CN220999947U - 一种碳化硅生产长晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体，所述炉体顶部设有炉盖，所述炉体内设有坩埚，所述炉体内且位于坩埚外侧设有加热组件，所述炉体上方外壁沿圆周方向设有定位环，所述炉盖外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环外侧的环套，所述环套上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓，所述炉体外侧设有与所述炉盖连接的驱动装置，本实用新型涉及碳化硅生产技术领域，本装置结构紧凑，采用自动化开合炉体上盖，减轻工人劳动量，同时提高操作安全性，调节组件可带动炉盖转动进而使坩埚可由炉体上方取出，方便生产操作，给人们的使用带来了方便。

Description

一种碳化硅生产长晶炉

技术领域

本实用新型涉及碳化硅生产技术领域，具体为一种碳化硅生产长晶炉。

背景技术

长晶炉是用于生产碳化硅单晶的一种设备，将高纯度的碳化硅微粉和籽晶分别置于长晶炉内的坩埚中，通过控制坩埚内的温度，以生产出碳化硅单晶。

现有长晶炉上盖采用人工开合，费时费力且存在一定的安全隐患，且现有长晶炉坩埚多为炉体底部出料，操作较为不便。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅生产长晶炉，解决了现有长晶炉采用人工开合炉盖费时费力的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体，所述炉体顶部设有炉盖，所述炉体内设有坩埚，所述炉体内且位于坩埚外侧设有加热组件，所述炉体上方外壁沿圆周方向设有定位环，所述炉盖外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环外侧的环套，所述环套上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓，所述炉体外侧设有与所述炉盖连接的驱动装置。

优选的，所述驱动装置包括设于所述炉体一侧底部的支架，所述支架底部固定设有第一电机，所述第一电机驱动端安装有螺杆，所述支架上壁固定设有导向杆，所述导向杆顶部固定设有顶板，所述螺杆上端与所述顶板转动连接，所述螺杆上旋接有滑架，所述滑架上开设有与所述导向杆匹配的导向孔，所述滑架上设有用于驱动炉盖转动的调节机构。

优选的，所述调节机构包括转动安装于所述滑架上壁的转筒，所述转筒侧壁通过连接架与所述炉盖固定连接，所述滑架一侧固定设有第二电机，所述第二电机驱动端安装有齿轮，所述转筒侧壁设有与所述齿轮啮合的齿圈。

优选的，所述滑架侧壁设有用于固定电机的支座。

优选的，所述定位环上设有供所述锁定螺栓插入的锁孔。

有益效果

本实用新型公开了一种碳化硅生产长晶炉，具备以下有益效果：本装置结构紧凑，采用自动化开合炉体上盖，减轻工人劳动量，同时提高操作安全性，调节组件可带动炉盖转动进而使坩埚可由炉体上方取出，方便生产操作，给人们的使用带来了方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型转筒的俯视结构示意图。

图中：1、炉体；2、炉盖；3、坩埚；4、加热组件；5、定位环；6、环套；7、锁定螺栓；8、支架；9、第一电机；10、螺杆；11、导向杆；12、顶板；13、滑架；14、转筒；15、连接架；16、第二电机；17、齿轮；18、齿圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体1，所述炉体1顶部设有炉盖2，所述炉体1内设有坩埚3，所述炉体1内且位于坩埚3外侧设有加热组件4，所述炉体1上方外壁沿圆周方向设有定位环5，所述炉盖2外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环5外侧的环套6，所述环套6上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓7，所述炉体1外侧设有与所述炉盖2连接的驱动装置。

本实施例进一步设置为，所述驱动装置包括设于所述炉体1一侧底部的支架8，所述支架8底部固定设有第一电机9，所述第一电机9驱动端安装有螺杆10，所述支架8上壁固定设有导向杆11，所述导向杆11顶部固定设有顶板12，所述螺杆10上端与所述顶板12转动连接，所述螺杆10上旋接有滑架13，所述滑架13上开设有与所述导向杆11匹配的导向孔，所述滑架13上设有用于驱动炉盖2转动的调节机构。

本实施例进一步设置为，所述调节机构包括转动安装于所述滑架13上壁的转筒14，所述转筒14侧壁通过连接架15与所述炉盖2固定连接，所述滑架13一侧固定设有第二电机16，所述第二电机16驱动端安装有齿轮17，所述转筒14侧壁设有与所述齿轮17啮合的齿圈18。

本实施例进一步设置为，所述滑架13侧壁设有用于固定电机的支座。

本实施例进一步设置为，所述定位环5上设有供所述锁定螺栓7插入的锁孔。

通过本领域技术人员，将本案中的零部件依次进行连接，具体连接以及操作顺序，应参考下述工作原理，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程。

实施例：当需要打开炉盖2时，首先转动锁定螺栓7使其末端与锁孔分离，此时炉盖2可与炉体1进行开合操作，第一电机9带动螺杆10转动，旋接于其上的滑架13在导向杆11的限位作用下，可带动炉盖2进行上升从而使其与炉体1分离，当需要提取炉体1内的坩埚3时，可启动第二电机16，使其带动齿轮17转动，与其啮合的齿圈18带动转筒14转动，在连接架15的作用下，炉盖2随转筒14同步转动，此时，可通过吊装装置将坩埚3由炉体1上方取出，使用方便。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)顶部设有炉盖(2)，所述炉体(1)内设有坩埚(3)，所述炉体(1)内且位于坩埚(3)外侧设有加热组件(4)，其特征在于，所述炉体(1)上方外壁沿圆周方向设有定位环(5)，所述炉盖(2)外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环(5)外侧的环套(6)，所述环套(6)上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓(7)，所述炉体(1)外侧设有与所述炉盖(2)连接的驱动装置；

所述驱动装置包括设于所述炉体(1)一侧底部的支架(8)，所述支架(8)底部固定设有第一电机(9)，所述第一电机(9)驱动端安装有螺杆(10)，所述支架(8)上壁固定设有导向杆(11)，所述导向杆(11)顶部固定设有顶板(12)，所述螺杆(10)上端与所述顶板(12)转动连接，所述螺杆(10)上旋接有滑架(13)，所述滑架(13)上开设有与所述导向杆(11)匹配的导向孔，所述滑架(13)上设有用于驱动炉盖(2)转动的调节机构。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述调节机构包括转动安装于所述滑架(13)上壁的转筒(14)，所述转筒(14)侧壁通过连接架(15)与所述炉盖(2)固定连接，所述滑架(13)一侧固定设有第二电机(16)，所述第二电机(16)驱动端安装有齿轮(17)，所述转筒(14)侧壁设有与所述齿轮(17)啮合的齿圈(18)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述滑架(13)侧壁设有用于固定电机的支座。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述定位环(5)上设有供所述锁定螺栓(7)插入的锁孔。