CN221028780U - 一种冷屏活化装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种冷屏活化装置，包括进液管道、回液管道、热气接入管道、常温气体接入管道和气体排出管道。本申请所提供的冷屏活化装置及活化方法，通过在进液管道和回液管道处连接热气接入管道、常温气体接入管道，可以利用通入气体的气压将冷屏内的制冷液输回到容器中，实现了制冷液的回收，然后还能进一步通过通入热气促进冷屏升温，以使冷屏上吸附的氨的去除。并且通过设计对应的独立控制的阀门使通气的环节和排制冷液的环节不产生冲突，冷屏活化完成后还能恢复制冷液的流通，操作方便，可行性高。

Description

一种冷屏活化装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种冷屏活化装置。

背景技术

以Ⅲ-氮化物为代表的第三代半导体多为宽禁带半导体，是实现高效率、高性能光电子和微电子器件的基础。目前Ⅲ-氮化物的制备主要采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)技术，其中MBE由于其超高真空条件在实现高质量Ⅲ-氮化物的制备上具有显著优势。

目前MBE制备Ⅲ-氮化物的氮源主要有通过射频裂解氮气(PA-MBE)和高温热解氨(氨MBE)两种。其中PA-MBE是在金属富集的生长条件下进行的，导致在样品表面形成镓液滴并在最佳生长条件下具有较窄的范围。相反，通过过量的氮通量可以在氨MBE下生长高质量的GaN薄膜，原则上这应该会因消除液滴并扩大稳定生长条件的范围而改善器件均匀性。但是在Ⅲ-氮化物的制备中氨气会吸附在冷屏上，导致氨MBE在制备Ⅲ-氮化物时存在重复性和可靠性问题，限制了MBE的产业化进程：冷屏吸附的氨会对制备过程造成不可预计的影响：①界面的影响，在MBE中，高质量界面的形成是实现高质量外延薄膜的关键，而残余氨的存在会影响界面的形成，导致外延质量下降。②对生长过程的影响(掺入生长或结合其他源材料)，由于冷屏吸附的氨在生长过程中会释放，影响材料生长的质量。因此去除氨MBE的冷屏吸附的氨的效率提高(冷屏活化)对Ⅲ-氮化物的应用和MBE的产业化进程具有重要意义。

实用新型内容

有鉴于此，本申请实施例为解决背景技术中冷屏上吸附的氨不易快速去除的问题而提供一种冷屏活化装置及活化方法。

第一方面，本申请实施例提供了一种冷屏活化装置，包括：

进液管道，所述进液管道的第一端与所述冷屏的待冷却腔连通，且所述进液管道的第一端伸入于所述待冷却腔内部；

回液管道，所述回液管道的第一端与所述待冷却腔连通；

热气接入管道，连通所述回液管道或所述进液管道，用于向所述待冷却腔通入经过加热的气体以加热所述冷屏；

常温气体接入管道，连通所述回液管道，用于向所述待冷却腔通入常温气体以使所述待冷却腔内的制冷液从所述进液管道排出；

气体排出管道，用于排出由所述热气接入管道或所述常温气体接入管道加热控制系统通入所述待冷却腔的气体；

所述进液管道与所述回液管道用于供所述制冷液、所述经过加热的气体和所述常温气体流通；

所述进液管道、所述回液管道、所述热气接入管道、所述常温气体接入管道和所述气体排出管道均具有独立控制的阀门。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述热气接入管道与所述常温气体接入管道为两个独立的管道，

或，所述热气接入管道与所述常温气体接入管道为同一管道，所述热气接入管道复用为所述常温气体接入管道。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述冷屏活化装置还包括加热控制系统，所述加热控制系统包括气体加热器和真空规，所述气体加热器用于对所述热气接入管道中通入的气体加热，所述真空规用于测量所述冷屏内的MBE生长室的真空度，所述气体加热器响应于所述真空规测得的真空度高低而改变加热功率的大小。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述加热控制系统还包括质量流量控制器，所述质量流量控制器用于控制所述热气接入管道内通过的气体的流量，所述质量流量控制器响应于所述真空规测得的真空度高低而改变允许通过的气体流量。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述加热控制系统还包括温度计，所述温度计用于监测所述热气接入管道内通过的气体的温度。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，所述进液管道的第一端伸入于所述待冷却腔底部，所述回液管道的第一端连接于所述待冷却腔的顶部。

结合本申请的第一方面，在一可选实施方式中，还包括气液分离器，所述气液分离器具有第一接口和第二接口，所述第一接口连接所述进液管道的第二端，所述第二接口连接所述回液管道的第二端，所述气液分离器用于从液体与气体的混合物中分离除去气体。

第二方面，本申请实施例提供了一种冷屏活化方法，包括以下步骤：

S1，封闭回液管道远离冷屏一端的阀门，向回液管道内通入常温气体，使冷屏的待冷却腔中的制冷液从进液管道回流到容器中，直至所述待冷却腔中的制冷液全部排出或蒸发；

S2，在所述待冷却腔中不存在制冷液时，向所述待冷却腔中的通入经过加热的气体，以去除所述冷屏吸附的氨。

结合本申请的第二方面，在一可选实施方式中，所述步骤S2之后，所述方法还包括以下步骤：S3，打开所述进液管道和所述回液管道的阀门，使所述气液分离器中的制冷液重新在所述待冷却腔中流通。

结合本申请的第二方面，在一可选实施方式中，所述步骤S2包括以下至少之一的步骤：

通过分子泵和干泵不断将所述冷屏上除去的氨吸走；或，

对MBE生长室的的真空度持续监测，当监测到真空度达到一定范围后，降低通入的经过加热的气体的温度或流量。

本申请实施例所提供的冷屏活化装置，通过在进液管道和回液管道处连接热气接入管道、常温气体接入管道，可以利用通入气体的气压将冷屏内的制冷液输回到容器中，实现了制冷液的回收，然后还能进一步通过通入热气促进冷屏升温，以使冷屏上吸附的氨的去除。并且通过设计对应的独立控制的阀门使通气的环节和排制冷液的环节不产生冲突，冷屏活化完成后还能恢复制冷液的流通，操作方便，可行性高。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例1提供的冷屏活化装置示意图；

图2为本申请实施例2提供的冷屏活化装置示意图；

图3为本申请实施例3提供的冷屏活化装置示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本申请公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本申请的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请，而不应被这里阐述的具体实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本申请更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本申请可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本申请发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述；即，这里不描述实际实施例的全部特征，不详细描述公知的功能和结构。

在附图中，为了清楚，层、区、元件的尺寸以及其相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。

应当明白，当元件或层被称为“在……上”、“与……相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在……上”、“与……直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本申请教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。而当讨论的第二元件、部件、区、层或部分时，并不表明本申请必然存在第一元件、部件、区、层或部分。

空间关系术语例如“在……下”、“在……下面”、“下面的”、“在……之下”、“在……之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在……下面”和“在……下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本申请的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

为了彻底理解本申请，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本申请的技术方案。本申请的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本申请还可以具有其他实施方式。

实施例1

本实施例提供一种冷屏活化装置，如图1所示，包括：

进液管道10，所述进液管道10的第一端与所述冷屏的待冷却腔连通，且所述进液管道10的第一端伸入于所述待冷却腔内部；

回液管道20，所述回液管道20的第一端与所述待冷却腔连通；

热气接入管道30，连通所述进液管道10，用于向所述待冷却腔通入经过加热的气体以加热所述冷屏；

常温气体接入管道40，连通所述回液管道20，用于向所述待冷却腔通入常温气体以使所述待冷却腔内的制冷液从所述进液管道10排出；

气体排出管道50，用于排出由所述热气接入管道30或所述常温气体接入管道40加热控制系统通入所述待冷却腔的气体；

所述进液管道10与所述回液管道20用于供所述制冷液、所述经过加热的气体和所述常温气体流通；

所述进液管道10、所述回液管道20、所述热气接入管道30、所述常温气体接入管道40和所述气体排出管道50均具有独立控制的阀门。

具体的，本实施例中采用的制冷液以液氮为例，通入的气体可为氮气或惰性气体，考虑到气体的具体价格，本实施例中采用氮气为例。本实施例的冷屏活化装置，其工作原理和步骤如下：

1、进液管道10和回液管道20，共同连接气液分离器和冷屏的待冷却腔，构成冷屏循环流通液氮的基本机构，其上设有阀门；

2、气液分离器，起到分离液氮中氮气的作用，因为液氮作为制冷液是不断蒸发消耗的，待冷却腔中回流到气液分离器中的制冷液是包含液氮和氮气的，所以需要把氮气分离出去；

3、热气接入管道30、所述常温气体接入管道40，一方面通过向回液管道20内通入常温氮气，利用氮气的气压将冷屏的待冷却腔内的液氮压回到气液分离器，实现液氮的回收；另一方面通过向待冷却腔内通入加热过的氮气加快冷屏上吸附的氨的去除。热气接入管道30或所述常温气体接入管道40连通所述回液管道20或所述进液管道10，所以如图1所示，相当于回液管道20和/或进液管道10具有分支，不难理解的，为了液氮或氮气流通的不同步骤之间不产生冲突，回液管道20和/或进液管道10上需要按照具体的需求设置可独立控制的阀门。

4、气体排出管道50，供通入待冷却腔中的气体排出，比如从进液管道10通气，那么气体排出管道50可以连接在气液分离器或回液管道20上以便排出气体，而如果将气体排出管道50连接在进液管道10上则需要增加更多的阀门。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，包括以下阀门，

所述常温气体接入管道40上设有第一阀门1，所述热气接入管道30上设有第二阀门2，所述进液管道10上设有第三阀门3，所述回液管道20上设有第四阀门4，所述回液管道20还连通有所述气体排出管道50，所述气体排出管道50上设有第五阀门5。

以下提供一种使用如图1所示的冷屏活化装置进行冷屏活化的方法：

首先，封闭第四阀门4、第二阀门2、右侧的(连接回液管道20的气体排出管道50上的)第五阀门5。打开第一阀门1、第三阀门3、左侧的(连接气液分离器的气体排出管道50上的)第五阀门5，向常温气体接入管道40通入常温氮气，随着氮气的通入，冷屏的待冷却腔中被氮气占据，原来在待冷却腔中的液氮被挤压，沿进液管道10回流到气液分离器中，该步骤是为了把冷屏中的液氮回收起来，以便之后恢复使用。

以上步骤完成后，待冷却腔中一般还会残余一些液氮，可以继续通入常温氮气，进行一个吹扫过程，加快液氮的蒸发，直到液氮完全去除。

然后，为了加快冷屏的活化(吸附的氨的去除)，需要进行通热氮气的步骤。关闭第三阀门3、第四阀门4和第一阀门1，打开第二阀门2和右侧的第五阀门5，然后从热气接入管道30通入加热的氮气。热氮气可以很快地提升冷屏的温度，冷屏吸附的氨也能快速的挥发。

最后，当冷屏吸附的氨挥发完毕，可以恢复冷屏的冷却，打开第三阀门3和第四阀门4，关闭其他阀门，使气液分离器恢复对冷屏的液氮供应。

本实施例中提供的氮气，可以是氮气罐作为来源，也可以回收气液分离器排出的氮气作为来源。本实施例中液氮的来源是液氮罐。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，所述冷屏活化装置还包括加热控制系统，所述加热控制系统包括气体加热器和真空规33，所述气体加热器用于对所述热气接入管道30中通入的气体加热，所述真空规33用于测量所述冷屏内的MBE生长室的真空度，所述气体加热器响应于所述真空规33测得的真空度高低而改变加热功率的大小。具体的，本实施例中真空规33的示数到10E-5Torr时候，降低气体加热器加热功率，保证分子泵的正常运行和去吸附效率。直到真空规33的示数下降到一定数值并且保持稳定时，去吸附完成。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，所述加热控制系统还包括质量流量控制器31，所述质量流量控制器31用于控制所述热气接入管道30内通过的气体的流量，所述质量流量控制器31响应于所述真空规33测得的真空度高低而改变允许通过的气体流量。具体的，本实施例中真空规33的示数到10E-5Torr时候，降低热气接入管道30内通过的气体的流量，保证分子泵的正常运行和去吸附效率。直到真空规33的示数下降到一定数值并且保持稳定时，去吸附完成。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，所述加热控制系统还包括温度计32，所述温度计32用于监测所述热气接入管道30内通过的气体的温度。温度计32可以验证气体加热器的加热效果，气体加热器的功率下降或增大能够在温度计32的测量下得到验证，避免气体加热器功率控制失效而无法被侦测到。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，所述进液管道10的第一端伸入于所述待冷却腔底部，所述回液管道20的第一端连接于所述待冷却腔的顶部。该结构设置下，首先回液管道20便于对待冷却腔中的气体或液体进行回收，因为气体必然处于液体以上，而气体必须优先排出，所以回液管道20的第一端连接于所述待冷却腔的顶部，使气体能够优先排出。其次，为了使常温气体接入管道40通入常温氮气排出液氮到气液分离器时更加顺利，进液管道10的第一端伸入于所述待冷却腔底部，这样液氮能够最大化的被回收。

可选地，本实施例的冷屏快速活化装置，如图1所示，还包括气液分离器，所述气液分离器具有第一接口和第二接口，所述第一接口连接所述进液管道10的第二端，所述第二接口连接所述回液管道20的第二端，所述气液分离器用于从液体与气体的混合物中分离除去气体。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，所述气液分离器还具有第三接口，所述第三接口连接有所述气体排出管道50，该设置能够增加排气的位置，提升排气时的灵活性。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，如图1所示，热气接入管道30上两端均设有阀门，该结构能够将质量流量控制器31与大气隔断，起到保护作用。

可选地，本实施例的冷屏活化装置，热气接入管道30和常温气体接入管道40，连通进液管道10或回液管道20采用三通接头，便于在现有的进液管道10或回液管道20上增加管道分支。

本实施例还提供一种冷屏活化方法，包括以下步骤：

S1，封闭回液管道20远离冷屏一端的阀门，向回液管道20内通入常温气体，使冷屏的待冷却腔中的制冷液从进液管道10回流到容器(容器用于存放液氮，比如储液罐、气液分离器等)中，并持续通气一段时间以保证所述待冷却腔中的制冷液全部排出或蒸发；

S2，在所述待冷却腔中不存在冷却液制冷液时，向所述待冷却腔中的通入经过加热的气体，以去除所述冷屏吸附的氨。

步骤S2中，为避免冲突，可以封闭所述进液管道10或所述回液管道20靠近所述气液分离器一端的阀门。

可选的，本实施例所提供的冷屏活化方法，还包括以下步骤，

S3，打开所述进液管道10或所述回液管道20的阀门，使所述气液分离器中的制冷液重新在所述待冷却腔中流通。

本实施例所提供的冷屏活化方法，利用通入气体的气压将冷屏内的制冷液输回到气液分离器中，实现了制冷液的回收，然后还能进一步通过通入热气促进冷屏上吸附的氨的去除。并且通过独立控制的阀门使通气的环节和排制冷液的环节不产生冲突，冷屏活化完成后还能恢复制冷液的流通，操作方便，可行性高。

可选地，本实施例的冷屏活化方法，如图1所示，在步骤S2中，还通过分子泵和干泵不断将所述冷屏上除去的氨吸走。干泵的工作环境是低真空度环境，而分子泵工作环境是高真空度环境，两者相结合能够覆盖高真空环境和低真空环境，满足在本实施例中的使用。分子泵的开启可以响应于真空规33，当真空规33检测到的真空度满足高真空的条件时，分子泵启动。

可选地，本实施例的冷屏活化方法，在步骤S2中，对MBE生长室的的真空度持续监测，当监测到真空度达到一定范围后，降低通入的经过加热的气体的温度或流量。该步骤可以提高通加热氮气的可控性，便于分子泵的正常运行以及提升去吸附效率。

其他说明：本实施例中所述的常温是指设备所处环境的室温，所述的经过加热的气体是指室温下的气体经过加热得到一定温度提升的气体，一般来说加热后的气体温度不超过120度。

实施例2

本实施例提供一种冷屏活化装置，

与实施例1的方案相比区别如下，如图2所示，

热气接入管道30，连通所述回液管道20，用于向所述待冷却腔通入经过加热的气体；

常温气体接入管道40，连通所述回液管道20，用于向所述待冷却腔通入常温气体；

所述常温气体接入管道40上设有第一阀门1，所述热气接入管道30上设有第二阀门2，所述进液管道10上设有第三阀门3，所述回液管道20上设有第四阀门4，所述气液分离器和所述进液管道10还连通有所述气体排出管道50，所述气体排出管道50上设有第五阀门5。

以下提供一种使用如图1所示的冷屏活化装置进行冷屏活化的方法：

首先，封闭第四阀门4、第二阀门2、下侧的(连接进液管道10的气体排出管道50上的)第五阀门5。打开第一阀门1、第三阀门3、上侧的(连接气液分离器的气体排出管道50上的)第五阀门5，向常温气体接入管道40通入常温氮气，随着氮气的通入，冷屏的待冷却腔中被氮气占据，原来在待冷却腔中的液氮被挤压，沿进液管道10回流到气液分离器中，该步骤是为了把冷屏中的液氮回收起来，以便之后恢复使用。

以上步骤完成后，待冷却腔中一般还会残余一些液氮，可以继续通入常温氮气，进行一个吹扫过程，加快液氮的蒸发，直到液氮完全去除。

然后，为了加快冷屏的活化(吸附的氨的去除)，需要进行通热氮气的步骤。关闭第三阀门3、第四阀门4和第一阀门1，打开第二阀门2和下侧的第五阀门5，然后从热气接入管道30通入加热的氮气。热氮气可以很快地提升冷屏的温度，冷屏吸附的氨也能快速的挥发。

实施例3

本实施例提供一种冷屏活化装置，区别于实施例2提供的方案，如图3所示，

热气接入管道30，连通所述回液管道20，用于向所述待冷却腔通入经过加热的气体；

气体加热器，所述气体加热器用于对所述热气接入管道30中通入的气体加热；

所述气体加热器的开启或关闭受到控制，所述气体加热器停止对所述热气接入管道30中通入的气体加热时，所述热气接入管道30复用为常温气体接入管道40(图2中显示)，用于向所述待冷却腔通入常温气体。

本实施例的方案中，相比实施例2的方案减少了一个常温气体接入管道40以及第一阀门1，利用热气接入管道30的现有结构，以及气体加热器的关闭，实现常温氮气的供应，相比实施例2的方案节约了成本。

应当理解，以上实施例均为示例性的，不用于包含权利要求所包含的所有可能的实施方式。在不脱离本公开的范围的情况下，还可以在以上实施例的基础上做出各种变形和改变。同样的，也可以对以上实施例的各个技术特征进行任意组合，以形成可能没有被明确描述的本申请的另外的实施例。因此，上述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，不对本申请专利的保护范围进行限制。

Claims (7)

1.一种冷屏活化装置，其特征在于，包括：

进液管道(10)，所述进液管道(10)的第一端与所述冷屏的待冷却腔连通，且所述进液管道(10)的第一端伸入于所述待冷却腔内部；

回液管道(20)，所述回液管道(20)的第一端与所述待冷却腔连通；

热气接入管道(30)，连通所述回液管道(20)或所述进液管道(10)，用于向所述待冷却腔通入经过加热的气体以加热所述冷屏；

常温气体接入管道(40)，连通所述回液管道(20)，用于向所述待冷却腔通入常温气体以使所述待冷却腔内的制冷液从所述进液管道(10)排出；

气体排出管道(50)，用于排出由所述热气接入管道(30)或所述常温气体接入管道(40)加热控制系统通入所述待冷却腔的气体；

所述进液管道(10)与所述回液管道(20)用于供所述制冷液、所述经过加热的气体和所述常温气体流通；

所述进液管道(10)、所述回液管道(20)、所述热气接入管道(30)、所述常温气体接入管道(40)和所述气体排出管道(50)均具有独立控制的阀门。

2.根据权利要求1所述的冷屏活化装置，其特征在于，所述热气接入管道(30)与所述常温气体接入管道(40)为两个独立的管道，

或，所述热气接入管道(30)与所述常温气体接入管道(40)为同一管道，所述热气接入管道(30)复用为所述常温气体接入管道(40)。

3.根据权利要求2所述的冷屏活化装置，其特征在于，所述冷屏活化装置还包括加热控制系统，所述加热控制系统包括气体加热器和真空规(33)，所述气体加热器用于对所述热气接入管道(30)中通入的气体加热，所述真空规(33)用于测量所述冷屏内的MBE生长室的真空度，所述气体加热器响应于所述真空规(33)测得的真空度高低而改变加热功率的大小。

4.根据权利要求3所述的冷屏活化装置，其特征在于，所述加热控制系统还包括质量流量控制器(31)，所述质量流量控制器(31)用于控制所述热气接入管道(30)内通过的气体的流量，所述质量流量控制器(31)响应于所述真空规(33)测得的真空度高低而改变允许通过的气体流量。

5.根据权利要求4所述的冷屏活化装置，其特征在于，所述加热控制系统还包括温度计(32)，所述温度计(32)用于监测所述热气接入管道(30)内通过的气体的温度。

6.根据权利要求1-5任一项所述的冷屏活化装置，其特征在于，所述进液管道(10)的第一端伸入于所述待冷却腔底部，所述回液管道(20)的第一端连接于所述待冷却腔的顶部。

7.根据权利要求1所述的冷屏活化装置，其特征在于，还包括气液分离器，所述气液分离器具有第一接口和第二接口，所述第一接口连接所述进液管道(10)的第二端，所述第二接口连接所述回液管道(20)的第二端，所述气液分离器用于从液体与气体的混合物中分离除去气体。