CN220872614U - 一种用于碳化硅芯片生产的测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，包括有：支架，所述支架的顶部固定安装有置物台，所述置物台的顶部固定连接有框架；测试机构，其设置于置物台的上方，包括有推拉板和安装板；本实用新型通过设置第一刹车电机、凸轮、弹簧和连接板，通过启动第一刹车电机，可以使得转轴带动凸轮发生转动，凸轮转动的同时由于弹簧的弹力恢复作用，将会拉动横板向下运动，从而使得竖杆带动连接板向下运动，进而解除了对安装板的固定效果，从而能够将探针本体拆下，最终实现了便于拆卸探针本体的效果，从而便于工作人员快速更换探针本体，能够提升整体测试工作效率。

Description

一种用于碳化硅芯片生产的测试装置

技术领域

本实用新型涉及芯片测试设备技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种用于碳化硅芯片生产的测试装置。

背景技术

碳化硅芯片主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，工作人员经常会使用测试装置在碳化硅芯片在生产完成后对其进行质量测试，以保证芯片的合格率，虽然现有的测试装置能够实现对芯片的快速检测，然而在实际使用时，由于现有测试装置的探针在频繁的测试后会老化，影响测试精度，因此工作人员经常需要对其进行拆卸更换，但是现有测试装置的探针一般是通过多颗螺钉连接在测试装置上的，从而使得工作人员在更换探针时需要花费大量时间拆卸安装螺钉，进而导致整体测试工作效率下降，因此需要对其进行改进。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，具有便于更换探针的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，包括：

支架，所述支架的顶部固定安装有置物台，所述置物台的顶部固定连接有框架；

测试机构，其设置于置物台的上方，包括有推拉板和安装板；

紧固机构，其设置于推拉板的上方；

其中，所述紧固机构包括有第一刹车电机，所述第一刹车电机固定安装在推拉板的顶部，所述第一刹车电机输出轴的另一端固定套接有转轴，所述转轴的另一端固定连接有凸轮，所述凸轮的顶部活动连接有横板，所述横板底端的两侧均固定连接有竖杆，所述竖杆的底端贯穿推拉板且固定连接有连接板，所述竖杆的外表面活动套接有弹簧且弹簧的两端分别固定连接在推拉板和横板的外表面，凸轮转动的同时由于弹簧的弹力恢复作用能够使得横板与连接板向下运动。

作为本实用新型的一种优选技术方案，包括：

测试机构，还包括有气缸、导向杆和探针本体；

所述气缸固定安装在框架顶端的中部且气缸的底端贯穿框架并固定连接在推拉板的顶部，所述导向杆固定安装在推拉板的顶部且导向杆的顶部贯穿框架，所述探针本体固定连接在安装板的底部，气缸能够带动探针本体向下运动对芯片进行测试。

作为本实用新型的一种优选技术方案，还包括：

夹持机构，其设置于置物台的上方，由夹板、滑块和垫块构成；

所述夹板活动安装在置物台顶端的中部，所述置物台的顶部开设有位于夹板下方的顶孔，所述滑块固定安装在夹板的底端且滑块的外表面与顶孔的内壁活动连接，所述垫块固定安装在夹板的内壁。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述置物台底部的前端固定安装有第二刹车电机，所述第二刹车电机输出轴的另一端固定套接有丝杠，所述丝杠外表面的中部螺纹套接有移动块。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述移动块的底端与滑块的底端之间铰接有连杆，所述连杆的数量为两个，两个所述连杆关于丝杠中心对称。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述垫块的外观为方形，所述垫块采用橡胶制成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向杆的数量为两个，两个所述导向杆的尺寸相同，两个所述导向杆的外表面均光滑。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置第一刹车电机、凸轮、弹簧和连接板，通过启动第一刹车电机，可以使得转轴带动凸轮发生转动，凸轮转动的同时由于弹簧的弹力恢复作用，将会拉动横板向下运动，从而使得竖杆带动连接板向下运动，进而解除了对安装板的固定效果，从而能够将探针本体拆下，最终实现了便于拆卸探针本体的效果，从而便于工作人员快速更换探针本体，能够提升整体测试工作效率。

2、本实用新型通过设置第二刹车电机、丝杠、移动块、连杆和夹板，通过启动第二刹车电机，可以使得丝杠发生转动，从而能够使得移动块带动两个连杆相向运动，进而能够使得两个滑块带动两个夹板相向运动，从而使得两个垫块对芯片进行夹紧固定，最终实现了能够自动夹持固定芯片的效果，从而提升了工作人员的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的正面剖视结构示意图；

图3为本实用新型竖杆内部的剖视结构示意图；

图4为本实用新型的侧面剖视结构示意图；

图5为本实用新型的底部结构示意图；

图6为图2中A处的局部放大结构示意图。

图中：1、支架；2、置物台；3、框架；4、推拉板；5、安装板；6、第一刹车电机；7、转轴；8、凸轮；9、横板；10、竖杆；11、连接板；12、弹簧；13、气缸；14、导向杆；15、探针本体；16、夹板；17、顶孔；18、滑块；19、第二刹车电机；20、丝杠；21、移动块；22、连杆；23、垫块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图6所示，本实用新型提供一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，包括：

支架1，支架1的顶部固定安装有置物台2，置物台2的顶部固定连接有框架3；

测试机构，其设置于置物台2的上方，包括有推拉板4和安装板5；

紧固机构，其设置于推拉板4的上方；

其中，紧固机构包括有第一刹车电机6，第一刹车电机6固定安装在推拉板4的顶部，第一刹车电机6输出轴的另一端固定套接有转轴7，转轴7的另一端固定连接有凸轮8，凸轮8的顶部活动连接有横板9，横板9底端的两侧均固定连接有竖杆10，竖杆10的底端贯穿推拉板4且固定连接有连接板11，竖杆10的外表面活动套接有弹簧12且弹簧12的两端分别固定连接在推拉板4和横板9的外表面，凸轮8转动的同时由于弹簧12的弹力恢复作用能够使得横板9与连接板11向下运动。

通过设置弹簧12为拉伸状态，由于弹簧12的弹力恢复作用，将会使得横板9有向下运动的趋势，通过启动第一刹车电机6，可以使得转轴7带动凸轮8发生转动，凸轮8转动的同时由于弹簧12的弹力恢复作用，将会拉动横板9向下运动，从而使得竖杆10带动连接板11向下运动，进而解除了对安装板5的固定效果。

其中，包括：

测试机构，还包括有气缸13、导向杆14和探针本体15；

气缸13固定安装在框架3顶端的中部且气缸13的底端贯穿框架3并固定连接在推拉板4的顶部，导向杆14固定安装在推拉板4的顶部且导向杆14的顶部贯穿框架3，探针本体15固定连接在安装板5的底部，气缸13能够带动探针本体15向下运动对芯片进行测试。

通过启动气缸13，可以使得推拉板4带动安装板5与探针本体15向下运动，从而能够使得探针本体15对芯片进行测试。

其中，还包括：

夹持机构，其设置于置物台2的上方，由夹板16、滑块18和垫块23构成；

夹板16活动安装在置物台2顶端的中部，置物台2的顶部开设有位于夹板16下方的顶孔17，滑块18固定安装在夹板16的底端且滑块18的外表面与顶孔17的内壁活动连接，垫块23固定安装在夹板16的内壁。

通过移动两个夹板16相向运动带动两个垫块23相向运动，可以对芯片进行夹持，从而能够防止芯片意外移动影响测试精度。

其中，置物台2底部的前端固定安装有第二刹车电机19，第二刹车电机19输出轴的另一端固定套接有丝杠20，丝杠20外表面的中部螺纹套接有移动块21。

通过启动第二刹车电机19，可以使得丝杠20发生转动，从而能够带动移动块21向前或向后运动。

其中，移动块21的底端与滑块18的底端之间铰接有连杆22，连杆22的数量为两个，两个连杆22关于丝杠20中心对称。

通过连杆22的设计，可以使得移动块21在运动时，能够带动两个滑块18相向或相背运动。

其中，垫块23的外观为方形，垫块23采用橡胶制成。

通过橡胶具有柔软的性质，可以使得垫块23对芯片夹持时能够保护芯片，避免芯片因夹持过度而损坏。

其中，导向杆14的数量为两个，两个导向杆14的尺寸相同，两个导向杆14的外表面均光滑。

通过导向杆14外表面光滑的设计，可以使得推拉板4在上下运动时更加顺畅。

本实用新型的工作原理及使用流程：

当需要对芯片进行固定时，工作人员首先可以将芯片放置在置物台2的顶部，然后启动第二刹车电机19，由于第二刹车电机19的运行，将会使得丝杠20发生转动，由于丝杠20的外表面与移动块21的内壁螺纹连接，因此丝杠20的转动能够使得移动块21带动两个连杆22相向运动，进而能够使得两个滑块18带动两个夹板16相向运动，从而使得两个垫块23对芯片进行夹紧固定，然后工作人员可以启动气缸13，由于气缸13的运行，将会使得推拉板4带动安装板5与探针本体15向下运动，使得探针本体15接触芯片对其进行测试。

当探针本体15老化需要更换时，工作人员首先可以启动第一刹车电机6，由于第一刹车电机6的运行，将会使得转轴7带动凸轮8发生转动，凸轮8转动的同时由于弹簧12的弹力恢复作用，将会拉动横板9向下运动，从而使得竖杆10带动连接板11向下运动，进而解除了对安装板5的固定效果，从而能够将探针本体15拆下，最终实现了便于拆卸探针本体15的效果，从而便于工作人员快速更换探针本体15，能够提升整体测试工作效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：包括

支架(1)，所述支架(1)的顶部固定安装有置物台(2)，所述置物台(2)的顶部固定连接有框架(3)；

测试机构，其设置于置物台(2)的上方，包括有推拉板(4)和安装板(5)；

紧固机构，其设置于推拉板(4)的上方；

其中，所述紧固机构包括有第一刹车电机(6)，所述第一刹车电机(6)固定安装在推拉板(4)的顶部，所述第一刹车电机(6)输出轴的另一端固定套接有转轴(7)，所述转轴(7)的另一端固定连接有凸轮(8)，所述凸轮(8)的顶部活动连接有横板(9)，所述横板(9)底端的两侧均固定连接有竖杆(10)，所述竖杆(10)的底端贯穿推拉板(4)且固定连接有连接板(11)，所述竖杆(10)的外表面活动套接有弹簧(12)且弹簧(12)的两端分别固定连接在推拉板(4)和横板(9)的外表面，凸轮(8)转动的同时由于弹簧(12)的弹力恢复作用能够使得横板(9)与连接板(11)向下运动。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：包括有：

测试机构，还包括有气缸(13)、导向杆(14)和探针本体(15)；

所述气缸(13)固定安装在框架(3)顶端的中部且气缸(13)的底端贯穿框架(3)并固定连接在推拉板(4)的顶部，所述导向杆(14)固定安装在推拉板(4)的顶部且导向杆(14)的顶部贯穿框架(3)，所述探针本体(15)固定连接在安装板(5)的底部，气缸(13)能够带动探针本体(15)向下运动对芯片进行测试。

3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：还包括有：

夹持机构，其设置于置物台(2)的上方，由夹板(16)、滑块(18)和垫块(23)构成；

所述夹板(16)活动安装在置物台(2)顶端的中部，所述置物台(2)的顶部开设有位于夹板(16)下方的顶孔(17)，所述滑块(18)固定安装在夹板(16)的底端且滑块(18)的外表面与顶孔(17)的内壁活动连接，所述垫块(23)固定安装在夹板(16)的内壁。

4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：所述置物台(2)底部的前端固定安装有第二刹车电机(19)，所述第二刹车电机(19)输出轴的另一端固定套接有丝杠(20)，所述丝杠(20)外表面的中部螺纹套接有移动块(21)。

5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：所述移动块(21)的底端与滑块(18)的底端之间铰接有连杆(22)，所述连杆(22)的数量为两个，两个所述连杆(22)关于丝杠(20)中心对称。

6.根据权利要求3所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：所述垫块(23)的外观为方形，所述垫块(23)采用橡胶制成。

7.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅芯片生产的测试装置，其特征在于：所述导向杆(14)的数量为两个，两个所述导向杆(14)的尺寸相同，两个所述导向杆(14)的外表面均光滑。