CN220914606U - 用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备，包括：真空电极，真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；绝缘支撑组件，绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；金属接线组件，设置在绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入接线槽的真空电极的电连接。本实用新型提出的接线结构通过在腔室盖体安装密封法兰进行密封，确保腔室的密封效果，同时过将绝缘组件作为支撑结构设置在腔体上盖内侧与腔体上盖固定连接，同时绝缘组件将金属接线部分与真空电极伸入腔室内的部分包覆，能够保证金属接线部分与真空电极的力学强度，同时通过绝缘组件实现绝缘效果。

Description

用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏制造技术领域，特别是涉及一种真空加热接线结构及真空干燥镀膜设备。

背景技术

在太阳能光伏玻璃生产中，需要对经过烘干、预热镀膜后带有镀膜液的玻璃片进行再次烘干以及镀膜液固化，使镀膜液在玻璃片上从液体变成固体。太阳能光伏玻璃主要是由低铁玻璃、背面玻璃、太阳能电池片、胶片、金属导线组成，是将太阳能电池片通过胶片密封在低铁玻璃和背面玻璃之间。为了提高太阳能光伏玻璃的透光率和降低反射率，确保更多的光线透过，产生更多的电能，需要对太阳能光伏玻璃进行镀膜工艺，且镀膜效果直接影响着太阳能光伏玻璃的品质。常用的固化镀膜方式有加热装置对外放热对玻璃片进行烘干，市面上现有结构，绝缘结构存在缺陷，金属支撑结构，有放电风险。非金属支撑结构，结构容易损坏，损害腔室以及影响镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中直接采用金属支撑结构在真空腔室中有放电风险的技术问题，提出一种用于真空加热腔室的接线结构及真空干燥镀膜设备。

本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提出了一种用于真空加热腔室的接线结构，包括：

多个真空电极，所述真空电极安装在腔室盖体上，并穿过所述腔室盖体伸入腔室内，所述真空电极位于腔室盖体外侧的部分用于连接外部电源，且所述真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；

绝缘支撑组件，设置在所述腔室盖体内侧与所述真空电极一一对应，所述绝缘支撑组件内设有接线槽，所述绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，所述真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；

金属接线组件，设置在所述绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入所述接线槽的真空电极的电连接，加热装置的端部插入所述插口与金属接线组件电连接。

绝缘支撑组件包括：并排设置在所述腔室盖体内侧的第一陶瓷板和第二陶瓷板；所述第一陶瓷板正对所述第二陶瓷板的侧面设有第一槽体，背对所述第二陶瓷板的侧面设有多个所述插口；所述第二陶瓷板盖住所述第一槽体，且正对所述第一陶瓷板的侧面设有贯通至顶面的第二槽体，所述真空电极位于腔体内侧的部分从所述第二槽体的顶部插入所述第二槽体内。

进一步的，绝缘支撑组件还包括：连接所述腔室盖体的陶瓷固定板，所述第一陶瓷板和第二陶瓷板固定在所述陶瓷固定板下方。

金属接线组件包括：安装在所述第二槽体内连接所述真空电极的导电片，安装在所述第一槽体内与所述导电片电连接的导电板，所述导电板正对每个所述插口设有一个导电插槽；安装在所述第一陶瓷板上对应每个导电插槽的导电顶丝，所述导电顶丝可旋入所述插槽，顶紧经插口插入所述导电插槽的加热装置的接线端子。

进一步的，所述腔室盖体的内侧面与加热装置安装位置之间间隔设置有多层间隔的隔热板。

进一步的，所述密封件为安装在所述腔室盖体外侧的密封法兰。

进一步的，所述真空电极成对设置，每一对所述真空电极间隔设置在所述腔室盖体靠近两侧的位置，对应每一对所述真空电极的绝缘支撑组件之间安装加热装置。

进一步的，还包括：安装在所述腔室盖体内侧支撑加热装置的多块支撑板，所述支撑板靠近所述绝缘支撑组件设置。

进一步的，所述腔室盖体的外侧还安装有罩住所述真空电极的防护罩。

本实用新型还提出一种真空干燥镀膜设备，包括：腔体和盖装在腔体上的腔室盖体，以及安装在腔室盖体上的上述接线结构。

与现有技术比较，本实用新型具有如下优势：

1.将用于接线的金属接线结构与绝缘支撑结构做成分体式设计，将绝缘支撑结构安装在腔体上盖内侧，将金属接线结构设置在绝缘支撑结构内，使与腔室盖体接触的为绝缘材质，与加热管接触的为金属材质，即保证金属的力学强度，又实现陶瓷的绝缘性能。

2.在真空腔室内通过绝缘支撑结构包覆金属接线结构，通电能够避免引线端子出现拉电弧现象与短路、降低对腔室的损害以及提高镀膜质量。

3.采用支撑板来支撑加热管，同时采用导电顶丝固定加热管端部的接线端子，方便加热装置的拆卸安装，以及导电接触质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中腔室结构示意图；

图2为本实用新型实施例中腔室盖体的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例中腔室盖体的正视图；

图4为本实用新型实施例中腔室盖体的侧视图；

图5为图3的A-A截面图；

图6为图3的B的局部放大图；

图7为图5的C的局部放大图；

图8为本实用新型实施例中第二陶瓷板的结构示意图；

1、腔体；2、加工件；3、载板；

4、腔室盖体；402、第一隔热板；403、第二隔热板；

5、绝缘支撑组件；

501、防护罩；502、真空电极；503、密封法兰；504、法兰；505、陶瓷固定板；506、导电片；507、导电顶丝；508、第一陶瓷板；509、导电板；510、第二陶瓷板；511、支撑板；5101、第二槽体；5081、第一槽体；

6、加热装置；61、加热管；62、接线端子。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。

为了提高太阳能光伏玻璃的透光率和降低反射率，确保更多的光线透过，产生更多的电能，需要对太阳能光伏玻璃进行镀膜工艺，且镀膜效果直接影响着太阳能光伏玻璃的品质。常用的固化镀膜方式有加热装置对外放热对玻璃片进行烘干；市面上现有结构，加热装置不便于拆装，无法独立拆装。绝缘结构存在缺陷，金属支撑结构，有放电风险。非金属支撑结构，结构容易损坏，损害腔室以及影响镀膜质量。对此，本实用新型提出了一种用于真空加热腔室的接线结构以及真空干燥镀膜设备，该接线结构通过在腔室盖体上安装密封法兰密封真空电极与腔室盖体之间的间隙，确保腔室的密封效果，同时过将绝缘组件设置在腔体上盖内侧与腔体上盖固定连接，同时绝缘组件将金属接线部分与真空电极伸入腔室内的部分包覆，能够保证金属接线部分与真空电极的力学强度，同时通过绝缘组件实现绝缘效果。

如图1至3所示，本实用新型提出了一种用于真空加热腔体的接线结构，真空加热腔体1的上部设置腔室盖体4，腔室盖体4安装在腔体1上使腔体密封使腔体内可抽真空形成真空腔室，即具备真空加热的条件。接线结构安装在腔室盖体4上。接线结构具体包括：真空电极502、绝缘支撑组件5和金属接线组件。腔室盖体4上设置有多对真空电极502，每一对真空电极502可以电连接多个加热装置6，真空电极502安装在腔室盖体4上，并穿过腔室盖体4上的电极孔插入腔体1内，且真空电极502与腔室盖体4之间通过密封件密封。其中，真空电极502位于腔室盖体4外侧(腔室盖体4的上方位于腔体1外为外侧，下方位于腔体1内为内侧)的部分用于连接外部电源，插入腔室盖体4内的部分用于连接金属接线组件。绝缘支撑组件5与腔室盖体4的内侧固定连接，并与真空电极502一一对应，即一个绝缘支撑组件5对应一个真空电极502设置，绝缘支撑组件5内设有接线槽，正对同一对中另一个绝缘支撑组件5的侧面设有多个连通接线槽的插口，且接线槽通至绝缘支撑组件5与腔室盖体4的贴合面，将绝缘支撑组件5安装在腔室盖体4上时真空电极502从绝缘支撑组件5与腔室盖体4的贴合面插入所述接线槽内。金属接线组件设置在绝缘支撑组件5的接线槽内，并与插入接线槽的真空电极502电连接，金属接线组件设置有多个对应插口的导电插槽，加热装置6端部的接线端子62插入插口并插入金属接线组件的导电插槽中，使加热装置6的接线端子62与金属接线组件电连接。

在具体的实施例中，如图3、8所示，绝缘支撑组件5具体包括：第一陶瓷板508与第二陶瓷板510，第一陶瓷板508与第二陶瓷板510并排设置在腔室盖体4的内侧，即设置在腔室盖体4的下方。其中，如图所示，第一陶瓷板508正对第二陶瓷板510的右侧面设置有第一槽体5081，背对第二陶瓷板510的左侧面设有多个插口，插口与第一槽体5081连通，可以从插口插入第一槽体5081中，第一槽体5081具体为横向的长方形槽体。第二陶瓷板510并排设置在第一陶瓷板508的右侧与第一陶瓷板508贴合，将第一槽体5081盖住，且第二槽体5101正对第一陶瓷板508的左侧面设有贯通至顶面(即与腔室盖体4的贴合面)的第二槽体5101，将绝缘支撑组件5安装在腔室盖体4的内侧时，先安装第一陶瓷板508，再安装第二陶瓷板510将真空电极502包在第二槽体5101内，避免真空电极502直接裸露在腔体的真空腔室内。

在进一步的实施例中，绝缘支撑组件5还包括陶瓷固定板505，陶瓷固定板505与腔室盖体4直接连接，安装在腔室盖体4的内侧，第一陶瓷板508与第二陶瓷板510安装在陶瓷固定板505的下方，通过陶瓷固定板505来连接腔室盖体4与两块陶瓷板，同时陶瓷固定板505上也预留有用于穿过真空电极502的预留孔。

优选地，陶瓷固定板505、两块陶瓷板以及腔室盖体4之间具体通过螺钉连接。连接孔位不具体赘述，只要能够形成可拆卸的固定连接关系即可。

如图5、7、8所示，金属接线组件包括：导电片506、导电板509以及导电顶丝507。导电板509为长方形且具有一定厚度，安装在第一陶瓷板508的第一槽体5081内，导电板509上设有与第一陶瓷板508插口数量以及位置对应的导电插槽，安装第二陶瓷板510盖住第一槽体5081使导电片506的位置固定。导电片506位于第二槽体5101内。导电片506呈倒L形，上部的横向导电片506被夹在真空电极502底部的两个螺母之间固定，下部的竖向导电片506通过螺钉与导电板509连接固定，使真空电极502与导电板509电连接。第一陶瓷板508的底部设置有多个通孔，每个通孔对应一个导电插槽，同时导电板509的底部设有正对通孔并连通导电插槽的螺孔，导电顶丝507从第一陶瓷板508的底部安装，从螺孔拧入导电插槽内将插入导电插槽的接线端子62顶紧，使接线端子62与导电插槽的内壁紧密接触，确保电连接性能。因为导电板509外部被两块陶瓷板隔绝且只能从插孔插入连接，避免加热装置6的接线端子62相互之间出现拉电弧现象。

需要拆卸加热装置6时，只需要拧松导电顶丝507即可将加热装置6的两端从绝缘支撑组件5的插口中拔出拆卸。

具体的，插孔为竖向的腰型孔(图中未示出)，导电插槽分为上下连通的两个通槽，下部的通槽呈圆形，内壁可顶入导电顶丝507，上部的通槽为方形，加热装置6的接线端子62插入导电插槽后，拧动导电顶丝507可以将接线端子62顶紧在导电插槽上部的方形通槽中。

如图3、6所示，在具体的实施例中，腔室盖体4的内侧，位于一对绝缘支撑组件5之间的位置设有支撑板511，具体是对应每块绝缘支撑组件5设置一块靠近该绝缘支撑组件5的支撑板511，支撑板511上设有穿过加热装置6的预留孔或者横槽，使加热装置6靠近两端的位置通过支撑板511支撑。

如图1所示，在具体的实施例中，腔室盖体4的内侧还设有多层隔热板，具体可以是两层间隔且平行的第一隔热板402与第二隔热板403，第一隔热板402与第二隔热板403位于腔室盖体4内侧面与加热装置6之间。第一隔热板402靠近加热装置6，为光滑面，能够反射热量，提高升温速率；第二隔热板403为粗糙面，防止高温损坏腔室盖体4与腔体1。

在具体的实施例中，密封件为安装在腔室盖体4外侧的密封法兰503，密封法兰503套在真空电极502上，同时真空电极502上还套有密封圈，密封法兰503与腔室盖体4通过螺钉固定连接时挤压密封圈，使真空电极502与腔室盖体4之间的间隙通过变形的密封圈密封，以保证腔体1内的真空环境。

在具体的实施例中，腔室盖体4的外侧还安装有罩住真空电极502的防护罩501，防护罩501通过法兰504固定在腔室盖体4上，防护罩501对应每个真空电极502设置，起到保护真空电极502的作用，避免真空电极502直接裸露。

在具体的实施例中，每个绝缘支撑组件5上的插口数量为3的倍数，即每一对绝缘支撑组件5之间安装的加热装置6为3的倍数，例如图4、5中展示的3根或者6根，以确保供电稳定。

在具体的实施例中，加热装置6为红外灯管，具体包括加热管61和设置在加热管61两端的接线端子62，用于电连接接线组件。

本实用新型还提出了一种真空干燥镀膜设备，具体包括腔体1、安装在腔体1上方的腔室盖体4，以及设置在腔室盖体4上的接线结构。腔体1为真空加热腔体1，内部位于加热装置6下方的载板3上放置待干燥镀膜的加工件2(玻璃片)。通过采用上述接线结构与排列方式能够降低输出电压，避免拉电弧现象与短路、降低对腔体1的损害以及提高镀膜质量。

需要注意的是，上述所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，包括：

多个真空电极，所述真空电极安装在腔室盖体上，并穿过所述腔室盖体伸入腔室内，所述真空电极位于腔室盖体外侧的部分用于连接外部电源，且所述真空电极与所述腔室盖体之间通过密封件密封；

绝缘支撑组件，设置在所述腔室盖体内侧与所述真空电极一一对应，所述绝缘支撑组件内设有接线槽，所述绝缘支撑组件的侧面设有多个连通接线槽的插口，所述真空电极从绝缘支撑组件与腔室盖体的贴合面插入所述接线槽内；

金属接线组件，设置在所述绝缘支撑组件的接线槽内，并与插入所述接线槽的真空电极的电连接，加热装置的端部插入所述插口与金属接线组件电连接。

2.如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述绝缘支撑组件包括：并排设置在所述腔室盖体内侧的第一陶瓷板和第二陶瓷板；所述第一陶瓷板正对所述第二陶瓷板的侧面设有第一槽体，背对所述第二陶瓷板的侧面设有多个所述插口；所述第二陶瓷板盖住所述第一槽体，且正对所述第一陶瓷板的侧面设有贯通至顶面的第二槽体，所述真空电极位于腔体内侧的部分从所述第二槽体的顶部插入所述第二槽体内。

3.如权利要求2所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述绝缘支撑组件还包括：连接所述腔室盖体的陶瓷固定板，所述第一陶瓷板和第二陶瓷板固定在所述陶瓷固定板下方。

4.如权利要求2所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述金属接线组件包括：安装在所述第二槽体内连接所述真空电极的导电片，安装在所述第一槽体内与所述导电片电连接的导电板，所述导电板正对每个所述插口设有一个导电插槽；安装在所述第一陶瓷板上对应每个导电插槽的导电顶丝，所述导电顶丝可旋入所述插槽，顶紧经插口插入所述导电插槽的加热装置的接线端子。

5.如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述腔室盖体的内侧面与加热装置安装位置之间间隔设置有多层间隔的隔热板。

6.如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述密封件为安装在所述腔室盖体外侧的密封法兰。

7.如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述真空电极成对设置，每一对所述真空电极间隔设置在所述腔室盖体靠近两侧的位置，对应每一对所述真空电极的绝缘支撑组件之间安装加热装置。

8.如权利要求7所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，还包括：安装在所述腔室盖体内侧支撑加热装置的多块支撑板，所述支撑板靠近所述绝缘支撑组件设置。

9.如权利要求1所述的用于真空加热腔室的接线结构，其特征在于，所述腔室盖体的外侧还安装有罩住所述真空电极的防护罩。

10.一种真空干燥镀膜设备，包括：腔体和盖装在腔体上的腔室盖体，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的接线结构。