CN220952036U - 一种真空镀膜除气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜除气装置，包括：镀膜箱体，所述镀膜箱体的内部固定安装有第一电机，且第一电机的下端固定连接有连接架，所述镀膜箱体的左端固定安装有安装管，且安装管的内部设置有移动管；衔接杆，其设置在移动管的下方，所述衔接杆的外表面连接有衔接块，且衔接块的左侧设置有衔接轮，所述衔接轮的下端连接有主动轮；波纹伸缩管，其固定连接在移动管的左端，所述波纹伸缩管的下端连接有真空泵，且真空泵的右侧设置有过滤箱体。该真空镀膜除气装置，便于均匀对腔室内部气体进行吸出，便于封堵抽气口，解决了现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜除气装置。
背景技术
真空镀膜指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜，由于镀层常为金属薄膜，故真空镀膜也称为真空金属化，对于具有较高品质要求的镀膜，一般要先对箱体内部进行除气处理，以去除基材表面的水气、氮气等杂气，增加基材表面的清洁性，再进行附着镀层的操作；
如中国专利授权公开号为CN219363786U的一种真空镀膜除气装置，其包括镀膜箱体，所述镀膜箱体内相对布设有两组环形抽气管，环形抽气管内端面呈环形阵列布设多组抽气口，所述环形抽气管与抽气部件连接；镀膜箱体两端相对布设有由环形板以及圆板围合而成的环形密封槽，环形密封槽用于容纳环形抽气管以实现对抽气口的密封；其中，环形抽气管与带动其在镀膜箱体内移动的调节机构连接，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管嵌入至环形密封槽内，进而实现对环形抽气管以及抽气口的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管表面，同时，对抽气口进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口进入环形抽气管内。
但是，目前市场上大部分的真空镀膜除气装置在使用时仍存在一些不足之处，就比如：现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞，且大多难以均匀对腔室内部气体进行吸出，进而存在一定的使用缺陷，因此，我们提出一种真空镀膜除气装置，以便于解决上述中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜除气装置，以解决上述背景技术中提出的现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞，且大多难以均匀对腔室内部气体进行吸出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜除气装置，包括：
镀膜箱体，所述镀膜箱体的内部固定安装有第一电机，且第一电机的下端固定连接有连接架，并且连接架的外端固定连接有遮板，所述镀膜箱体的左端固定安装有安装管，且安装管的内部设置有移动管，并且移动管的下端面开设有抽气孔；
衔接杆，其设置在移动管的下方，所述衔接杆的外表面连接有衔接块，且衔接块的左侧设置有衔接轮，所述衔接轮的下端连接有主动轮，且主动轮的右端连接有第二电机；
波纹伸缩管，其固定连接在移动管的左端，所述波纹伸缩管的下端连接有真空泵，且真空泵的右侧设置有过滤箱体。
优选的，所述连接架和遮板均转动连接在镀膜箱体的内部，且遮板的横截面呈弧形设置。
优选的，所述移动管滑动连接在安装管的内部，且抽气孔在移动管的下端面从左至右等间距开设。
优选的，所述衔接块固定连接在移动管的下端面，且衔接块与衔接杆之间的连接方式为螺纹连接。
优选的，所述衔接杆转动安装在安装管的内部，且衔接轮固定连接在衔接杆的外表面。
优选的，所述衔接轮与主动轮之间构成啮合连接，且主动轮右端的第二电机固定安装在安装管的下端面。
优选的，所述真空泵固定安装在过滤箱体的左端面，且过滤箱体设置在镀膜箱体的左侧。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空镀膜除气装置，便于均匀对腔室内部气体进行吸出，便于封堵抽气口，解决了现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞的问题；
1、设有镀膜箱体、移动管和抽气孔，通过抽气孔在移动管的下端面从左至右等间距开设，当移动管伸入镀膜箱体内部时，可通过抽气孔将镀膜箱体内部气体抽出，由于抽气孔分散设置，增大抽气均匀性，使实用性更佳；
2、设有连接架、遮板和移动管，通过第一电机可驱动连接架与遮板旋转，当移动管缩回安装管内侧时，通过遮板可对移动管右端进行封堵，防止镀膜材料进入移动管的内部造成堵塞；
3、设有移动管、主动轮和衔接杆，通过第二电机驱动主动轮旋转，即可使衔接轮带动衔接杆旋转，进而通过衔接块带动移动管在安装管的内部横向滑动，从而控制移动管伸入镀膜箱体或缩回安装管中，从而避免移动管受镀膜材料的污染。
附图说明
图1为本实用新型正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型图1中移动管伸出状态正视剖面结构示意图；
图3为本实用新型镀膜箱体与遮板连接俯视剖面结构示意图；
图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图。
图中：1、镀膜箱体；2、第一电机；3、连接架；4、遮板；5、安装管；6、移动管；7、抽气孔；8、衔接块；9、衔接杆；10、衔接轮；11、主动轮；12、第二电机；13、波纹伸缩管；14、真空泵；15、过滤箱体。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜除气装置，包括：镀膜箱体1的内部固定安装有第一电机2，且第一电机2的下端固定连接有连接架3，并且连接架3的外端固定连接有遮板4，结合图1、图2与图3中所示，连接架3和遮板4均转动连接在镀膜箱体1的内部，且遮板4的横截面呈弧形设置，镀膜箱体1的左端固定安装有安装管5，且安装管5的内部设置有移动管6，并且移动管6的下端面开设有抽气孔7，通过第一电机2可驱动连接架3与遮板4旋转，当移动管6缩回安装管5内侧时，通过遮板4可对移动管6右端进行封堵；
具体的如图1中所示，由于移动管6滑动连接在安装管5的内部，通过抽气孔7在移动管6的下端面从左至右等间距开设，当移动管6伸入镀膜箱体1内部时，可通过抽气孔7将镀膜箱体1内部气体进行抽出，移动管6的下方设置有衔接杆9，且衔接杆9的外表面连接有衔接块8，并且衔接块8的左侧设置有衔接轮10，衔接轮10的下端连接有主动轮11，且主动轮11的右端连接有第二电机12，并且第二电机12固定安装在安装管5的下端面，结合图1与图4中所示，由于衔接块8固定连接在移动管6的下端面，且衔接块8与衔接杆9之间的连接方式为螺纹连接，同时衔接杆9转动安装在安装管5的内部，且衔接轮10固定连接在衔接杆9的外表面，并且衔接轮10与主动轮11之间构成啮合连接，通过第二电机12驱动主动轮11旋转，即可使衔接轮10带动衔接杆9旋转，进而通过衔接块8带动移动管6在安装管5的内部横向滑动，从而控制移动管6伸入镀膜箱体1或缩回安装管5中；
具体的如图1中所示，移动管6的左端固定连接有波纹伸缩管13，且波纹伸缩管13的下端连接有真空泵14，并且真空泵14的右侧设置有过滤箱体15，真空泵14固定安装在过滤箱体15的左端面，且过滤箱体15设置在镀膜箱体1的左侧，在使用该真空镀膜除气装置时，首先通过第一电机2驱动连接架3和遮板4旋转，使遮板4移动至镀膜箱体1内部右侧位置，通过第二电机12驱动主动轮11旋转，进而使移动管6伸入镀膜箱体1内部，真空泵14启动，使镀膜箱体1中气体通过移动管6和波纹伸缩管13抽出，通过过滤箱体15吸收气体，过滤箱体15的工作原理及内部结构可参考如中国专利授权公开号为CN219363786U的一种真空镀膜除气装置中所示，这就是该真空镀膜除气装置的使用方法。
本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种真空镀膜除气装置，其特征在于：包括：
镀膜箱体(1)，所述镀膜箱体(1)的内部固定安装有第一电机(2)，且第一电机(2)的下端固定连接有连接架(3)，并且连接架(3)的外端固定连接有遮板(4)，所述镀膜箱体(1)的左端固定安装有安装管(5)，且安装管(5)的内部设置有移动管(6)，并且移动管(6)的下端面开设有抽气孔(7)；
衔接杆(9)，其设置在移动管(6)的下方，所述衔接杆(9)的外表面连接有衔接块(8)，且衔接块(8)的左侧设置有衔接轮(10)，所述衔接轮(10)的下端连接有主动轮(11)，且主动轮(11)的右端连接有第二电机(12)；
波纹伸缩管(13)，其固定连接在移动管(6)的左端，所述波纹伸缩管(13)的下端连接有真空泵(14)，且真空泵(14)的右侧设置有过滤箱体(15)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述连接架(3)和遮板(4)均转动连接在镀膜箱体(1)的内部，且遮板(4)的横截面呈弧形设置。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述移动管(6)滑动连接在安装管(5)的内部，且抽气孔(7)在移动管(6)的下端面从左至右等间距开设。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接块(8)固定连接在移动管(6)的下端面，且衔接块(8)与衔接杆(9)之间的连接方式为螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接杆(9)转动安装在安装管(5)的内部，且衔接轮(10)固定连接在衔接杆(9)的外表面。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接轮(10)与主动轮(11)之间构成啮合连接，且主动轮(11)右端的第二电机(12)固定安装在安装管(5)的下端面。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述真空泵(14)固定安装在过滤箱体(15)的左端面，且过滤箱体(15)设置在镀膜箱体(1)的左侧。
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