CN220952032U - 一种真空镀膜用真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜用真空泵，具体涉及真空泵领域，包括泵体，所述泵体的顶部一侧固定设有进气管，所述进气管的内部滑动连接有过滤板，所述过滤板的顶部两侧均固定设有固定板，两个所述固定板相背的一侧均转动连接有转动杆。本实用新型通过设置过滤板，气体从进气管内进入，然后气体经过过滤板的过滤进入到泵体内，将杂物留在过滤板上，当泵体工作完成后，转动转动杆，将卡块从卡槽内拔出，然后将过滤板从进气管内拉出，就可以对过滤板进行更换和清理，方便工作人员对其进行清理，同时可以防止杂物在泵体使用时进入到泵体内，还可以防止进气管的堵塞，不会影响泵体的使用，可以延长泵体的使用寿命。

Description

一种真空镀膜用真空泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种真空镀膜用真空泵。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法；在使用真空镀膜设备的过程中，需要通过真空泵将镀膜设备的内部抽成真空状态，这就需要用到真空泵。

现有申请号为CN202021635385.6的实用新型公开了一种真空镀膜设备用真空泵，包括泵盖，进排气口，有泵体，供水口，供水口，检修门，检修门，出排气口，出水层和电机，真空泵使用时，电机产生的部分热量会从排热网排出，冷却水管会对其他部分的热量进行冷却，从而降低电机箱内部的温度，提高了真空泵使用的安全系数和真空泵的使用寿命。

但是在该结构实际使用时，该结构没有在进气管内部安装滤网，会导致该结构的使用时，外部的杂物会掉落到泵体内，继而导致泵体内被污染，且会造成进排气口被堵塞，继而影响该结构的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案。为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种真空镀膜用真空泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜用真空泵，包括泵体，所述泵体的顶部一侧固定设有进气管，所述进气管的内部滑动连接有过滤板，所述过滤板的顶部两侧均固定设有固定板，两个所述固定板相背的一侧均转动连接有转动杆，所述进气管靠近转动杆的一侧开设有卡槽，所述卡槽的内部滑动连接有卡块，所述卡块与转动杆固定连接，所述卡块的两侧均开设有两个滑槽，两个所述滑槽相对的一侧均固定设有弹簧，两个所述弹簧相对的一侧均固定设有滑块，所述滑块与滑槽滑动连接，两个所述滑块之间固定设有弧形板。

作为上述技术方案的进一步描述：所述泵体的顶部一侧固定设有出气管，所述泵体的顶部固定设有两个电动推杆。

作为上述技术方案的进一步描述：所述出气管的内部和进气管的内部均滑动连接有密封板，所述电动推杆的移动端与密封板固定连接，所述出气管的顶部转动连接有转动板。

作为上述技术方案的进一步描述：所述泵体的内腔顶部固定设有隔板，所述隔板的底部固定设有支撑板，所述支撑板与泵体固定连接，所述隔板的一侧固定设有进气扇，所述隔板的另一侧固定设有排气扇。

作为上述技术方案的进一步描述：所述进气扇与进气管相对应，所述排气扇与出气管相对应。

作为上述技术方案的进一步描述：所述泵体的一侧固定设有支撑架，所述支撑架的内部固定设有电机，所述电机靠近泵体的一侧固定设有第一转动杆，所述第一转动杆的一端延伸至泵体的内部。

作为上述技术方案的进一步描述：所述支撑架的顶部设有第二转动杆，所述第二转动杆与泵体转动连接，所述第二转动杆与第一转动杆之间设有第一履带，所述支撑架的一侧转动连接有转动块，所述转动块与第二转动杆之间设有第二履带。

作为上述技术方案的进一步描述：所述支撑架远离泵体的一侧开设有风扇槽，所述风扇槽的内部转动连接有冷却扇，所述冷却扇与转动块固定连接。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置过滤板，与现有技术相比，气体从进气管内进入，然后气体经过过滤板的过滤进入到泵体内，将杂物留在过滤板上，当泵体工作完成后，转动转动杆，将卡块从卡槽内拔出，继而对弧形板造成挤压，然后挤压滑块，然后对弹簧造成挤压，然后就可以将卡块取出，然后将过滤板从进气管内拉出，就可以对过滤板进行更换和清理，方便工作人员对其进行清理，同时可以防止杂物在泵体使用时进入到泵体内，还可以防止进气管的堵塞，不会影响泵体的使用，可以延长泵体的使用寿命；

2、通过设置冷却扇，与现有技术相比，电机开始运行，继而带动第一转动杆的转动，然后带动第一履带的运动，然后带动第二转动杆的转动，继而带动第二履带的运动，然后带动转动块的转动，最后带动冷却扇的转动，可以在电机刚开始运行的时候就有冷却扇的降温，防止电机在运行的过程中温度过高，继而造成泵体的温度过高，继而导致泵体的寿命缩短，同时可以防止烫伤工作人员。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

图3为本实用新型的图1中B处放大结构示意图。

图4为本实用新型的支撑架侧视剖视图。

附图标记为：1、泵体；2、进气管；3、过滤板；4、固定板；5、转动杆；6、卡槽；7、卡块；8、滑槽；9、弹簧；10、滑块；11、弧形板；12、出气管；13、电动推杆；14、密封板；15、转动板；16、隔板；17、支撑板；18、进气扇；19、排气扇；20、支撑架；21、电机；22、第一转动杆；23、第二转动杆；24、第一履带；25、转动块；26、第二履带；27、风扇槽；28、冷却扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-4所示的一种真空镀膜用真空泵，包括泵体1，泵体1的顶部一侧固定设有进气管2，进气管2的内部滑动连接有过滤板3，过滤板3的顶部两侧均固定设有固定板4，两个固定板4相背的一侧均转动连接有转动杆5，进气管2靠近转动杆5的一侧开设有卡槽6，卡槽6的内部滑动连接有卡块7，卡块7与转动杆5固定连接，卡块7的两侧均开设有两个滑槽8，两个滑槽8相对的一侧均固定设有弹簧9，两个弹簧9相对的一侧均固定设有滑块10，滑块10与滑槽8滑动连接，两个滑块10之间固定设有弧形板11，可以防止进气管2被堵塞，同时可以对过滤板3清理。

在一些实施例中，根据图1所示的，泵体1的顶部一侧固定设有出气管12，泵体1的顶部固定设有两个电动推杆13，出气管12的内部和进气管2的内部均滑动连接有密封板14，电动推杆13的移动端与密封板14固定连接，出气管12的顶部转动连接有转动板15，在泵体1不使用时，可以利用电动推杆13对出气管12和转动板15进行堵塞。

在一些实施例中，根据图1所示的，泵体1的内腔顶部固定设有隔板16，隔板16的底部固定设有支撑板17，支撑板17与泵体1固定连接，隔板16的一侧固定设有进气扇18，隔板16的另一侧固定设有排气扇19，进气扇18与进气管2相对应，排气扇19与出气管12相对应，促进泵体1的进气和排气。

在一些实施例中，根据图3所示的，泵体1的一侧固定设有支撑架20，支撑架20的内部固定设有电机21，电机21靠近泵体1的一侧固定设有第一转动杆22，第一转动杆22的一端延伸至泵体1的内部，支撑架20的顶部设有第二转动杆23，第二转动杆23与泵体1转动连接，第二转动杆23与第一转动杆22之间设有第一履带24，支撑架20的一侧转动连接有转动块25，转动块25与第二转动杆23之间设有第二履带26，支撑架20远离泵体1的一侧开设有风扇槽27，风扇槽27的内部转动连接有冷却扇28，冷却扇28与转动块25固定连接，防止电机21的温度过高。

本实用新型工作原理：本实用新型在使用时，在泵体1进行使用时，电动推杆13开始运行，将密封板14从进气管2和出气管12内滑出，然后进气扇18和排气扇19开始运行，继而气体从进气管2内进入，然后气体经过过滤板3的过滤进入到泵体1内，将杂物留在过滤板3上，然后将气体从出气管12内排出，继而带动转动板15的转动，与此同时电机21开始运行，继而带动第一转动杆22的转动，然后带动第一履带24的运动，然后带动第二转动杆23的转动，继而带动第二履带26的运动，然后带动转动块25的转动，最后带动冷却扇28的转动，可以在电机21刚开始运行的时候就有冷却扇28的降温，防止电机21在运行的过程中温度过高，继而造成泵体1的温度过高，继而导致泵体1的寿命缩短，同时可以防止烫伤工作人员；

当泵体1工作完成后，电动推杆13开始运行，带动密封板14将进气管2和出气管12堵住，然后转动转动杆5，将卡块7从卡槽6内拔出，继而对弧形板11造成挤压，然后挤压滑块10，然后对弹簧9造成挤压，然后就可以将卡块7取出，然后将过滤板3从进气管2内拉出，就可以对过滤板3进行更换和清理，方便工作人员对其进行清理，同时可以防止杂物在泵体1使用时进入到泵体1内，还可以防止进气管2的堵塞，不会影响泵体1的使用，可以延长泵体1的使用寿命。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜用真空泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的顶部一侧固定设有进气管(2)，所述进气管(2)的内部滑动连接有过滤板(3)，所述过滤板(3)的顶部两侧均固定设有固定板(4)，两个所述固定板(4)相背的一侧均转动连接有转动杆(5)，所述进气管(2)靠近转动杆(5)的一侧开设有卡槽(6)，所述卡槽(6)的内部滑动连接有卡块(7)，所述卡块(7)与转动杆(5)固定连接，所述卡块(7)的两侧均开设有两个滑槽(8)，两个所述滑槽(8)相对的一侧均固定设有弹簧(9)，两个所述弹簧(9)相对的一侧均固定设有滑块(10)，所述滑块(10)与滑槽(8)滑动连接，两个所述滑块(10)之间固定设有弧形板(11)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述泵体(1)的顶部一侧固定设有出气管(12)，所述泵体(1)的顶部固定设有两个电动推杆(13)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述出气管(12)的内部和进气管(2)的内部均滑动连接有密封板(14)，所述电动推杆(13)的移动端与密封板(14)固定连接，所述出气管(12)的顶部转动连接有转动板(15)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述泵体(1)的内腔顶部固定设有隔板(16)，所述隔板(16)的底部固定设有支撑板(17)，所述支撑板(17)与泵体(1)固定连接，所述隔板(16)的一侧固定设有进气扇(18)，所述隔板(16)的另一侧固定设有排气扇(19)。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述进气扇(18)与进气管(2)相对应，所述排气扇(19)与出气管(12)相对应。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述泵体(1)的一侧固定设有支撑架(20)，所述支撑架(20)的内部固定设有电机(21)，所述电机(21)靠近泵体(1)的一侧固定设有第一转动杆(22)，所述第一转动杆(22)的一端延伸至泵体(1)的内部。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述支撑架(20)的顶部设有第二转动杆(23)，所述第二转动杆(23)与泵体(1)转动连接，所述第二转动杆(23)与第一转动杆(22)之间设有第一履带(24)，所述支撑架(20)的一侧转动连接有转动块(25)，所述转动块(25)与第二转动杆(23)之间设有第二履带(26)。

8.根据权利要求6所述的一种真空镀膜用真空泵，其特征在于：所述支撑架(20)远离泵体(1)的一侧开设有风扇槽(27)，所述风扇槽(27)的内部转动连接有冷却扇(28)，所述冷却扇(28)与转动块(25)固定连接。