CN220907708U - 一种通孔电镀挂具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种通孔电镀挂具，包括底板，所述底板一侧设有两组对称的阴极挂钩板，所述底板远离阴极挂钩板一侧开设有安装槽，所述安装槽外周设有盖板，所述盖板内部设有两组对称的导电片，所述导电片一侧设有导电固定环，两组所述导电固定环之间设有相向交错设置的两组螺栓接线，所述安装槽内侧卡接有晶圆。本实用新型通过底板、盖板、导电片、导电固定环以及螺栓接线的设置，盖板可以固定晶圆及密封电镀导电片使得电镀导电内部不会进入电镀液，盖板内部钛框架结构可以防止盖板变形，盖板外部包胶结构能够起到很好的密封效果，且不易脱落，盖板在晶圆表面占用宽度较小，能够减小电镀时晶圆压边尺寸，让晶圆使用面积得到保证。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀技术领域，具体是一种通孔电镀挂具。
背景技术
电镀是一种在金属表面形成均匀、致密且具有良好外观的金属涂层的过程，通过将金属物品浸泡在含有金属离子的溶液中，并应用电流将金属离子沉积在物体的表面上形成一层金属涂层。
现有的通孔电镀挂具在电镀过程中容易造成电镀导电内部会进入电镀液，这可能会导致内部材料与电镀层之间的粘结不良，使内部结构失去稳定性，影响挂具的强度和持久性,且电镀液通常包含酸性或碱性成分，这些成分可能会对挂具内部的材料产生腐蚀作用，导致材料的损坏或变形，同时盖板对晶圆夹持的过程中容易导致电镀时晶圆压边尺寸过大，无法保证晶圆使用面积，影响电镀效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：为了解决现有的通孔电镀挂具在电镀过程中容易造成电镀导电内部会进入电镀液的问题，提供一种通孔电镀挂具。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种通孔电镀挂具，包括：底板，所述底板一侧设有两组对称的阴极挂钩板，所述底板远离阴极挂钩板一侧开设有安装槽，所述安装槽外周设有盖板，所述盖板内部设有两组对称的导电片，所述导电片一侧设有导电固定环，两组所述导电固定环之间设有相向交错设置的两组螺栓接线，所述安装槽内侧卡接有晶圆。
在本实用新型的一个实施例中，所述盖板内部为钛框架结构，所述盖板外部为包胶结构。
在本实用新型的一个实施例中，所述导电片表面开设有多组连接口，所述导电片内侧围绕设有多组对称的导电触手。
在本实用新型的一个实施例中，所述导电片采用0.15mm不锈钢316材质。
在本实用新型的一个实施例中，所述盖板与底板通过固定销固定连接。
在本实用新型的一个实施例中，所述底板内侧开设有通槽。
在本实用新型的一个实施例中，相邻所述阴极挂钩板之间设有凹槽，所述凹槽贯穿通槽。
在本实用新型的一个实施例中，所述阴极挂钩板与导电片通过设置于凹槽以及通槽内的挂具电镀导电线电性连接。
在本实用新型的一个实施例中，所述导电片与导电固定环卡接。
在本实用新型的一个实施例中，所述导电片通过导电触手与晶圆卡接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过底板、盖板、导电片、导电固定环以及螺栓接线的设置，盖板可以固定晶圆及密封电镀导电片使得电镀导电内部不会进入电镀液，盖板内部钛框架结构可以防止盖板变形，盖板外部包胶结构能够起到很好的密封效果，且不易脱落，盖板在晶圆表面占用宽度较小，能够减小电镀时晶圆压边尺寸，让晶圆使用面积得到保证。
附图说明
图1是本实用新型所述一种通孔电镀挂具的整体结构示意图；
图2是本实用新型所述一种通孔电镀挂具的剖面立体图；
图3是本实用新型所述一种通孔电镀挂具的导电片立体图；
图4是本实用新型所述一种通孔电镀挂具的图2中A处放大图。
图中：101、底板；102、阴极挂钩板；103、安装槽；104、盖板；105、导电片；106、导电固定环；107、螺栓接线；108、晶圆；301、连接口；302、导电触手；501、固定销；601、通槽；701、凹槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
参照图1-4，本实用新型实施例中，一种通孔电镀挂具，包括：底板101，底板101一侧设有两组对称的阴极挂钩板102，底板101远离阴极挂钩板102一侧开设有安装槽103，安装槽103外周设有盖板104，盖板104内部设有两组对称的导电片105，导电片105一侧设有导电固定环106，两组导电固定环106之间设有相向交错设置的两组螺栓接线107，所述安装槽103内侧卡接有晶圆108。
参照图1-4，盖板104内部为钛框架结构，盖板104外部为包胶结构，盖板104内部钛框架结构可以防止盖板104变形，盖板104外部包胶结构能够起到很好的密封效果，且不易脱落。
参照图1-4，导电片105表面开设有多组连接口301，导电片105内侧围绕设有多组对称的导电触手302，导电片105采用0.15mm不锈钢316材质，导电片105采用0.15mm不锈钢316材质，且做出一圈导电触手302，能够做到很好的压缩回弹动作，在确保能够给晶圆108均匀导电的同时不损坏晶圆108表面。
参照图1-4，盖板104与底板101通过固定销501固定连接，可以使盖板104与底板101固定连接，同时便于拆卸，便于后期维修。
参照图1-4，底板101内侧开设有通槽601，相邻阴极挂钩板102之间设有凹槽701，凹槽701贯穿通槽601，可以通过在凹槽701和通槽601内设置导电线可以使螺栓接线107与阴极挂钩板102电性连接，能够使电镀流程完成。
本实用新型的工作原理是：盖板104可以固定晶圆108及密封电镀导电片105使得电镀导电内部不会进入电镀液，盖板104内部钛框架结构可以防止盖板104变形，盖板104外部包胶结构能够起到很好的密封效果，且不易脱落，盖板104在晶圆108表面占用宽度较小，能够减小电镀时晶圆108压边尺寸，让晶圆108使用面积得到保证，导电片105采用0.15mm不锈钢316材质，且做出一圈导电触手302，能够做到很好的压缩回弹动作，在确保能够给晶圆108均匀导电的同时不损坏晶圆108表面。
以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种通孔电镀挂具，包括：底板(101)，其特征在于，所述底板(101)一侧设有两组对称的阴极挂钩板(102)，所述底板(101)远离阴极挂钩板(102)一侧开设有安装槽(103)，所述安装槽(103)外周设有盖板(104)，所述盖板(104)内部设有两组对称的导电片(105)，所述导电片(105)一侧设有导电固定环(106)，两组所述导电固定环(106)之间设有相向交错设置的两组螺栓接线(107)，所述安装槽(103)内侧卡接有晶圆(108)。
2.根据权利要求1所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述盖板(104)内部为钛框架结构，所述盖板(104)外部为包胶结构。
3.根据权利要求2所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述导电片(105)表面开设有多组连接口(301)，所述导电片(105)内侧围绕设有多组对称的导电触手(302)。
4.根据权利要求3所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述导电片(105)采用0.15mm不锈钢316材质。
5.根据权利要求4所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述盖板(104)与底板(101)通过固定销(501)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述底板(101)内侧开设有通槽(601)。
7.根据权利要求6所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，相邻所述阴极挂钩板(102)之间设有凹槽(701)，所述凹槽(701)贯穿通槽(601)。
8.根据权利要求7所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述阴极挂钩板(102)与导电片(105)通过设置于凹槽(701)以及通槽(601)内的挂具电镀导电线电性连接。
9.根据权利要求8所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述导电片(105)与导电固定环(106)卡接。
10.根据权利要求9所述的一种通孔电镀挂具，其特征在于，所述导电片(105)通过导电触手(302)与晶圆(108)卡接。
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