CN220952186U - 一种单晶炉供气装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种单晶炉供气装置，单晶炉具有进气口，系统包括：第一管路，设有第一阀门；第二管路，设有第二阀门；输气总管，按照进气顺序设有总阀门和泄压阀；供气总管连通单晶炉的进气口，其中总阀门分别连通第一阀门和第二阀门，泄压阀连通供气总管。本申请可通过第一管路和第二管路分别输入气体，混气后汇流至输气总管，经过总阀门和泄压阀后通入单晶炉。本申请实施例提供的单晶炉供气装置能够提供不止一种气体，且能够便捷地切换各供气管路。

Description

一种单晶炉供气装置

技术领域

本申请属于晶体生长技术领域，特别是涉及一种单晶炉供气装置。

背景技术

单晶硅片简称硅片，是一种圆形的片状材料，其原子经过人工重新排列，是具有晶向的高纯半导体材料。单晶硅片广泛应用于半导体集成电路、二极管、太阳能。

直拉硅单晶(CZ/MCZ单晶)，这是单晶生长中最常用的一种方法。传统的供气装置结构复杂，在实际生产中不易切换供气线路。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种单晶炉供气装置，能够提供不止一种气体，且能够便捷地切换各供气管路。

为实现上述技术目的，本申请采用以下技术方案。

本申请提供了一种单晶炉供气装置，用于单晶炉，所述单晶炉具有进气口，所述装置包括：

第一管路，所述第一管路设有第一阀门；

第二管路，所述第二管路设有第二阀门；

输气总管，所述输气总管按照进气顺序设有总阀门和泄压阀；

供气总管，所述供气总管连通所述进气口；

其中，所述总阀门分别连通所述第一阀门和所述第二阀门，所述泄压阀连通所述供气总管。

进一步地，所述装置还包括控制器；所述控制器分别与所述第一阀门、所述第二阀门、所述总阀门和所述泄压阀电连接。

进一步地，所述装置还包括：第三管路，所述第三管路按照进气顺序设有第三阀门和快充阀；

所述第三阀门连通所述输气总管，所述快充阀连通所述进气口，且所述第三阀门与所述输气总管的连通位置设于所述总阀门和所述泄压阀之间。

进一步地，所述第一管路或所述第二管路设有第一气体检测单元，所述供气总管设有第四气体检测单元；

和/或，所述第二管路还设有第二气体检测单元。

进一步地，所述输气总管还设有第三气体检测单元。

进一步地，所述单晶炉具有排气口，所述装置包括三通管，三通管具有一个进口和两个出口，三通管的进口与排气口连通，三通管的一个出口设有取气口，另一个出口输出尾气，取气口设有第五气体检测单元。

进一步地，所述控制器与所述第一气体检测单元、所述第四气体检测单元和所述第五气体检测单元电连接。

进一步地，所述装置还包括第三截止阀；三通管的进口通过所述第三截止阀与所述排气口连通。

进一步地，所述供气总管包括水冷供气管、第一供气管和第二供气管中至少一路；

所述水冷供气管、第一供气管和第二供气管分别与所述进气口连通。

再进一步地，所述水冷供气管、第一供气管和第二供气管中至少一路设有所述第四气体检测单元。

再进一步地，所述第一供气管设有第三流量计单元；

和/或，所述第二供气管设有第三流量计单元。

进一步地，所述第一管路用于输入含氢气体，所述第二管路用于输入惰性气体，或第一管路输入惰性气体，第二管路输入含氢气体。

进一步地，所述第一阀门并联第一截止阀，和/或，所述第二阀门并联第二截止阀。

与现有技术相比，本申请实施例的一种单晶炉供气装置，单晶炉具有进气口，装置包括：第一管路，第一管路设有第一阀门；第二管路，第二管路设有第二阀门；输气总管，输气总管按照进气顺序设有总阀门和泄压阀；供气总管，供气总管连通进气口；其中，总阀门分别连通第一阀门和第二阀门，泄压阀连通供气总管。本申请的单晶炉供气装置，结构简单，可利用原有的氩气罐进行混配且管路便于切换。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施方式一提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

图2为本申请实施方式二提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

图3为本申请实施方式三提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

图4为本申请实施方式四提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

图5为本申请实施方式五提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

图6为本申请实施方式六提供的一种单晶炉供气装置结构示意图；

附图标记：

10-外围管路、20-单晶车间、30-泵室、210-供气配盘、101-第一管路、1011-混气罐、1012-第一气体检测单元、1013-第一阀门、1014-第一流量计单元、102-第二管路、1021-氩气罐、1022-第二阀门、1023-第二流量计单元、1024-第二气体检测单元、301-输气总管、3011-总阀门、3012-泄压阀、3013-第三气体检测单元、3014-第一截止阀、3015-第二截止阀、201-供气总管、2011-第四气体检测单元、2012-单晶炉、2013-水冷供气管、2014-第一供气管、2015-第二供气管、2016-第三流量计单元、202-第三管路、2021-快充阀、2022-第三阀门、2101-第三截止阀、2102-三通管、2103-取气口、2104-第五气体检测单元、2105-尾气回收装置。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施方式一：

如图1所示，本实施方式提供一种单晶炉供气装置，用于单晶炉2012，单晶炉2012具有进气口，系统包括第一管路101、第二管路102、输气总管301和供气总管201；第一管路101设有第一阀门1013；第二管路102设有第二阀门1022；输气总管301按照进气顺序设有总阀门3011和泄压阀3012；供气总管201连通进气口；其中，总阀门3011分别连通第一阀门1013和第二阀门1022，泄压阀3012连通供气总管201。

本申请提供的单晶炉供气装置，其前端的外围管路10包括了第一管路101和第二管路102，且第一管路101上设置了第一阀门1013，第二管路102上设置了第二阀门1022，能够实现同时输入不同的气体，以及不同气体的切换。

中端设有单晶炉2012(即炉台)和供气配盘210，供气配盘210包括供气总管201。

单晶炉2012设置于单晶车间20中，在单晶车间20中生产出晶棒。

单晶炉2012，可采用全自动直拉单晶生长炉。全自动直拉单晶生长炉是一种在惰性气体(氮气或氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

泵室30内设置了输气总管301，输气总管301上设置了总阀门3011和泄压阀3012。

在一些实施例中，第一阀门1013、第二阀门1022或总阀门3011可采用电磁阀，也可以采用气动阀等。

泄压阀3012设置在输气总管301的管路中，当输气总管301内气体压力超过设定值时，泄压阀3012的阀门打开，将气体的一部分排出，使气体压力不超过设定值，从而保证系统不因压力过高而发生爆炸事故。

可选地，生产常规产品时，开启第二阀门1022，第二管路102上输入惰性气体(如氩气)，将第一阀门1013关闭，第一管路101上停止输入气体，此时由第二管路102单独供氩气。

生产特殊需求的产品时，根据工艺设计，开启第一阀门1013和第二阀门1022，第一管路101和第二管路102可同时供气。

如第一管路101上输入含氢气体，如氢气氩气混合气体，可选地，氢气的比例为1％～10％，氩气10％～99％；第二管路102上输入惰性气体如氩气。惰性气体作为保护气体，能够在拉晶过程中保护单晶硅和多晶硅不被氧化。

可选地，第一管路101上接混气罐1011，混气罐1011中气体包括氢气；第二管路102上接氩气罐1021，氩气罐1021内包括纯氩气。

混气罐1011和氩气罐1021都为密封结构。混气罐1011和氩气罐1021可设于混气站内，混气站可包括主机控制系统和配气管路，主机控制系统控制配气管路将气体进行配比，获得满足要求的混气，按照设定的压力值输出。氢气和氩气汇流后进入输气总管301，接入总阀门3011后经泄压阀3012进行泄压，泄压后的混合气体经供气配盘210进入供气总管201，通过供气总管201连通单晶炉2012。

在一些实施例中，第一管路101或第二管路102设有第一气体检测单元1012，供气总管201设有第四气体检测单元2011。在第一管路101设有第一气体检测单元1012，可在第一管路101输入含氢气体，第一气体检测单元1012可检测第一管路101中第一阀门1013的阀口是否有气体外泄，在很大程度上能够避免第一管路101外部发生气体外泄。

相应地，如果在第二管路102输入含氢气体，第一管路101输入惰性气体，可在第二管路102设有第一气体检测单元1012，检测第二管路102中第二阀门1022的阀口是否有气体外泄。

由于未输入氢气的管路如第二管路102设有第二阀门1022，当输入氢气的第一管路101发生泄露的情况下，在第二管路102具有压力的情况下，氢气回流到第二阀门1022的概率较小，因此，在输入氢气的管路如第一管路101设置第一气体检测单元1012，能够及时检测出气体(如氢气)外泄的情况，能够防止气体外泄。

由于供气配盘210通过供气总管201直接通入单晶炉2012。单晶炉2012在不同的工步需要供气配盘210中的供气总管201进行供气。在一些实施方式中，供气总管201可能包括多路供气，如向单晶炉2012的上炉台(或副炉室)和下炉台(或主炉室)供气。

供气总管201中若氢气压力过高、受到剧烈震动与冲击，或者强烈受热，则会有爆炸的危险，威胁单晶车间20的安全。且由于供气总管201可能采用多路阀门，接口和弯头较多，因此本实施方式中在供气总管201设有第四气体检测单元2011，用于监测供气总管201外设定范围内的氢气含量。

若前端外围管路10中输入氢气的管路及中端供气总管201的外部气体不进行气体检测，整体系统具有很大的风险。可见，监测前端外围管路10中输入氢气的管路如第一管路101外部设定范围内的氢含量，以及监测中端供气总管201外设定范围内的氢气含量，能及时检测出气体外泄的情况，并能够避免事故扩大。

可选的，单晶炉供气装置还包括控制器(图中未示出)，利用控制器与第一气体检测单元1012、第四气体检测单元2011、第一阀门1013、第二阀门1022，总阀门3011以及泄压阀3012电连接，实现过程智能控制。

具体实施方式中，第一气体检测单元1012或第四气体检测单元2011若检测出氢气含量超标，中控的控制器(如PLC)可发出相应的报警信号，以根据报警信号进行对应的操作，如紧急人员疏散并进行检修、切换输气管路，或进行快速气体置换等。

可选地，报警信号可分别表示第一管路101气体外泄、或输气总管301气体外泄或者第一管路101氢气超标和输气总管301同时气体外泄。如，第一气体检测单元1012检测出第一管路101气体外泄，发出报警信号0；第四气体检测单元2011检测出输气总管301气体外泄，则发出报警信号1，第一气体检测单元1012和第四气体检测单元2011同时检测出气体外泄，输出报警信号3，在其他实施例中，可以用其他出报警信号标识符。

可选地，在一些实施方式中，也可以利用第一气体检测单元1012和第四气体检测单元2011，检测是否有惰性气体外泄，若惰性气体外泄，会带来对人员窒息或中毒的风险。

本申请实施例提供的一种单晶炉供气装置，在前端的管路(输入含氢气体的管路，如第一管路101或第二管路102、中端炉台端的供气总管201均设置了气体检测单元，能够保证在高温阶段氢气不外漏，不内漏不进空气，实现双向保护。

实施方式二：

请参考图2，本实施方式提供的一种单晶炉供气装置，用于单晶炉2012，在以上实施方式基础上，与图1示出的实施方式不同的是，本实施方式中，该系统还包括了第三管路202，第三管路202按照进气顺序设有第三阀门2022和快充阀2021；第三阀门2022连通输气总管301，快充阀2021连通进气口，且第三管路202与输气总管301的连通位置设于总阀门3011和泄压阀3012之间。

快充阀2021又称为快充式充气阀，能够承受较高的压力而实现快速充气。

第三阀门2022可采用电磁阀。

在一些实施方式中，需要进行气体切换，如响应于第一气体检测单元1012或第四气体检测单元2011检测出存在气体外泄(如当设定空间范围内的氢气含量超过设定阈值)发生的报警信号，或炉台立即切换，如第一管路101通入含氢气体，第一管路101设第一气体检测单元1012，第二管路102输入惰性气体，则停止第一管路101通入氢气，切换为第二管路102通入惰性气体，进行快速气体置换，即，开启第二阀门1022，开启总阀门3011、开启第三阀门2022和快充阀2021，关闭第一阀门1013。

在一些实施例中，控制器还可以与第三阀门2022和快充阀2021电连接，用于对第三阀门2022和快充阀2021实现智能控制。

在其他的实施方式中，可通过压力传感装置检测单晶炉2012内的压力值，单晶炉2012的常规风险包括漏率大等，一旦监测到单晶炉2012内压力突变，响应于炉压超过边界，则本申请实施例提供的系统可以快速开启第三管路202进行快速气体置换。

本实施方式提供的单晶炉供气装置中包括了第三管路202，且第三管路202中的气体未经泄压阀3012减压，能够实现单晶炉2012内保护气体的快速置换。

实施方式三：

如图3所示，在以上实施方式的基础上，本实施方式提供的单晶炉供气装置包括：输气总管301还设有第三气体检测单元3013，第三气体检测单元3013用于检测输气总管301设定范围内的气体含量。

在一些实施例中，考虑到输气总管301内气体在未经过泄压阀3012减压之前的压力较大，有造成管路气体泄露的可能，为进一步地提高系统的安全性，通过第三气体检测单元3013检测输气总管301外部设定范围内的气体含量，能够避免输气总管301在总阀门3011和泄压阀3012外部发生气体外泄，及时排除输气总管301气体泄露风险，进一步提高系统的安全性能。

可选地，若第三气体检测单元3013检测出输气总管301外部区域含氢超过设定阈值，也立即进行气体置换。

在一些实施例中，当第一管路101设有第一气体检测单元1012，则第二管路102还设有第二气体检测单元1024，第二气体检测单元1024用于检测第二管路102设定范围内的气体含量，能够防止第二阀门1022附近产生漏气。

实施方式四：

如图4所示，在一些实施方式中，提供的单晶炉供气装置，在以上实施方式基础上，第一管路101上设有第一流量计单元1014，第一流量计单元1014用于对第一管路101流过的气体流量进行计量和控制。

可选地，第二管路102设有第二流量计单元1023，第二流量计单元1023用于对第二管路102流过的气体流量进行计量和控制。

本实施例第一管路101和第二管路102可输入不同的气体，通过第一流量计单元1014和第二流量计单元1023调整混气的比例。

如第一管路101通入含氢气体，第二管路102通入氩气，开启第一阀门1013、开启第二阀门1022，开启总阀门3011，关闭第三阀门2022、关闭快充阀2021。

通过第一管路101和第二管路102分别通入氢气和氩气，控制第一流量计单元1014和第二流量计单元1023和第一阀门1013、第二阀门1022，总阀门3011、第三阀门2022和快充阀2021的状态。通过第一流量计单元1014和第二流量计单元1023，调整氢气和氩气的比例，如输入6％的氢气，94％的氩气，混配比例也是6％，混气后汇流至总阀门3011。通过这样的设置，结构简单，可利用原有的氩气罐1021进行智能混配。

由于浓度比例过高，外泄风险增大，本申请实施例提供的单晶炉供气装置，能够按照设定混气浓度比例进行混气，因此可以有效防止气体外泄。利用流量计单元进行流量计单元量，当超过流量设定值，能及时发现调整，也可防止气体外泄。

本申请提供的单晶炉供气装置，其中，供气总管201包括水冷供气管2013、第一供气管2014和第二供气管2015中至少一路；水冷供气管2013、第一供气管2014和第二供气管2015分别与进气口连通。

如图4所示，本实施方式提供的单晶炉供气装置，供气总管201包括了水冷供气管2013、第一供气管2014和第二供气管2015。

具体实施中，水冷供气管2013、第一供气管2014和第二供气管2015和分别连通单晶炉2012不同位置的进气口，如根据需要，进气口可分别设于连通单晶炉2012的主炉室、副炉室或单晶炉2012的喉口位置。炉台在不同的工步需要不同的管路进行供气，本申请可以适应不同的工艺工步需要。

在一些实施方式中，水冷供气管2013、第一供气管2014和第二供气管2015中至少一路设有第四气体检测单元2011。

需要说明的是，在具体实施过程中，可根据气体种类、检测范围的大小和形状、周围环境条件等因素来确定各气体检测单元的安装位置。

在一些实施方式中，供气总管201设有第三流量计单元2016，供气总管201中的气体可经过第三流量计单元2016后分为多个管路，通过各管路上相应设置的阀门进行切换。

本实施方式中，第一供气管2014设有第三流量计单元2016，第三流量计单元2016用于对第一供气管2014流过的气体流量进行计量和控制；和/或，第二供气管2015设有第三流量计单元2016，第三流量计单元2016用于对第二供气管2015流过的气体流量进行计量和控制。

除了上述实施方式中可控制第一管路101中氢气流量值和第二管路102中氩气流量值，单晶炉2012需要考虑散热阶梯，因此本实施方式中，通过第三流量计单元2016能够控制单晶炉2012氢气摄入量和整体气体摄入量。

具体实施例方式中，可以根据不同的工步工艺设置，分别设置第一管路101、第二管路102或供气总管201上具体的流量值，如设置的正常流量值为90slpm～150slpm，如90slpm、100slpm、120slpm或150slpm中任一者或任意两者之间的范围值。实际流量值在安全范围(流量上限和流量下限之间)为安全，超过安全范围则进行报警。

设置安全范围时考虑到流量计单元的精度，如200slpm的流量计单元具有2slpm～4slpm的偏差，因此设定流量上限和流量下限包括正常设定流量值3％～5％的上下偏移量，如3％、4％、5％中任一者或任意两者之间的范围值。

当第一流量计单元1014、第二流量计单元1023、第三流量计单元2016任一检测出流量超过安全范围，则进行报警，可通过控制器将流量计单元的流量调整至设定值。可选地，第一流量计单元1014、第二流量计单元1023或第三流量计单元2016可选用质量流量控制器。

以上实施方式中，可利用控制器与第一气体检测单元1012、第四气体检测单元2011、第二气体检测单元1024、第三气体检测单元3013、第一流量计单元1014和第二流量计单元1023和第一阀门1013、第二阀门1022，总阀门3011、泄压阀3012、第三阀门2022和快充阀2021电连接，实现过程智能控制。具体实施方式中，可预先设置各工步参数，控制器根据具体的工步参数对各元件进行相应控制。

控制器可采用可编程逻辑控制器(PLC)。PLC是一种工业计算机控制系统，它持续监控输入设备的状态并根据自定义程序做出决定以控制输出设备的状态。

控制器可设于炉台中控系统中。

在一些实施例提供的单晶炉供气装置，通过第一气体检测单元1012、第二气体检测单元1024、第三气体检测单元3013、第四气体检测单元2011检测管路外部的氢气含量，当氢气含量超过阈值，则输出报警信号连接中控中的控制器，中控发出整体报警，可及时安排检修人员排除安全风险，保证了系统的安全性。具体地，管道外部环境空间内氢气含量阈值可设为4％，在一些实施方式中，可根据实际需要设置阈值，当环境空间内氢气含量超过设定阈值遇到火源可能会发生爆炸。

实施方式五：

如图5所示，在以上实施方式基础上，系统包括三通管2102，三通管2102具有一个进口和两个出口，三通管2102的进口与排气口连通，三通管2102的一个出口设有取气口2103，另一个出口输出尾气，可选地，取气口2103设有第五气体检测单元2104。控制器与第五气体检测单元2104电连接。

在一些实施方式中，输出尾气可接入尾气回收装置2105。

可选地，三通管2102的进口通过第三截止阀2101与排气口连通，保证排气口安全。

本申请实施方式前端保护供气系统，包括配盘前端和混配部分，中端保护机台单晶炉2012端，没有气体进入，没有空气进入，没有氩气泄露风险；后端包括检测尾气部分，保证尾部排出的气体氢含量不太高。氢浓度高温度会有部分偏高，有闪爆的风险，而且对管路和后期尾气的回收都有风险。因此本实施方式提供的系统能够同时保证系统后端的安全。

实施方式六：

在一些实施方式中，第一管路101设有第一截止阀3014，和/或，第二管路102设有第二截止阀3015。

如图6所示，第一阀门1013通过第一截止阀3014连通总阀门3011，和/或，第二阀门1022通过第二截止阀3015连通总阀门3011。

在其他的实施方式中，第一截止阀3014可通过旁路与第一阀门1013并联，或第二截止阀3015可通过旁路与第二阀门1022并联。

可选地，第一截止阀3014和第二截止阀3015都采用手动截止阀，可避免第一阀门1013和第二阀门1022出现故障的情况下，无法对通入单晶炉2012的气体进行切换而发生风险。

本申请实施例提供的一种单晶炉供气装置，能够实现多路供气以及不同供气管路的切换，能够适应不同的工步需要。

在运行过程中，本申请实施例提供的一种单晶炉供气装置可监测第一管路101和供气总管201外部空间的气体含氢量，及时检测出是否有气体外泄。

本申请实施例提供的一种单晶炉供气装置可以及时进行气体切换，进一步地，可以进行气体快速置换，保证了系统的安全性。

以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当理解本申请并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本申请的精神和范围，则都应在本申请所附权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种单晶炉供气装置，所述单晶炉(2012)具有进气口，其特征在于，所述装置包括：

第一管路(101)，所述第一管路(101)设有第一阀门(1013)；

第二管路(102)，所述第二管路(102)设有第二阀门(1022)；

输气总管(301)，所述输气总管(301)按照进气顺序设有总阀门(3011)和泄压阀(3012)；

供气总管(201)，所述供气总管(201)连通所述进气口；

其中，所述总阀门(3011)分别连通所述第一阀门(1013)和所述第二阀门(1022)，所述泄压阀(3012)连通所述供气总管(201)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述装置还包括控制器，所述控制器分别与所述第一阀门(1013)、所述第二阀门(1022)、所述总阀门(3011)和所述泄压阀(3012)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述装置还包括：

第三管路(202)，所述第三管路(202)按照进气顺序设有第三阀门(2022)和快充阀(2021)；

所述第三阀门(2022)连通所述输气总管(301)，所述快充阀(2021)连通所述进气口，且所述第三阀门(2022)与所述输气总管(301)的连通位置设于所述总阀门(3011)和所述泄压阀(3012)之间。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述第一管路(101)或所述第二管路(102)设有第一气体检测单元(1012)，所述供气总管(201)设有第四气体检测单元(2011)；

和/或，所述第二管路(102)还设有第二气体检测单元(1024)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述输气总管(301)设有第三气体检测单元(3013)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述单晶炉(2012)具有排气口；所述装置包括三通管(2102)，所述三通管(2102)具有一个进口和两个出口，所述三通管(2102)的进口与所述排气口连通，所述三通管(2102)的一个所述出口设有取气口(2103)，另一个所述出口输出尾气，所述取气口(2103)设有第五气体检测单元(2104)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述装置还包括第三截止阀(2101)；所述三通管(2102)的进口通过所述第三截止阀(2101)与所述排气口连通。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述供气总管(201)包括水冷供气管(2013)、第一供气管(2014)和第二供气管(2015)中至少一路；

所述水冷供气管(2013)、第一供气管(2014)和第二供气管(2015)分别与所述进气口连通。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述水冷供气管(2013)、第一供气管(2014)和第二供气管(2015)至少一路设有第四气体检测单元(2011)。

10.根据权利要求8所述的一种单晶炉供气装置，其特征在于，所述第一供气管(2014)设有第三流量计单元(2016)；

和/或，所述第二供气管(2015)设有第三流量计单元(2016)。