CN220941995U - 一种半导体设备零部件的清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备零部件的清洁装置，涉及零部件加工技术领域，包括清洁工作台，所述清洁工作台的顶部设置有高效清洁机构，所述清洁工作台的顶部和底部设置有辅助清洁机构，所述高效清洁机构包括便捷拆装单元和旋转清洁单元，所述辅助清洁机构包括便捷移动单元和降尘处理单元，所述旋转清洁单元包括初始吸尘筒，所述初始吸尘筒的内壁上固定安装有环形支撑网。本实用新型通过驱动电机的设计，可驱动方轴进行旋转，同步带动十字连接件以及毛刷主体进行旋转，由旋转的毛刷主体，可实现对零部件进行自动刷动清洁的功能，避免冲水清洁极易导致零部件损坏的问题，同时可降低水资源的浪费，增加环保性。

Description

一种半导体设备零部件的清洁装置

技术领域

本实用新型涉及零部件加工技术领域，具体涉及一种半导体设备零部件的清洁装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体设备的零部件在生产或维护的过程中需进行清洁处理。

中国专利公开了一种汽车零部件清洁装置，公开号为CN218394946U，该专利文献所公开的技术方案如下：包括工作台，所述工作台顶部安装有传送带，所述传送带上放置有若干盛料箱，所述盛料箱内滑动连接有横板，所述横板与盛料箱内底部之间安装有弹簧。

为了解决人工手动冲洗费时费力的问题，现有技术是采用设计喷水座和干燥箱等结构对零部件进行自动清洁烘干处理的方式进行处理，但是还会出现不能对零部件进行刷动清洁的情况，采用水进行冲洗，极易导致带有电路零部件损坏，且此清洁方式会导致水资源产生大量的浪费，有待改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备零部件的清洁装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种半导体设备零部件的清洁装置，包括清洁工作台，所述清洁工作台的顶部设置有高效清洁机构，所述清洁工作台的顶部和底部设置有辅助清洁机构。

所述高效清洁机构包括便捷拆装单元和旋转清洁单元，所述辅助清洁机构包括便捷移动单元和降尘处理单元。

所述旋转清洁单元包括初始吸尘筒，所述初始吸尘筒的内壁上固定安装有环形支撑网，所述环形支撑网的内壁上固定连接有中心台，所述中心台的顶部固定安装有封闭保护罩，所述中心台的顶部固定安装有位于封闭保护罩内腔中的驱动电机，所述驱动电机的输出轴延伸至中心台的底部且固定连接有方轴，所述方轴的底部拆卸式连接有十字连接件，所述十字连接件的底部固定连接有毛刷主体，驱动电机可带动毛刷主体旋转，实现对零部件进行刷动清洁的功能。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述便捷拆装单元包括支撑弯杆，所述支撑弯杆固定安装在清洁工作台的顶部，所述支撑弯杆远离清洁工作台的一端固定安装有契合连接座，所述契合连接座的内壁上固定安装有磁吸块。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述契合连接座的内壁上活动连接有空心契合筒，所述初始吸尘筒固定连接在空心契合筒的底部，所述空心契合筒的顶部固定连接有空心握持筒，所述空心握持筒的顶部固定连接有吸尘弯管。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述便捷移动单元包括移动轮、定位盘和塑料卡固件，所述移动轮固定安装在清洁工作台的底部，所述定位盘固定安装在清洁工作台的顶部，所述塑料卡固件固定安装在清洁工作台的顶部，所述定位盘的顶部转动连接有旋转台，通过移动轮的设计，便于用户对本结构进行移动。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述旋转台内侧的外壁上转动连接有旋转件，所述旋转件的外壁上固定连接有拉杆，所述拉杆的外壁与塑料卡固件的内壁活动连接，通过拉杆的设计，便于用户对本结构进行拉动处理。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述降尘处理单元包括储水筒，所述储水筒活动连接在清洁工作台的顶部，所述储水筒的顶部固定安装有支撑杆，所述支撑杆远离储水筒的一端固定安装有固定筒，所述固定筒的中部固定连接有筒型吸风机，所述吸尘弯管远离空心握持筒的一端固定连接在固定筒的顶部，筒型吸风机用于对烟雾进行吸收处理。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述固定筒的底部固定连接有下伸软管，所述下伸软管的底部固定连接有网状排气筒，所述网状排气筒的底部与储水筒内壁的底部活动连接，网状排气筒可使得烟雾均匀排放至清水内。

由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：

1、本实用新型提供一种半导体设备零部件的清洁装置，通过驱动电机的设计，可驱动方轴进行旋转，同步带动十字连接件以及毛刷主体进行旋转，由旋转的毛刷主体，可实现对零部件进行自动刷动清洁的功能，避免冲水清洁极易导致零部件损坏的问题，同时可降低水资源的浪费，增加环保性。

2、本实用新型提供一种半导体设备零部件的清洁装置，通过筒型吸风机的设计，可在初始吸尘筒的底部产生负压，对清洁产生的烟雾进行吸收处理，同时由储水筒对清水进行储存处理，烟雾随之从网状排气筒处被均匀导入清水内，即实现降尘的功能，避免清洁产生的烟雾会对空气环境造成严重影响的问题。

3、本实用新型提供一种半导体设备零部件的清洁装置，通过移动轮的设计，使得清洁工作台整体活动连接在地面上，再通过旋转台、旋转件拉杆和塑料卡固件的连接关系设计，便于用户对清洁工作台整体进行拉动处理，使得本结构移动至零部件处，避免对大量零部件进行长距离周转比较费力的问题，提升本结构的便捷性，增加清洁的效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型契合连接座和空心契合筒的分离结构示意图；

图3为本实用新型初始吸尘筒的部分剖开结构示意图；

图4为本实用新型初始吸尘筒的底部结构示意图；

图5为本实用新型定位盘的结构示意图；

图6为本实用新型储水筒的结构示意图。

图中：1、清洁工作台；

2、高效清洁机构；21、支撑弯杆；22、契合连接座；23、磁吸块；24、空心契合筒；25、空心握持筒；26、初始吸尘筒；261、环形支撑网；262、中心台；263、驱动电机；264、封闭保护罩；265、十字连接件；266、毛刷主体；267、方轴；27、吸尘弯管；

3、辅助清洁机构；31、移动轮；32、定位盘；33、旋转台；34、旋转件；35、拉杆；36、塑料卡固件；37、储水筒；38、支撑杆；39、固定筒；391、筒型吸风机；392、下伸软管；393、网状排气筒。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明：

实施例1

如图1-6所示，本实用新型提供了一种半导体设备零部件的清洁装置，包括清洁工作台1，清洁工作台1的顶部设置有高效清洁机构2，清洁工作台1的顶部和底部设置有辅助清洁机构3，高效清洁机构2包括便捷拆装单元和旋转清洁单元，辅助清洁机构3包括便捷移动单元和降尘处理单元，旋转清洁单元包括初始吸尘筒26，初始吸尘筒26的内壁上固定安装有环形支撑网261，环形支撑网261的内壁上固定连接有中心台262，中心台262的顶部固定安装有封闭保护罩264，中心台262的顶部固定安装有位于封闭保护罩264内腔中的驱动电机263，驱动电机263的输出轴延伸至中心台262的底部且固定连接有方轴267，方轴267的底部拆卸式连接有十字连接件265，十字连接件265的底部固定连接有毛刷主体266，控制驱动电机263工作，可带动十字连接件265旋转，进而由旋转的毛刷主体266完成对零部件的清洁处理，封闭保护罩264用于对驱动电机263进行防尘保护，环形支撑网261可对较大的杂质进行阻隔，保障后续筒型吸风机391的安全，通过方轴267和十字连接件265的连接关系设计，便于用户对十字连接件265进行更换处理。

在本实施例中，便捷拆装单元包括支撑弯杆21，支撑弯杆21固定安装在清洁工作台1的顶部，支撑弯杆21远离清洁工作台1的一端固定安装有契合连接座22，契合连接座22的内壁上固定安装有磁吸块23，契合连接座22的内壁上活动连接有空心契合筒24，初始吸尘筒26固定连接在空心契合筒24的底部，空心契合筒24的顶部固定连接有空心握持筒25，空心握持筒25的顶部固定连接有吸尘弯管27，空心契合筒24的材质设置为铁合金，契合连接座22用于对空心契合筒24进行活动限位，磁吸块23用于对空心契合筒24进行磁吸固定，由此设计，用户可对空心契合筒24整体的位置进行移动，便于对难以拆卸的零部件进行清洁处理。

在本实施例中，便捷移动单元包括移动轮31、定位盘32和塑料卡固件36，移动轮31固定安装在清洁工作台1的底部，定位盘32固定安装在清洁工作台1的顶部，塑料卡固件36固定安装在清洁工作台1的顶部，定位盘32的顶部转动连接有旋转台33，旋转台33内侧的外壁上转动连接有旋转件34，旋转件34的外壁上固定连接有拉杆35，拉杆35的外壁与塑料卡固件36的内壁活动连接，降尘处理单元包括储水筒37，储水筒37活动连接在清洁工作台1的顶部，储水筒37的顶部固定安装有支撑杆38，支撑杆38远离储水筒37的一端固定安装有固定筒39，固定筒39的中部固定连接有筒型吸风机391，吸尘弯管27远离空心握持筒25的一端固定连接在固定筒39的顶部，固定筒39的底部固定连接有下伸软管392，下伸软管392的底部固定连接有网状排气筒393，网状排气筒393的底部与储水筒37内壁的底部活动连接，塑料卡固件36可产生弹性形变，对拉杆35进行活动卡固，通过旋转台33、旋转件34拉杆35和塑料卡固件36的连接关系设计，配合移动轮31的设置，用户可拉动拉杆35对清洁工作台1整体进行拉动处理，使得本结构移动至零部件处，便于清洁工作的高效进行，清洁的过程中，控制筒型吸风机391工作在初始吸尘筒26的底部产生负压，对清洁烟雾进行吸收，烟雾随之从网状排气筒393处被均匀导入储水筒37内的清水中，实现降尘的功能，增加环保性。

下面具体说一下该半导体设备零部件的清洁装置的工作原理。

如图1-6所示，首先将零部件移动至清洁工作台1的顶部，控制驱动电机263工作带动十字连接件265旋转，由旋转的毛刷主体266完成对零部件的清洁处理，同时可控制筒型吸风机391工作，从初始吸尘筒26的底部吸收烟尘，并将烟尘导入储水筒37内腔的水中，进行降尘处理。

上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种半导体设备零部件的清洁装置，包括清洁工作台(1)，其特征在于：所述清洁工作台(1)的顶部设置有高效清洁机构(2)，所述清洁工作台(1)的顶部和底部设置有辅助清洁机构(3)；

所述高效清洁机构(2)包括便捷拆装单元和旋转清洁单元，所述辅助清洁机构(3)包括便捷移动单元和降尘处理单元；

所述旋转清洁单元包括初始吸尘筒(26)，所述初始吸尘筒(26)的内壁上固定安装有环形支撑网(261)，所述环形支撑网(261)的内壁上固定连接有中心台(262)，所述中心台(262)的顶部固定安装有封闭保护罩(264)，所述中心台(262)的顶部固定安装有位于封闭保护罩(264)内腔中的驱动电机(263)，所述驱动电机(263)的输出轴延伸至中心台(262)的底部且固定连接有方轴(267)，所述方轴(267)的底部拆卸式连接有十字连接件(265)，所述十字连接件(265)的底部固定连接有毛刷主体(266)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述便捷拆装单元包括支撑弯杆(21)，所述支撑弯杆(21)固定安装在清洁工作台(1)的顶部，所述支撑弯杆(21)远离清洁工作台(1)的一端固定安装有契合连接座(22)，所述契合连接座(22)的内壁上固定安装有磁吸块(23)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述契合连接座(22)的内壁上活动连接有空心契合筒(24)，所述初始吸尘筒(26)固定连接在空心契合筒(24)的底部，所述空心契合筒(24)的顶部固定连接有空心握持筒(25)，所述空心握持筒(25)的顶部固定连接有吸尘弯管(27)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述便捷移动单元包括移动轮(31)、定位盘(32)和塑料卡固件(36)，所述移动轮(31)固定安装在清洁工作台(1)的底部，所述定位盘(32)固定安装在清洁工作台(1)的顶部，所述塑料卡固件(36)固定安装在清洁工作台(1)的顶部，所述定位盘(32)的顶部转动连接有旋转台(33)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述旋转台(33)内侧的外壁上转动连接有旋转件(34)，所述旋转件(34)的外壁上固定连接有拉杆(35)，所述拉杆(35)的外壁与塑料卡固件(36)的内壁活动连接。

6.根据权利要求3所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述降尘处理单元包括储水筒(37)，所述储水筒(37)活动连接在清洁工作台(1)的顶部，所述储水筒(37)的顶部固定安装有支撑杆(38)，所述支撑杆(38)远离储水筒(37)的一端固定安装有固定筒(39)，所述固定筒(39)的中部固定连接有筒型吸风机(391)，所述吸尘弯管(27)远离空心握持筒(25)的一端固定连接在固定筒(39)的顶部。

7.根据权利要求6所述的一种半导体设备零部件的清洁装置，其特征在于：所述固定筒(39)的底部固定连接有下伸软管(392)，所述下伸软管(392)的底部固定连接有网状排气筒(393)，所述网状排气筒(393)的底部与储水筒(37)内壁的底部活动连接。