CN221028654U - 磁控溅射机镀膜夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了磁控溅射机镀膜夹具，包括镀膜箱体、装夹机构和喷涂组件，装夹机构包括放置框以及一体设置在放置框两侧的连轴，镀膜箱体外侧固定安装有电机，放置框内部两侧均等间距固定安装有多根弹簧，弹簧内侧均固定连接有装夹架，装夹架上设置有固定组件，喷涂组件包括固定安装在镀膜箱体顶部的三通管道，三通管道内侧连接有喷。本申请提供的磁控溅射机镀膜夹具利用装夹机构实现对基片的装夹，利用喷涂组件实现对基片的镀膜操作，当对基片一个面镀膜完成后，作业人员启动电机，电机带动放置框和基片进行翻转，使得喷涂组件能够对基片的其他面进行镀膜，无需作业人员将基片拆卸后调转位置重新夹持，提高了镀膜效率。

Description

磁控溅射机镀膜夹具

技术领域

本实用新型涉及镀膜夹具技术领域，更具体地说，本实用新型涉及磁控溅射机镀膜夹具。

背景技术

磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系，可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。

本发明人发现，现有的磁控溅射镀膜机的镀膜夹具存在以下不足：基片单面镀膜完成后需要人工拆卸翻面，此过程中需要先将基片拆下，然后调转位置后重新夹持，需要中断镀膜操作，过于耗费时间，降低了镀膜效率。针对上述问题进行研究，发明了本装置。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供磁控溅射机镀膜夹具，来解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：磁控溅射机镀膜夹具，包括：

镀膜箱体，其底部纵截面呈“︹”状结构；

装夹机构，包括放置框以及一体设置在放置框两侧的连轴，且两侧连轴分别与所述镀膜箱体左右两侧转动连接，所述镀膜箱体外侧固定安装有电机，且电机输出轴与其中一根所述连轴连接，所述放置框内部两侧均等间距固定安装有多根弹簧，所述弹簧内侧均固定连接有装夹架，所述装夹架上设置有固定组件；

喷涂组件，包括固定安装在所述镀膜箱体顶部的三通管道，所述三通管道内侧连接有喷嘴。

可选地，所述镀膜箱体左右两侧均固定安装有两根支撑腿。

可选地，所述镀膜箱体前侧活动安装有箱门，且箱门外侧固定安装有把手。

可选地，所述镀膜箱体底部两侧均开设有出液槽。

可选地，所述镀膜箱体下方两侧均固定安装有出液管道，且两根出液管道分别与两个所述出液槽连通。

可选地，所述装夹架纵截面呈“[”状结构，并且两侧设置的装夹架之间为相向设置。

可选地，所述固定组件包括与所述装夹架螺纹连接的螺杆，所述螺杆内端固定安装有夹板，所述螺杆外端固定安装有旋钮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该磁控溅射机镀膜夹具设置有装夹机构和喷涂组件，使用时利用装夹机构实现对基片的装夹，利用喷涂组件实现对基片的镀膜操作，当对基片一个面镀膜完成后，作业人员启动电机，电机带动放置框和基片进行翻转，使得喷涂组件能够对基片的其他面进行镀膜，无需作业人员将基片拆卸后调转位置重新夹持，提高了镀膜效率。

附图说明

为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为磁控溅射机镀膜夹具提供的整体结构示意图；

图2为磁控溅射机镀膜夹具提供的镀膜箱体的内部结构示意图；

图3为磁控溅射机镀膜夹具提供的装夹机构和喷涂组件的结构示意图；

图4为磁控溅射机镀膜夹具提供的装夹机构的结构示意图。

附图标记说明：

1、镀膜箱体；2、装夹机构；201、放置框；202、连轴；203、弹簧；204、装夹架；205、固定组件；2051、螺杆；2052、夹板；2053、旋钮；206、电机；3、喷涂组件；301、三通管道；302、喷嘴；4、出液槽；5、出液管道；6、支撑腿；7、箱门；8、把手。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。

参照附图1-图4，该实施例的磁控溅射机镀膜夹具，包括镀膜箱体1、装夹机构2和喷涂组件3，能够实现装夹机构2的自动翻转，提高对基片的镀膜效率。

参照附图1-图3，镀膜箱体1左右两侧均固定安装有两根支撑腿6，镀膜箱体1前侧活动安装有箱门7，且箱门7外侧固定安装有把手8，设置把手8，便于作业人员打开箱门7，镀膜箱体1底部纵截面呈“︹”状结构，有利于镀膜过程中的涂料沿着镀膜箱体1底部斜面滑下，便于及时将涂料从镀膜箱体1中排出，镀膜箱体1底部两侧均开设有出液槽4，沿着镀膜箱体1底部滑下的涂料将会顺着出液槽4流出，镀膜箱体1下方两侧均固定安装有出液管道5，且两根出液管道5分别与两个出液槽4连通，涂料沿着出液管道5排出镀膜箱体1。

参照附图3和图4，装夹机构2包括放置框201以及一体设置在放置框201两侧的连轴202，且两侧连轴202分别与镀膜箱体1左右两侧转动连接，镀膜箱体1外侧固定安装有电机206，且电机206输出轴与其中一根连轴202连接，在使用时启动电机206，电机206输出轴将会通过连轴202带动放置框201进行转动，放置框201内部两侧均等间距固定安装有多根弹簧203，并且两侧的弹簧203为对称设置，弹簧203内侧均固定连接有装夹架204，装夹架204纵截面呈“[”状结构，“[”状结构能够避免基片掉落，并且两侧设置的装夹架204之间为相向设置。

在使用时，作业人员将待镀膜的基片放入两侧的装夹架204之间，此过程中，作业人员先对两侧的装夹架204进行按压，使得两侧的弹簧203均处于压缩状态，随后将基片放入两侧的装夹架204之间，再松开对装夹架204的按压，在弹簧203形变特性的作用下，两侧的装夹架204将会发生相向移动，从而实现对基片的装夹。

参照附图3和图4，装夹架204上设置有固定组件205，固定组件205包括与装夹架204螺纹连接的螺杆2051，螺杆2051内端固定安装有夹板2052，螺杆2051外端固定安装有旋钮2053，当作业人员将基片放入两侧的装夹架204之间后，作业人员转动旋钮2053，旋钮2053带动螺杆2051和夹板2052向着基片方向移动，当夹板2052内壁面与基片接触后，即可实现对基片的固定，保证了基片的翻转过程中的稳定性。

参照附图1-图3，喷涂组件3包括固定安装在镀膜箱体1顶部的三通管道301，三通管道301内侧连接有喷嘴302，放置框201设于喷嘴302正下方，三通管道301与外界的涂料连接，在使用时启动外界的抽液泵，在抽液泵的作用下涂料沿着三通管道301流动，并从喷嘴302喷出，实现对夹持状态下的基片的镀膜操作。

本装置在使用时，作业人员先打开箱门7，将基片伸入至镀膜箱体1内，利用装夹机构2实现对基片的装夹，关闭箱门7后启动外界的抽液泵，利用喷涂组件3实现对基片的镀膜操作，当对基片一个面镀膜完成后，作业人员启动电机206，电机206将会带动放置框201和基片进行翻转，使得喷涂组件3能够对基片的其他面进行镀膜，无需作业人员将基片拆卸后调转位置重新夹持，提高了镀膜效率。

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于，包括：

镀膜箱体（1），其底部纵截面呈“︹”状结构；

装夹机构（2），包括放置框（201）以及一体设置在放置框（201）两侧的连轴（202），且两侧连轴（202）分别与所述镀膜箱体（1）左右两侧转动连接，所述镀膜箱体（1）外侧固定安装有电机（206），且电机（206）输出轴与其中一根所述连轴（202）连接，所述放置框（201）内部两侧均等间距固定安装有多根弹簧（203），所述弹簧（203）内侧均固定连接有装夹架（204），所述装夹架（204）上设置有固定组件（205）；

喷涂组件（3），包括固定安装在所述镀膜箱体（1）顶部的三通管道（301），所述三通管道（301）内侧连接有喷嘴（302）。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜箱体（1）左右两侧均固定安装有两根支撑腿（6）。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜箱体（1）前侧活动安装有箱门（7），且箱门（7）外侧固定安装有把手（8）。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜箱体（1）底部两侧均开设有出液槽（4）。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜箱体（1）下方两侧均固定安装有出液管道（5），且两根出液管道（5）分别与两个所述出液槽（4）连通。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述装夹架（204）纵截面呈“[”状结构，并且两侧设置的装夹架（204）之间为相向设置。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射机镀膜夹具，其特征在于：所述固定组件（205）包括与所述装夹架（204）螺纹连接的螺杆（2051），所述螺杆（2051）内端固定安装有夹板（2052），所述螺杆（2051）外端固定安装有旋钮（2053）。