CN221004728U - 用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。本实用新型的优点是：开启阀门时使用储气罐给气缸供气，主管路缓慢给储气瓶补气，能满足门阀连续开闭，又不会造成主管路压力明显扰动。减少门阀气缸开闭时间，提高节拍，减少对主管路的扰动。
Description
技术领域
本实用新型涉及PECVD真空设备技术领域，具体涉及一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置。
背景技术
PECVD设备是由若干的真空腔室组成，真空腔室间需要使用大型门阀隔离，一是不同腔室有不同压差，二是为了防止腔室间不同污染污染腔室。大型门阀开启需使用大容量气缸，大容量气缸的开启需要大量的CDA（干燥的压缩空气），现有技术使用单独CDA管路给门阀气缸供气，或者使用更粗的主管路给门阀气缸供气。
大型门阀需要经常性的开启关闭，需要大量CDA，使用单独CDA管路给门阀气缸供气，会增加设备管路的数量，增加设备成本；主管路给门阀气缸供气，开启门阀时，直接从主管道瞬间（1S)供给大量CDA会给主管道造成明显压降，干扰其他器件的正常运行，只能使用更粗的管路给门阀供气，减小压降，粗管道同样的增加管路成本，同时需要厂务供气量。
发明内容
本实用新型提出了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。
根据本实用新型的一个方面，提供了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。
进一步地，所述门阀为电磁阀。
进一步地，所述时间间隔为3秒。
进一步地，所述气缸为四个一组进行设置。
进一步地，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为同时开闭。
进一步地，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为交替开闭。
由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，采用本实用新型，通过设置多个并排的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。开启阀门时使用储气罐给气缸供气，主管路缓慢（3S)给储气瓶补气，能满足门阀连续开闭，又不会造成主管路压力明显扰动。
上述说明仅是本实用新型技术的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。
图1为本实用新型的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置的结构示意图。
在附图中，11—CDA主管路，13—储气瓶，21—气缸，22—门阀。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。
下面对本实用新型所提供的一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置进行详细描述。本实用新型实施例中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本实用新型实施例中未注明具体条件者，按照本领域常规条件或制造商建议的条件进行。
参见图1，本实用新型的一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，包括：多个并排设置的大容量气缸21，所述每个气缸21的前侧设置一个门阀22，各个门阀22通过第一气管连接至一储气瓶13，所述储气瓶13通过第二气管连接至CDA主管路11，在一定时间间隔内，所述CDA主管路11对所述储气瓶13进行补气，所述储气瓶13对所述气缸21进行供气。
作为具体的实施例，所述门阀22为电磁阀。
作为具体的实施例，所述时间间隔为3秒，能够最佳提高节拍，减少对CDA主管路11的扰动。
作为具体的实施例，所述气缸为四个一组进行设置，能够最佳提高节拍，减少对CDA主管路11的扰动。
作为具体的实施例，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀22为同时开闭。
作为具体的实施例，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀22为交替开闭。
作为具体的实施例，所述储气瓶作为中间缓存器，入管道给门阀气缸供气，出管道给储气瓶补气。
CDA主管路供气给储气瓶，储气瓶分四路别给门阀气缸供气。控制信号打开气缸前电磁阀，储气瓶给气缸充气，门阀打开；主管路给储气瓶持续供气，直到补满气瓶，反复重复此动作。这样储气瓶可以有充足的气量供给气缸，减少门阀气缸开闭时间；主管路给储气瓶供气是个缓慢的过程，减少对主管路的扰动。
采用本实用新型，通过设置多个并排的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。开启阀门时使用储气罐给气缸供气，主管路缓慢（3S)给储气瓶补气，能满足门阀连续开闭，又不会造成主管路压力明显扰动。减少门阀气缸开闭时间，提高节拍，减少对主管路的扰动。
需要明确的是，本实用新型并不局限于上文所描述并在图中示出的特定配置和处理。为了简明起见，这里省略了对已知方法的详细描述。在上述实施例中，描述和示出了若干具体的步骤作为示例。但是，本实用新型的方法过程并不限于所描述和示出的具体步骤，本领域的技术人员可以在领会本实用新型的精神后，作出各种改变、修改和添加，或者改变步骤之间的顺序。
Claims (6)
1.一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。
2.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述门阀为电磁阀。
3.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述时间间隔为3秒。
4.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述气缸为四个一组进行设置。
5.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为同时开闭。
6.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为交替开闭。
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