CN220934008U - 一种用于等离子刻蚀的夹紧装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，涉及光电技术领域，旨在解决方便对硅片夹紧的技术问题。其技术方案要点是：包括下夹板与上夹板，所述下夹板的两侧壁设置有竖直的支杆，所述支杆的开设有贯穿其顶部的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动杆，所述滑动槽的底端与滑动杆的底部之间固定连接有弹簧，两根所述滑动杆的顶部之间固定连接有连接杆，所述下夹板设置于连接杆的底部，所述支杆的侧壁开设有通槽，所述滑动杆的侧壁开设有配合于通槽的定位槽，还包括用于插设于通槽与定位槽内的定位杆。本实用新型的目的在于提供一种用于等离子刻蚀的夹紧装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及光电技术领域，更具体地说，它涉及一种用于等离子刻蚀的夹紧装置。
背景技术
晶圆片是制造半导体芯片的基本材料，在半导体芯片的制造过程中，需要对所述硅片进行刻蚀。为了使等离子刻蚀仅作用于硅片的四周边缘，先将多个硅片重合叠放，分别在最上面和最下面不与其他硅片接触的硅片表面上放置两块环氧树脂板，使所有的硅片只露出硅片的四周边缘，并且通过装置将环氧树脂板进行夹紧，进而使硅片与硅片之间紧密接触，这样在对硅片的四周边缘进行等离子刻蚀的时候才不会对硅片的正反表面造成伤害。
在等离子刻蚀过程中由于受到高温等离子例子的撞击，环氧树脂板的边缘及表面的保护漆会被刻蚀掉，导致环氧树脂边缘不平整，而且内部材质会较容易产生颗粒物。
公告号为CN202067763U的中国专利公告的一种等离子刻蚀用夹紧装置，其技术要点是：包括第一夹具、与第一夹具形状相同的第二夹具、两个连接杆、两个紧固元件，第一夹具和第二夹具的两侧均具有孔洞，两个连接杆的一端分别固定在第一夹具的两个孔洞内，两个连接杆的另一端分别穿过第二夹具的两个孔洞，所述第二夹具通过紧固元件与两个连接杆活动连接，等离子刻蚀用夹紧装置还包括两个表面光滑的石英夹板，石英夹板能放入第一夹具和第二夹具之间，并且两个石英夹板分别与第一夹具和第二夹具紧密接触。
上述技术方案提供的等离子刻蚀用夹紧装置中的石英板在长期使用过程中，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损，更不会产生石英颗粒，但是在实际使用过程，需要将第二夹具抬起并取下，再将硅片放置堆叠完成后，在需要将其放置于两根连接杆上，最后还需要拧紧螺母，以起到夹紧作用，操作较为复杂。
因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于等离子刻蚀的夹紧装置。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，包括下夹板与上夹板，所述下夹板的两侧壁设置有竖直的支杆，所述支杆的开设有贯穿其顶部的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动杆，所述滑动槽的底端与滑动杆的底部之间固定连接有弹簧，两根所述滑动杆的顶部之间固定连接有连接杆，所述下夹板设置于连接杆的底部，所述支杆的侧壁开设有通槽，所述滑动杆的侧壁开设有配合于通槽的定位槽，还包括用于插设于通槽与定位槽内的定位杆。
通过采用上述技术方案，在进行刻蚀工作前，将上夹板抬起，并将定位杆插入到通槽与定位槽内，以便将需要进行刻蚀的硅片堆叠并放置于下夹板表面，下夹板与上夹板相对的表面设置有石英板，石英板的表面光滑平整，保证对硅片的夹紧的稳定性，连接杆的表面设置有提拉把手，通过提拉把手将该装置放入到刻蚀机内后，再将定位杆拔出，在弹簧拉力作用下，使得上夹板2抵紧于最上方硅片的表面，以对硅片起到夹紧作用。
通过采用上述技术方案，在进行刻蚀工作前，将上夹板抬起，并将定位杆插入到通槽与定位槽内，以便将需要进行刻蚀的硅片堆叠并放置于下夹板表面，下夹板与上夹板相对的表面设置有石英板，石英板的表面光滑平整，保证对硅片的夹紧的稳定性，连接杆的表面设置有提拉把手，通过提拉把手将该装置放入到刻蚀机内后，再将定位杆拔出，在弹簧拉力作用下，使得上夹板抵紧于最上方硅片的表面，以对硅片起到夹紧作用。
本实用新型进一步设置为：所述支杆的底部转动连接于下夹板的侧壁，所述下夹板的两侧壁设置有穿设并转动连接于支杆的转动轴。
本实用新型进一步设置为：所述上夹板可拆卸连接于连接杆。
本实用新型进一步设置为：所述上夹板的顶部两侧均设置有T型块，所述连接杆的底部开设有供T型块插设的T型槽，所述连接杆与下夹板之间还设置有定位件。
本实用新型进一步设置为：所述定位件为设置于连接杆的表面对应于T型块的螺栓，所述T型块的表面开设有供螺栓螺纹连接的螺纹孔。
本实用新型进一步设置为：所述连接杆的表面设置有提拉把手。
本实用新型具有以下有益效果：在进行刻蚀工作前，将上夹板抬起，并将定位杆插入到通槽与定位槽内，以便将需要进行刻蚀的硅片堆叠并放置于下夹板表面，下夹板与上夹板相对的表面设置有石英板，石英板的表面光滑平整，保证对硅片的夹紧的稳定性，连接杆的表面设置有提拉把手，通过提拉把手将该装置放入到刻蚀机内后，再将定位杆拔出，在弹簧拉力作用下，使得上夹板抵紧于最上方硅片的表面，以对硅片起到夹紧作用。
附图说明
图1为本实施例的立体结构示意图；
图2为本实施例的剖面结构示意图；
图3为本实施例的爆炸结构示意图。
附图说明：1、下夹板；2、上夹板；3、支杆；4、滑动槽；5、滑动杆；6、弹簧；7、连接杆；8、通槽；9、定位槽；10、定位杆；11、石英板；12、提拉把手；13、转动轴；14、T型块；15、T型槽；16、定位件。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
如图所示，一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，包括下夹板1与上夹板2，下夹板1的两侧壁设置有竖直的支杆3，支杆3开设有贯穿其顶部的滑动槽4，滑动槽4内滑动连接有滑动杆5，滑动槽4的底端与滑动杆5的底部之间固定连接有弹簧6，两根滑动杆5的顶部之间固定连接有连接杆7，下夹板1设置于连接杆7的底部，支杆3的侧壁开设有通槽8，滑动杆5的侧壁开设有配合于通槽8的定位槽9，还包括用于插设于通槽8与定位槽9内的定位杆10。
在进行刻蚀工作前，将上夹板2抬起，并将定位杆10插入到通槽8与定位槽9内，以便将需要进行刻蚀的硅片堆叠并放置于下夹板1表面，下夹板1与上夹板2相对的表面设置有石英板11，石英板11的表面光滑平整，保证对硅片的夹紧的稳定性，连接杆7的表面设置有提拉把手12，通过提拉把手12将该装置放入到刻蚀机内后，再将定位杆10拔出，在弹簧6拉力作用下，使得上夹板2抵紧于最上方硅片的表面，以对硅片起到夹紧作用。
支杆3的底部转动连接于下夹板1的侧壁，下夹板1的两侧壁设置有穿设并转动连接于支杆3的转动轴13，上夹板2可拆卸连接于连接杆7。在对该装置进行存储运输时，将上夹板2从连接杆7上进行拆卸，并通过将两根支杆3进行转动，将其转动到水平位置，便能减小其占地空间，便于进行运输存储。
上夹板2的顶部两侧均设置有T型块14，连接杆7的底部开设有供T型块14插设的T型槽15，连接杆7与下夹板1之间还设置有定位件16。定位件为设置于连接杆7的表面对应于T型块14的螺，T型块14的表面开设有供螺栓螺纹连接的螺纹孔，通过T型槽15与T型块14便于对上夹板2与连接杆7进行安装，通过螺栓以提升其安装后的稳定性。
具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (6)
1.一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：包括下夹板与上夹板，所述下夹板的两侧壁设置有竖直的支杆，所述支杆的开设有贯穿其顶部的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动杆，所述滑动槽的底端与滑动杆的底部之间固定连接有弹簧，两根所述滑动杆的顶部之间固定连接有连接杆，所述下夹板设置于连接杆的底部，所述支杆的侧壁开设有通槽，所述滑动杆的侧壁开设有配合于通槽的定位槽，还包括用于插设于通槽与定位槽内的定位杆。
2.根据权利要求1所述的一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：所述支杆的底部转动连接于下夹板的侧壁，所述下夹板的两侧壁设置有穿设并转动连接于支杆的转动轴。
3.根据权利要求2所述的一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：所述上夹板可拆卸连接于连接杆。
4.根据权利要求3所述的一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：所述上夹板的顶部两侧均设置有T型块，所述连接杆的底部开设有供T型块插设的T型槽，所述连接杆与下夹板之间还设置有定位件。
5.根据权利要求4所述的一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：所述定位件为设置于连接杆的表面对应于T型块的螺栓，所述T型块的表面开设有供螺栓螺纹连接的螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，其特征在于：所述连接杆的表面设置有提拉把手。
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