221035701U - 硅块烘房用蒸汽发生器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，蒸汽烘干机构包括蓄水箱，蓄水箱内部安装有通电插口，通电插口的一侧电性连接有安装架，安装架的一侧固定安装有加热棒，蓄水箱的内侧固定安装有第一水位传感器，蓄水箱的内侧固定安装有第二水位传感器。本实用新型通过蒸汽烘干机构的设置，在蓄水槽的内部蓄上水源，使得水源完全没过加热棒、同时启动加热棒对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，通过蒸汽对硅块进行烘干处理，通过蒸汽的蔓延，使得通过蒸汽对硅块进行均匀的烘干处理，蒸汽在硅块表面均匀分布热量，确保整个硅块或硅晶圆受到均匀的加热，这有助于避免温度梯度引起的变形或应力。

Description

硅块烘房用蒸汽发生器

技术领域

本实用新型涉及硅块烘房用蒸汽发生器技术领域，具体为硅块烘房用蒸汽发生器。

背景技术

硅块烘房是一种用于加热和干燥硅块或硅晶圆的设备。硅块烘房通常用于半导体制造和其他工业应用中，以去除硅块表面或内部的水分或其他溶剂，从而确保硅块的质量和可靠性。

硅块烘房通常包括一个加热室，硅块或硅晶圆会在其中放置，以进行加热和干燥，硅块放置在适当的支撑结构上，通常在加热室内均匀分布，以确保均匀的干燥，目前的大多硅块烘房都是采用电加热直接对其进行烘干处理，如果需要对多个硅块进行烘干处理时，较为靠近电加热机构的硅块会烘干的比较快，而距离电加热机构硅块急救烘干的较为的慢一点，从而可能会造成烘干不均匀的现象发生，实用性不佳；因此，为了解决上述问题，特此提出硅块烘房用蒸汽发生器。

实用新型内容

本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供硅块烘房用蒸汽发生器。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，所述蒸汽烘干机构包括蓄水箱，所述蓄水箱内部安装有通电插口，所述通电插口的一侧电性连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热棒，所述蓄水箱的内侧固定安装有第一水位传感器，所述蓄水箱的内侧固定安装有第二水位传感器，蓄水箱的内部开设有蓄水槽，在该装置的内会设置有通水管，并在通水管内会设置有电磁阀，用于往蓄水槽内输送水源。

优选的，所述第二水位传感器设置在第一水位传感器的上侧，所述安装架、加热棒、第一水位传感器及第二水位传感器均设置在蓄水槽的内部，第一水位传感器及第二水位传感器均设置有三个，蒸汽输送机构也设置在蓄水箱内，位置在蓄水箱内部的上侧位置。

优选的，所述蒸汽输送机构包括封闭罩，所述封闭罩的上侧固定连接有疏通管，所述疏通管的上侧固定连接有软管，所述软管的一端固定连接有分散喷管，所述分散喷管与蓄水箱固定连接，软管与分散喷管均设置有四个，分散喷管设置在蓄水箱内部的四角位置。

优选的，所述蓄水箱的内部固定连接有防护板，所述防护板的表面贯穿开设有通气槽，通气槽设置若干个，使得蒸汽可以通过防护板散出，防护板设置在蓄水箱内部的上端位置。

优选的，所述蓄水箱的内部螺纹连接有螺栓，所述螺栓的外部螺纹连接有侧盖，所述侧盖设置在蓄水箱的一侧，螺栓设置有四个，分别设置在蓄水箱积极侧盖的内部四角位置，通过螺栓将侧盖与蓄水箱连接在一起。

优选的，所述蓄水箱的内部开设有安置槽，所述安置槽的内部固定连接有把手，安置槽开设在蓄水箱内部的两侧位置，把手完全隐藏在安置槽内不占用多余的空间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过蒸汽烘干机构的设置，在蓄水槽的内部蓄上水源，使得水源完全没过加热棒、同时启动加热棒对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，通过蒸汽对硅块进行烘干处理，通过蒸汽的蔓延，使得通过蒸汽对硅块进行均匀的烘干处理，蒸汽在硅块表面均匀分布热量，确保整个硅块或硅晶圆受到均匀的加热，这有助于避免温度梯度引起的变形或应力。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型正视整体的结构示意图；

图2为本实用新型侧视整体的结构示意图；

图3为本实用新型正视剖面的结构示意图。

图中：1、蓄水箱；2、通电插口；3、安装架；4、加热棒；5、第一水位传感器；6、第二水位传感器；7、蓄水槽；8、封闭罩；9、疏通管；10、软管；11、分散喷管；12、防护板；13、通气槽；14、螺栓；15、侧盖；16、安置槽；17、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，蒸汽烘干机构包括蓄水箱1，蓄水箱1内部安装有通电插口2，通电插口2的一侧电性连接有安装架3，安装架3的一侧固定安装有加热棒4，蓄水箱1的内侧固定安装有第一水位传感器5，蓄水箱1的内侧固定安装有第二水位传感器6，蓄水箱1的内部开设有蓄水槽7，第二水位传感器6设置在第一水位传感器5的上侧，安装架3、加热棒4、第一水位传感器5及第二水位传感器6均设置在蓄水槽7的内部，在蓄水槽7的内部蓄上水源，使得水源完全没过加热棒4、同时启动加热棒4对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，通过蒸汽对硅块进行烘干处理，通过蒸汽的蔓延，使得通过蒸汽对硅块进行均匀的烘干处理，蒸汽在硅块表面均匀分布热量，确保整个硅块或硅晶圆受到均匀的加热，这有助于避免温度梯度引起的变形或应力，并且蒸汽具有高的热传导性能，可以快速加热硅块，使得助于缩短烘干时间，在该装置上会设置有输水管及电磁阀，在水位突破第二水位传感器6时电磁阀会停止往蓄水槽7内蓄水，在水位低于第一水位传感器5时电磁阀会启动往蓄水槽7内进行蓄水处理，可以保证蓄水槽7内一直有水，从而可以保证硅块的烘干。

在本实施例的一个方面中，在蒸汽烘干机构将蓄水箱1的水蒸发成蒸汽时，首先蒸汽会上升至封闭罩8内，通过封闭罩8与疏通管9相通的设置，蒸汽会进入到疏通管9内再顺着软管10从分散喷管11进行涌出，涌出的蒸汽会分散开来对硅块进行蒸汽烘干的处理，同时防护板12设置在分散喷管11的上侧对分散喷管11进行保护处理，在分散喷管11的表面开设的通气槽13使得防护板12不会影响蒸汽从该装置内喷出。

在本实施例的一个方面中，在使用的过程中，螺栓14会将侧盖15固定在蓄水箱1的一侧将蓄水箱1进行封闭处理，在需要对蓄水箱1内部的零件进行检修时，可以通过螺栓14将侧盖15从蓄水箱1的一侧取下，使得蓄水箱1的内部暴露出来，方便对其进行检修，同时在需要将该装置进行移动时，使用者可手扶住安置槽16内的把手17，方便将该装置进行移动处理。

本实用新型的工作原理：该硅块烘房用蒸汽发生器在使用时，将该装置连接水管，使得水源与蓄水箱1内部相通，同时在水管内安装电磁阀，将电磁阀与第一水位传感器5和第二水位传感器6电性连接，将蓄水箱1内蓄入水源，使得水源完全没过加热棒4，在水位突破第二水位传感器6时电磁阀会停止往蓄水槽7内蓄水，同时启动加热棒4对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，首先蒸汽会上升至封闭罩8内，通过封闭罩8与疏通管9相通的设置，蒸汽会进入到疏通管9内再顺着软管10从分散喷管11进行涌出，涌出的蒸汽会分散开来对硅块进行蒸汽烘干的处理，在水形成蒸汽时蓄水箱1内的水会变少，水位会进行下降，在水位低于第一水位传感器5时电磁阀会启动往蓄水槽7内进行蓄水处理，可以保证蓄水槽7内一直有水，该装置可以放置在烘房的内部，并且可以放置多个进行使用，使用的过程中，螺栓14会将侧盖15固定在蓄水箱1的一侧将蓄水箱1进行封闭处理，在需要对蓄水箱1内部的零件进行检修时，可以通过螺栓14将侧盖15从蓄水箱1的一侧取下，使得蓄水箱1的内部暴露出来，方便对其进行检修，同时在需要将该装置进行移动时，使用者可手扶住安置槽16内的把手17，方便将该装置进行移动处理，本方案中所有的用电设备均通过外接电源进行供电。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，其特征在于：所述蒸汽烘干机构包括蓄水箱(1)，所述蓄水箱(1)内部安装有通电插口(2)，所述通电插口(2)的一侧电性连接有安装架(3)，所述安装架(3)的一侧固定安装有加热棒(4)，所述蓄水箱(1)的内侧固定安装有第一水位传感器(5)，所述蓄水箱(1)的内侧固定安装有第二水位传感器(6)，蓄水箱(1)的内部开设有蓄水槽(7)。

2.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述第二水位传感器(6)设置在第一水位传感器(5)的上侧，所述安装架(3)、加热棒(4)、第一水位传感器(5)及第二水位传感器(6)均设置在蓄水槽(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蒸汽输送机构包括封闭罩(8)，所述封闭罩(8)的上侧固定连接有疏通管(9)，所述疏通管(9)的上侧固定连接有软管(10)，所述软管(10)的一端固定连接有分散喷管(11)，所述分散喷管(11)与蓄水箱(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部固定连接有防护板(12)，所述防护板(12)的表面贯穿开设有通气槽(13)。

5.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部螺纹连接有螺栓(14)，所述螺栓(14)的外部螺纹连接有侧盖(15)，所述侧盖(15)设置在蓄水箱(1)的一侧。

6.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部开设有安置槽(16)，所述安置槽(16)的内部固定连接有把手(17)。