CN220881664U - 一种晶圆片的研磨抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆片的研磨抛光装置，属于晶圆片技术领域，所要解决的技术问题是提供一种晶圆片的研磨抛光装置，采用的方案为：晶圆片的研磨抛光装置包括抛光台、固定架、电动推杆和加工原料，抛光台内部安装有传动装置，且传动装置滑动部分和加工原料侧面接触，抛光台内部中心位置安装有伸缩装置，电动推杆移动端固定安装有打磨设备，本实用新型的晶圆片的研磨抛光装置通过安装传动装置、伸缩装置和打磨设备，能够通过调节加工原料高度的方式，控制加工原料的打磨厚度，同时，将抛光完成的加工原料从抛光台内部顶出，方便快速取出加工原料的优点，本实用应用于晶圆片技术领域。

Description

一种晶圆片的研磨抛光装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片的研磨抛光装置。

背景技术

晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化，融解，蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片。

在晶圆片的整个生产加工过程中，需要对晶圆片原料表面的毛刺和不平整的地方进行研磨抛光加工，现有的抛光方式是，先将通过机械臂夹持晶圆片原料放置在加工台内部，再通过加工台夹持牢固，再控制研磨设备移动到晶圆片原料的上方进行抛光，在现有的整个抛光过程中，需要控制研磨设备的高度来达到调节抛光厚度的效果，当晶圆片原料厚度偏薄时，晶圆片原料紧贴加工台水平表面，控制研磨设备移动过程中，很容易触碰到加工台表面，对研磨设备和加工台表面造成损坏，甚至损坏晶圆片原料，降低了晶圆片的研磨抛光的效率，同时，现有的晶圆片的研磨抛光方法不方便快速取出加工台内部抛光完成的晶圆片原料，降低了晶圆片的研磨抛光设备的实用性。

因此，有必要提供一种晶圆片的研磨抛光装置新的解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型是提供一种晶圆片的研磨抛光装置。

本实用新型提供的一种晶圆片的研磨抛光装置包括：抛光台、固定架、电动推杆和加工原料，所述抛光台周围设置有固定架，所述固定架内壁固定连接有电动推杆，所述抛光台内壁放置有加工原料，且加工原料位于电动推杆下方，所述抛光台内部安装有传动装置，且传动装置滑动部分和加工原料侧面接触，所述抛光台内部中心位置安装有伸缩装置，且伸缩装置顶部和加工原料底部接触，所述电动推杆移动端固定安装有打磨设备，将加工原料放置在抛光台内壁，启动传动装置，将加工原料夹持牢固，电动推杆控制打磨设备靠近加工原料上表面，进行抛光加工，伸缩装置将加工原料向上移动，调节抛光厚度，固定架对打磨设备进行稳定支撑。

优选的，所述传动装置包括第一电机、第一丝杆、第二丝杆、传动杆、传动带和夹持块，所述抛光台内部固定安装有第一电机，所述抛光台内部对称转动连接有第一丝杆和第二丝杆，所述抛光台内壁转动连接有传动杆，且传动杆位于第一丝杆和第二丝杆一侧，所述第一丝杆和第二丝杆与传动杆表面套设有传动带，所述抛光台内壁对称滑动连接有夹持块，且夹持块内部与第一丝杆和第二丝杆表面啮合连接，启动第一电机，第一电机输出轴锥齿轮配合第一丝杆一侧锥齿轮，带动第一丝杆在抛光台内壁转动，传动带带动传动杆转动，带动第二丝杆朝着第一丝杆的转动方向旋转，将夹持块靠近加工原料，夹持块圆弧部分紧贴加工原料侧面，将加工原料夹持牢固。

优选的，所述伸缩装置包括第二电机、转动管、伸缩杆、弧形槽、连动块和圆形板，所述抛光台内部固定安装有第二电机，所述抛光台内部中心位置转动连接有转动管，所述转动管内部安装有伸缩杆，所述转动管表面开设有弧形槽，所述伸缩杆表面固定连接有连动块，且连动块在弧形槽内部滑动，所述伸缩杆顶部固定连接有圆形板，且圆形板上表面和加工原料下表面接触，传动装置先将加工原料松开，启动第二电机，第二电机输出轴平齿轮配合转动管底部平齿轮，带动转动管在抛光台内部中心位置转动，连动块沿着弧形槽内壁滑动，将伸缩杆移出转动管内部，伸缩杆控制圆形板向上移动，将加工原料向上移动，移动到指定高度时，再启动传动装置将加工原料夹紧，通过调节加工原料的高度，调节抛光厚度，同时，方便将加工原料顶出抛光台内部。

优选的，所述第一电机输出轴和第一丝杆一侧通过锥齿轮啮合连接，所述第二电机输出轴和转动管底部通过平齿轮啮合连接，将第一电机和第二电机输出轴的转动圈数转化为第一丝杆和转动管的旋转数，保证传动稳定。

优选的，所述打磨设备包括防护壳、第三电机、研磨轮、连接座和连接块，所述电动推杆移动端固定连接有防护壳，所述防护壳内部固定安装有第三电机，所述防护壳下方设置有研磨轮，所述第三电机输出轴固定连接有连接座，所述研磨轮上表面对称固定连接有连接块，所述连接座和连接块表面对称开设有圆形的安装孔，且安装孔直径相同，将研磨轮靠近防护壳，连接座和连接块的安装孔位置对齐，螺栓穿过安装孔，将研磨轮和连接座连接牢固，启动第三电机，第三电机输出轴带动连接座转动，研磨轮对加工原料上表面进行抛光。

优选的，所述夹持块圆弧表面等距固定连接有橡胶条，与加工原料侧面柔性接触，在夹持块将加工原料夹持牢固时，减小对加工原料侧面的磨损，防止夹持块夹持过程中，对加工原料侧面造成磨损，提高了夹持块的功能性。

与相关技术相比较，本实用新型提供的具有如下有益效果：

本实用新型提供：

通过安装传动装置、伸缩装置和打磨设备，能够通过调节加工原料高度的方式，控制加工原料的打磨厚度，同时，将抛光完成的加工原料从抛光台内部顶出，方便快速取出加工原料。

通过夹持块圆弧表面等距固定连接有橡胶条，与加工原料侧面柔性接触，在夹持块将加工原料夹持牢固时，减小对加工原料侧面的磨损，防止夹持块夹持过程中，对加工原料侧面造成磨损，提高了夹持块的功能性。

附图说明

图1为本实用新型提供的整体结构示意图；

图2为本实用新型提供的分离结构示意图；

图3为本实用新型提供的传动装置结构示意图；

图4为本实用新型提供的伸缩装置结构示意图；

图5为本实用新型提供的打磨设备结构示意图。

图中标号：1、抛光台；2、固定架；3、电动推杆；4、加工原料；5、传动装置；51、第一电机；52、第一丝杆；53、第二丝杆；54、传动杆；55、传动带；56、夹持块；6、伸缩装置；61、第二电机；62、转动管；63、伸缩杆；64、弧形槽；65、连动块；66、圆形板；7、打磨设备；71、防护壳；72、第三电机；73、研磨轮；74、连接座；75、连接块；8、橡胶条。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

在具体实施过程中，如图1和图2所示，包括：抛光台1、固定架2、电动推杆3和加工原料4，所述抛光台1周围设置有固定架2，所述固定架2内壁固定连接有电动推杆3，所述抛光台1内壁放置有加工原料4，且加工原料4位于电动推杆3下方，所述抛光台1内部安装有传动装置5，且传动装置5滑动部分和加工原料4侧面接触，所述抛光台1内部中心位置安装有伸缩装置6，且伸缩装置6顶部和加工原料4底部接触，所述电动推杆3移动端固定安装有打磨设备7，将加工原料4放置在抛光台1内壁，启动传动装置5，将加工原料4夹持牢固，电动推杆3控制打磨设备7靠近加工原料4上表面，进行抛光加工，伸缩装置6将加工原料4向上移动，调节抛光厚度，固定架2对打磨设备7进行稳定支撑。

参考图2和图3所示，所述传动装置5包括第一电机51、第一丝杆52、第二丝杆53、传动杆54、传动带55和夹持块56，所述抛光台1内部固定安装有第一电机51，所述抛光台1内部对称转动连接有第一丝杆52和第二丝杆53，所述抛光台1内壁转动连接有传动杆54，且传动杆54位于第一丝杆52和第二丝杆53一侧，所述第一丝杆52和第二丝杆53与传动杆54表面套设有传动带55，所述抛光台1内壁对称滑动连接有夹持块56，且夹持块56内部与第一丝杆52和第二丝杆53表面啮合连接，启动第一电机51，第一电机51输出轴锥齿轮配合第一丝杆52一侧锥齿轮，带动第一丝杆52在抛光台1内壁转动，传动带55带动传动杆54转动，带动第二丝杆53朝着第一丝杆52的转动方向旋转，将夹持块56靠近加工原料4，夹持块56圆弧部分紧贴加工原料4侧面，将加工原料4夹持牢固。

参考图2和图4所示，所述伸缩装置6包括第二电机61、转动管62、伸缩杆63、弧形槽64、连动块65和圆形板66，所述抛光台1内部固定安装有第二电机61，所述抛光台1内部中心位置转动连接有转动管62，所述转动管62内部安装有伸缩杆63，所述转动管62表面开设有弧形槽64，所述伸缩杆63表面固定连接有连动块65，且连动块65在弧形槽64内部滑动，所述伸缩杆63顶部固定连接有圆形板66，且圆形板66上表面和加工原料4下表面接触，传动装置5先将加工原料4松开，启动第二电机61，第二电机61输出轴平齿轮配合转动管62底部平齿轮，带动转动管62在抛光台1内部中心位置转动，连动块65沿着弧形槽64内壁滑动，将伸缩杆63移出转动管62内部，伸缩杆63控制圆形板66向上移动，将加工原料4向上移动，移动到指定高度时，再启动传动装置5将加工原料4夹紧，通过调节加工原料4的高度，调节抛光厚度，同时，方便将加工原料4顶出抛光台1内部。

参考图3和图4所示，所述第一电机51输出轴和第一丝杆52一侧通过锥齿轮啮合连接，所述第二电机61输出轴和转动管62底部通过平齿轮啮合连接，将第一电机51和第二电机61输出轴的转动圈数转化为第一丝杆52和转动管62的旋转数，保证传动稳定。

参考图2和图5所示，所述打磨设备7包括防护壳71、第三电机72、研磨轮73、连接座74和连接块75，所述电动推杆3移动端固定连接有防护壳71，所述防护壳71内部固定安装有第三电机72，所述防护壳71下方设置有研磨轮73，所述第三电机72输出轴固定连接有连接座74，所述研磨轮73上表面对称固定连接有连接块75，所述连接座74和连接块75表面对称开设有圆形的安装孔，且安装孔直径相同，将研磨轮73靠近防护壳71，连接座74和连接块75的安装孔位置对齐，螺栓穿过安装孔，将研磨轮73和连接座74连接牢固，启动第三电机72，第三电机72输出轴带动连接座74转动，研磨轮73对加工原料4上表面进行抛光。

参考图3所示，所述夹持块56圆弧表面等距固定连接有橡胶条8，与加工原料4侧面柔性接触，在夹持块56将加工原料4夹持牢固时，减小对加工原料4侧面的磨损，防止夹持块56夹持过程中，对加工原料4侧面造成磨损，提高了夹持块56的功能性。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (8)

1.一种晶圆片的研磨抛光装置，包括：抛光台（1）、固定架（2）、电动推杆（3）和加工原料（4），所述抛光台（1）周围设置有固定架（2），所述固定架（2）内壁固定连接有电动推杆（3），所述抛光台（1）内壁放置有加工原料（4），且加工原料（4）位于电动推杆（3）下方，其特征在于，所述抛光台（1）内部安装有传动装置（5），且传动装置（5）滑动部分和加工原料（4）侧面接触，所述抛光台（1）内部中心位置安装有伸缩装置（6），且伸缩装置（6）顶部和加工原料（4）底部接触，所述电动推杆（3）移动端固定安装有打磨设备（7）。

2.根据权利要求1所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述传动装置（5）包括第一电机（51）、第一丝杆（52）、第二丝杆（53）、传动杆（54）、传动带（55）和夹持块（56），所述抛光台（1）内部固定安装有第一电机（51），所述抛光台（1）内部对称转动连接有第一丝杆（52）和第二丝杆（53），所述抛光台（1）内壁转动连接有传动杆（54），且传动杆（54）位于第一丝杆（52）和第二丝杆（53）一侧，所述第一丝杆（52）和第二丝杆（53）与传动杆（54）表面套设有传动带（55），所述抛光台（1）内壁对称滑动连接有夹持块（56），且夹持块（56）内部与第一丝杆（52）和第二丝杆（53）表面啮合连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述第一电机（51）输出轴和第一丝杆（52）一侧通过锥齿轮啮合连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述伸缩装置（6）包括第二电机（61）、转动管（62）、伸缩杆（63）、弧形槽（64）、连动块（65）和圆形板（66），所述抛光台（1）内部固定安装有第二电机（61），所述抛光台（1）内部中心位置转动连接有转动管（62），所述转动管（62）内部安装有伸缩杆（63），所述转动管（62）表面开设有弧形槽（64），所述伸缩杆（63）表面固定连接有连动块（65），且连动块（65）在弧形槽（64）内部滑动，所述伸缩杆（63）顶部固定连接有圆形板（66），且圆形板（66）上表面和加工原料（4）下表面接触。

5.根据权利要求4所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述第二电机（61）输出轴和转动管（62）底部通过平齿轮啮合连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述打磨设备（7）包括防护壳（71）、第三电机（72）、研磨轮（73）、连接座（74）和连接块（75），所述电动推杆（3）移动端固定连接有防护壳（71），所述防护壳（71）内部固定安装有第三电机（72），所述防护壳（71）下方设置有研磨轮（73），所述第三电机（72）输出轴固定连接有连接座（74），所述研磨轮（73）上表面对称固定连接有连接块（75）。

7.根据权利要求6所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接座（74）和连接块（75）表面对称开设有圆形的安装孔，且安装孔直径相同。

8.根据权利要求2所述的晶圆片的研磨抛光装置，其特征在于，所述夹持块（56）圆弧表面等距固定连接有橡胶条（8）。