CN220867572U - 波纹套密封形线圈升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶体生长炉技术领域。波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，支撑板设置在密封炉腔的下方，支撑板与线圈组件之间通过支撑杆相连；支撑杆的外围套设有第一波纹管，第一波纹管的上端与密封炉腔的底部相连，第一波纹管的下端与支撑板相连；线圈组件包括延伸出密封炉腔的两个铜电极，铜电极的下端延伸出支撑板，铜电极的外围连接有绝缘套，绝缘套可拆卸安装在支撑板上；铜电极的外围套设有第二波纹管，第二波纹管的顶部与密封炉腔的底部相连，第二波纹管的底部与支撑板相连；升降驱动机构与支撑板传动连接。本实用新型在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，具体涉及线圈升降机构。
背景技术
LPE(液相法)碳化硅单晶生长炉是通过液相外延法长晶的制造设备，其生长方法主要为在高温环境下将碳溶入纯硅溶液，并通过在溶液中添加金属助溶剂提高碳的溶解度。然后对熔化的过饱和的溶液稍做降温，使之产生一定的过冷度，用一根固定在籽晶轴上的碳化硅单晶体，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，碳化硅单晶不断析出，晶体便会在籽晶下端生长。
通常碳化硅炉使用的线圈在固定位。随着晶体的生长，坩埚和籽晶位置会有变化，而线圈的位置不变，无法配合晶体生长界面的变化。
目前已存有线圈升降机构，比如公开号为CN217733351U公开了一种晶体炉感应线圈升降机构，该专利适用于设置在密封腔外围的线圈升降，但是，无法实现设置在炉腔外的升降机构如何在驱动设置在炉腔内的线圈升降时，实现密封保护。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供波纹套密封形线圈升降机构，已解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，其特征在于，所述线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，所述支撑板设置在密封炉腔的下方，所述支撑板与所述线圈组件之间通过所述支撑杆相连；
所述支撑杆的外围套设有第一波纹管，所述第一波纹管的上端与所述密封炉腔的底部相连，所述第一波纹管的下端与所述支撑板相连；
所述线圈组件包括延伸出密封炉腔的两个铜电极，所述铜电极的下端延伸出所述支撑板，所述铜电极的外围连接有绝缘套，所述绝缘套的内侧与所述铜电极的连接处设置有密封圈，所述绝缘套可拆卸安装在所述支撑板上；
所述铜电极的外围套设有第二波纹管，所述第二波纹管的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述第二波纹管的底部与所述支撑板相连；
所述升降驱动机构与所述支撑板传动连接。
本实用新型在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动。
进一步优选地，所述第二波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
所述第二波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈。
进一步优选地，所述绝缘套与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
所述第一波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈，所述第一波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈。
进一步优选地，所述升降驱动机构包括丝杆螺母机构以及支撑架，所述支撑架上安装有所述丝杆螺母机构，所述丝杆螺母机构的丝杆穿过所述支撑板，且所述支撑板上安装有所述丝杆螺母机构的螺母。
进一步优选地，所述支撑架上还安装有导向组件，所述导向组件包括滑动连接的导向光轴以及直线轴承，所述直线轴承安装在所述支撑板的四个角部，所述导向光轴的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述导向光轴的底部与所述支撑架可拆卸连接。
进一步优选地，所述丝杆螺母机构设置有两组，两组丝杆螺母机构安装在所述支撑板的相对侧。
进一步优选的，四个导向组件中两两为一组导向组件组，同一组导向组件组的两个导向组件的中央安装有一个所述丝杆螺母机构。
进一步优选的，所述线圈组件包括螺旋设置的线圈、上环体以及下环体，所述上环体以及下环体上下设置，所述上环体与所述下环体通过竖直设置的连接杆相连；
所述线圈与所述连接杆可拆卸连接；
所述下环体与所述支撑杆可拆卸连接。
进一步优选的，所述下环体的相对侧开设有用于避让所述铜电极的缺口。
有益效果：
在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动；结构紧凑，运行平稳。
附图说明
图1是本实用新型具体实施例1的一种剖视图；
图2是本实用新型具体实施例1的线圈支撑组件的一种结构示意图；
图3是本实用新型具体实施例1的升降驱动机构的一种结构示意图；
图4是本实用新型具体实施例1的升降驱动机构的局部结构示意图；
图5是本实用新型具体实施例1的第二密封套处的剖视图。
具体实施方式
参见图1至图5，具体实施例1，波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件1升降的升降驱动机构7，线圈支撑组件包括线圈组件1、支撑杆3以及支撑板4，支撑板4设置在密封炉腔的下方，支撑板4与线圈组件1之间通过支撑杆3相连；支撑杆3的外围套设有第一波纹管，第一波纹管的上端与密封炉腔14的底部相连，第一波纹管的下端与支撑板4相连；线圈组件1包括延伸出密封炉腔的两个铜电极2，铜电极2的下端延伸出支撑板4，铜电极2的外围连接有绝缘套5，绝缘套5的内侧与铜电极2的连接处设置有密封圈，绝缘套5可拆卸安装在支撑板4上；铜电极2的外围套设有第二波纹管6，第二波纹管6的顶部与密封炉腔的底部相连，第二波纹管6的底部与支撑板4相连；升降驱动机构与支撑板4传动连接。本实用新型在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动。密封炉腔14的底部开设有用于支撑杆伸出的第一通孔，第一波纹管套设在第一通孔的外围。密封炉腔的底部开设有用于铜电极伸出的第二通孔。第二波纹管套设在第二通孔的外围。支撑板的中央开设有圆孔。
第二波纹管6与支撑板4的连接处设置有密封圈；第二波纹管6与密封炉腔的连接处设置有密封圈。第二波纹管通过螺钉与支撑板可拆卸连接。第二波纹管通过螺钉与密封炉腔可拆卸连接。
绝缘套5与支撑板4的连接处设置有密封圈；第一波纹管与密封炉腔的连接处设置有密封圈，第一波纹管与支撑板4的连接处设置有密封圈。第一波纹管通过螺钉与支撑板可拆卸连接。第一波纹管通过螺钉与密封炉腔可拆卸连接。
升降驱动机构7包括丝杆螺母机构以及支撑架9，支撑架9上安装有丝杆螺母机构，丝杆螺母机构的丝杆穿过支撑板，且支撑板上安装有丝杆螺母机构的螺母8。螺母8通过螺钉可拆卸安装在一连接板12。连接板可拆卸安装在支撑板的四个角部。
支撑架9上还安装有导向组件，导向组件包括滑动连接的导向光轴10以及直线轴承11，直线轴承11安装在支撑板4的四个角部，导向光轴10的顶部与密封炉腔的底部相连，导向光轴10的底部与支撑架9可拆卸连接。丝杆螺母机构设置有两组，两组丝杆螺母机构安装在支撑板4的相对侧。四个导向组件中两两为一组导向组件组，同一组导向组件组的两个导向组件的中央安装有一个丝杆螺母机构。
线圈组件1包括螺旋设置的线圈、上环体以及下环体，上环体以及下环体上下设置，上环体与下环体通过竖直设置的连接杆相连；线圈与连接杆可拆卸连接；下环体与支撑杆可拆卸连接。下环体的相对侧开设有用于避让铜电极2的缺口。线圈的两端与两个铜电极电相连。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，其特征在于，所述线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，所述支撑板设置在密封炉腔的下方，所述支撑板与所述线圈组件之间通过所述支撑杆相连；
所述支撑杆的外围套设有第一波纹管，所述第一波纹管的上端与所述密封炉腔的底部相连，所述第一波纹管的下端与所述支撑板相连；
所述线圈组件包括延伸出密封炉腔的两个铜电极，所述铜电极的下端延伸出所述支撑板，所述铜电极的外围连接有绝缘套，所述绝缘套的内侧与所述铜电极的连接处设置有密封圈，所述绝缘套可拆卸安装在所述支撑板上；
所述铜电极的外围套设有第二波纹管，所述第二波纹管的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述第二波纹管的底部与所述支撑板相连；
所述升降驱动机构与所述支撑板传动连接。
2.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述第二波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
所述第二波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈。
3.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述绝缘套与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
所述第一波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈，所述第一波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈。
4.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括丝杆螺母机构以及支撑架，所述支撑架上安装有所述丝杆螺母机构，所述丝杆螺母机构的丝杆穿过所述支撑板，且所述支撑板上安装有所述丝杆螺母机构的螺母。
5.根据权利要求4所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述支撑架上还安装有导向组件，所述导向组件包括滑动连接的导向光轴以及直线轴承，所述直线轴承安装在所述支撑板的四个角部，所述导向光轴的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述导向光轴的底部与所述支撑架可拆卸连接。
6.根据权利要求5所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述丝杆螺母机构设置有两组，两组丝杆螺母机构安装在所述支撑板的相对侧。
7.根据权利要求6所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：四个导向组件中两两为一组导向组件组，同一组导向组件组的两个导向组件的中央安装有一个所述丝杆螺母机构。
8.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述线圈组件包括螺旋设置的线圈、上环体以及下环体，所述上环体以及下环体上下设置，所述上环体与所述下环体通过竖直设置的连接杆相连；
所述线圈与所述连接杆可拆卸连接；
所述下环体与所述支撑杆可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述下环体的相对侧开设有用于避让所述铜电极的缺口。
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