CN220977144U - 一种化学气相沉积设备的温度控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域,公开了一种化学气相沉积设备的温度控制装置,包括底座,所述底座上部后侧固定连接有风机,所述风机输入端固定连接有第二连接管,所述第二连接管一端固定连接有吸风罩,所述风机输出端固定连接有第一连接管,所述第一连接管一端设置有空气冷却器,所述空气冷却器外部一侧固定连接有第一输送管,所述第一输送管一端贯穿炉体固定连接有导流管,所述导流管下部四周均设置有出风口,所述炉体外部前侧设置有温度传感器。本实用新型中,实现了便于对炉体内部的温度进行控制,可以使沉积物生成速率更快,避免炉体内部的温度过高或者过低,从而提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域,尤其涉及一种化学气相沉积设备的温度控制装置。
背景技术
化学气相沉积法是制备碳包覆复合材料的主要方法之一,它是通过将烃类等碳源气体通入沉积炉内,在高温下碳源气体发生热解,产生的热解碳在待包覆材料表面沉积,最终在待包覆材料表面形成包覆层,从而得到碳包覆复合材料,具有工艺简单、适用于规模化生产等特。
现有的化学气相沉积设备的温度控制装置在使用过程中不具备温度调节功能,就会导致炉体内部的温度忽高忽低,影响物料的反应效果,而且在反应过程中产生的废气没有处理就直接排放,就会影响到工作人员的健康。
实用新型内容
本实用新型提供的一种化学气相沉积设备的温度控制装置目的是为了解决现有技术中一种化学气相沉积设备的温度控制装置在使用过程中不具备温度调节功能的缺点和反应过程中产生的废气没有处理就直接排放的问题,而提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种化学气相沉积设备的温度控制装置,包括底座,所述底座上部后侧固定连接有风机,所述风机输入端固定连接有第二连接管,所述第二连接管一端固定连接有吸风罩,所述风机输出端固定连接有第一连接管,所述第一连接管一端设置有空气冷却器,所述空气冷却器外部一侧固定连接有第一输送管,所述第一输送管一端贯穿炉体固定连接有导流管,所述导流管下部四周均设置有出风口,所述炉体外部前侧设置有温度传感器。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述底座上部右侧固定连接有吸气泵,所述吸气泵输入端固定连接有第三连接管,所述第三连接管一端固定连接有排风口,所述排风口一端固定连接在炉体外部右侧,所述吸气泵输出端固定连接有第二输送管,所述第二输送管一设置有处理箱,所述处理箱外部一侧固定连接有排放管,所述排放管上部设置有空气检测器,所述排放管上部设置有回流管,所述回流管一端固定连接在处理箱上部。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述处理箱内部左侧设置有活性炭吸附网,所述活性炭吸附网右侧设置有过滤网。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述炉体外部右侧固定连接有固定板,所述固定板上部固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有转动轴一,所述转动轴一外部固定连接有主动轮,所述主动轮通过皮带与从动轮相连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述从动轮内部固定连接有转动轴二,所述转动轴二外部四周均固定连接有搅拌叶。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述炉体外部左侧设置有进料口,所述炉体底部设置有下料口。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述下料口外部设置有第二控制阀门。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述排放管上部设置有第一控制阀门。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述底座上部设置有收集盒,所述收集盒设置在下料口上部。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述炉体外部四周均固定连接有支撑柱。
本实用新型具有如下有益效果:
1、本实用新型中,通过温度传感器、风机、第一连接管、第二连接管、吸风罩、空气冷却器、第一输送管、导流管、出风口等结构之间的配合,实现了便于对炉体内部的温度进行控制,可以使沉积物生成速率更快,避免炉体内部的温度过高或者过低,从而提高工作效率。
2、本实用新型中,通过吸气泵、第三连接管、地二输送管、处理箱、排放管、空气检测器等结构之间的配合,实现了对炉体内部的废气进行检测,未达标的废气通过回流管再次进入处理箱内进行处理,防止未达标的废气排放至外界,避免废气对工作人员的身体造成影响,提高了装置的实用性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置的主视图;
图2为本实用新型提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置的后视图;
图3为本实用新型提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置的侧视图;
图4为本实用新型提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置的炉体内部结构示意图;
图5为本实用新型提出的一种化学气相沉积设备的温度控制装置的处理箱内部结构示意图。
图例说明:
1、底座;2、炉体;3、风机;4、第一连接管;5、第二连接管;6、吸风罩;7、空气冷却器;8、第一输送管;9、导流管;10、出风口;11、排风口;12、第三连接管;13、吸气泵;14、第二输送管;15、处理箱;16、活性炭吸附网;17、过滤网;18、回流管;19、排放管;20、空气检测器;21、第一控制阀门;22、固定板;23、电机;24、转动轴一;25、主动轮;26、皮带;27、从动轮;28、转动轴二;29、搅拌叶;30、进料口;31、下料口;32、第二控制阀门;33、收集盒;34、支撑柱;35、温度传感器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-5,本实用新型提供的一种实施例:一种化学气相沉积设备的温度控制装置,包括底座1,底座1上部后侧固定连接有风机3,风机3输入端固定连接有第二连接管5,第二连接管5一端固定连接有吸风罩6,风机3输出端固定连接有第一连接管4,第一连接管4一端设置有空气冷却器7,空气冷却器7外部一侧固定连接有第一输送管8,第一输送管8一端贯穿炉体2固定连接有导流管9,导流管9下部四周均设置有出风口10,炉体2外部前侧设置有温度传感器35。
首先通过温度传感器35对炉体2的内部温度进行检测,当炉体2内部的温度过高时,会自动启动风机3,通过吸风罩6将外部的气体吸入,然后通过第一连接管4将空气输送到空气冷却器7的内部,经过空气冷却器7的转换,然后通过第一输送管8将转换后的气体,输送到导流管9的内部,然后通过导流管9下部设置的出风口10将气体排出,对炉体2内部进行温度的控制,实现了便于对炉体2内部的温度进行控制,可以使沉积物生成速率更快,避免炉体2内部的温度过高或者过低,从而提高工作效率。
底座1上部右侧固定连接有吸气泵13,吸气泵13输入端固定连接有第三连接管12,第三连接管12一端固定连接有排风口11,排风口11一端固定连接在炉体2外部右侧,吸气泵13输出端固定连接有第二输送管14,第二输送管14一设置有处理箱15,处理箱15外部一侧固定连接有排放管19,排放管19上部设置有空气检测器20,排放管19上部设置有回流管18,回流管18一端固定连接在处理箱15上部。
开启吸气泵13,然后吸气泵13通过第二输送管14将废气输送至处理箱15内,然后通过活性炭吸附网16和过滤网17进行吸附过滤,随后通过空气检测器20进行检测,将检测合格的气体通过排放管19进行排放,检测不合格通过回流管18再次输送到处理箱15内再次进行过滤吸附,实现了对炉体2内部的废气进行检测,未达标的废气通过回流管18再次进入处理箱15内进行处理,防止未达标的废气排放至外界,避免废气对工作人员的身体造成影响,提高了装置的实用性。
处理箱15内部左侧设置有活性炭吸附网16,活性炭吸附网16右侧设置有过滤网17,
通过设置活性炭吸附网16和过滤网17便于对排放的气体进行检测处理。
炉体2外部右侧固定连接有固定板22,固定板22上部固定连接有电机23,电机23输出端固定连接有转动轴一24,转动轴一24外部固定连接有主动轮25,主动轮25通过皮带26与从动轮27相连接。
通过电机23来控制主动轮25和从动轮27的运转,可以使其旋转速度可以调整,因此可以更好地满足加热所需的转速。
从动轮27内部固定连接有转动轴二28,转动轴二28外部四周均固定连接有搅拌叶29。
通过设置搅拌叶29可以有效地将混合物混合在一起,并确保混合过程更加均匀和充分。
炉体2外部左侧设置有进料口30,炉体2底部设置有下料口31。
通过设置进料口30和下料口31便于物料的投放和收集。
下料口31外部设置有第二控制阀门32。
通过设置第二控制阀门32门可以控制物料的流量,调节出料速度和量。
排放管19上部设置有第一控制阀门21。
通过设置排放管19,可以控制气体的排放,防止气体泄漏。
底座1上部设置有收集盒33,收集盒33设置在下料口31上部。
通过设置收集盒33,便于对炉体2内部的物料进行收集。
炉体2外部四周均固定连接有支撑柱34。
通过设置支撑柱34便于对炉体2的支撑和固定作用,防止设备在运行时倾斜,提高设备的稳定性。
工作原理:在设备使用时,首先通过温度传感器35对炉体2的内部温度进行检测,当炉体2内部的温度过高时,会自动启动风机3,通过吸风罩6将外部的气体吸入,然后通过第一连接管4将空气输送到空气冷却器7的内部,经过空气冷却器7的转换,然后通过第一输送管8将转换后的气体,输送到导流管9的内部,然后通过导流管9下部设置的出风口10将气体排出,对炉体2内部进行温度的控制,实现了便于对炉体2内部的温度进行控制,可以使沉积物生成速率更快,避免炉体2内部的温度过高或者过低,从而提高工作效率,然后通过开启吸气泵13,然后吸气泵13通过第二输送管14将废气输送至处理箱15内,然后通过活性炭吸附网16和过滤网17进行吸附过滤,随后通过空气检测器20进行检测,将检测合格的气体通过排放管19进行排放,检测不合格通过回流管18再次输送到处理箱15内再次进行过滤吸附,实现了对炉体2内部的废气进行检测,未达标的废气通过回流管18再次进入处理箱15内进行处理,防止未达标的废气排放至外界,避免废气对工作人员的身体造成影响,提高了装置的实用性。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种化学气相沉积设备的温度控制装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上部后侧固定连接有风机(3),所述风机(3)输入端固定连接有第二连接管(5),所述第二连接管(5)一端固定连接有吸风罩(6),所述风机(3)输出端固定连接有第一连接管(4),所述第一连接管(4)一端设置有空气冷却器(7),所述空气冷却器(7)外部一侧固定连接有第一输送管(8),所述第一输送管(8)一端贯穿炉体(2)固定连接有导流管(9),所述导流管(9)下部四周均设置有出风口(10),所述炉体(2)外部前侧设置有温度传感器(35)。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述底座(1)上部右侧固定连接有吸气泵(13),所述吸气泵(13)输入端固定连接有第三连接管(12),所述第三连接管(12)一端固定连接有排风口(11),所述排风口(11)一端固定连接在炉体(2)外部右侧,所述吸气泵(13)输出端固定连接有第二输送管(14),所述第二输送管(14)一设置有处理箱(15),所述处理箱(15)外部一侧固定连接有排放管(19),所述排放管(19)上部设置有空气检测器(20),所述排放管(19)上部设置有回流管(18),所述回流管(18)一端固定连接在处理箱(15)上部。
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述处理箱(15)内部左侧设置有活性炭吸附网(16),所述活性炭吸附网(16)右侧设置有过滤网(17)。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述炉体(2)外部右侧固定连接有固定板(22),所述固定板(22)上部固定连接有电机(23),所述电机(23)输出端固定连接有转动轴一(24),所述转动轴一(24)外部固定连接有主动轮(25),所述主动轮(25)通过皮带(26)与从动轮(27)相连接。
5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述从动轮(27)内部固定连接有转动轴二(28),所述转动轴二(28)外部四周均固定连接有搅拌叶(29)。
6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述炉体(2)外部左侧设置有进料口(30),所述炉体(2)底部设置有下料口(31)。
7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述下料口(31)外部设置有第二控制阀门(32)。
8.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述排放管(19)上部设置有第一控制阀门(21)。
9.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述底座(1)上部设置有收集盒(33),所述收集盒(33)设置在下料口(31)上部。
10.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的温度控制装置,其特征在于:所述炉体(2)外部四周均固定连接有支撑柱(34)。
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