CN220855442U - 一种主体框架及光刻设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种主体框架及光刻设备，涉及半导体设备的技术领域。该主体框架，包括第一支撑件、第二支撑件以及第一横梁和第二横梁，第一横梁和第二横梁均一端与第一支撑件联接，另一端与第二支撑件联接；第一支撑件一体设置有储气腔体，储气腔体用于储存供第一隔振器使用的压缩空气；第一横梁用于安置第二隔振器，第二横梁用于安置第三隔振器，第一隔振器、第二隔振器和第三隔振器用于共同支撑测量装置。该主体框架，第一支撑件一体设置的储气腔体，能够部分替代气瓶，能够与气瓶共同为第一隔振器供气，从而选择为第一隔振器供气的气瓶时，可以选择容积比较小的气瓶，而容积比较小的气瓶，体积比较小、占用空间也比较小，便于安置。

Description

一种主体框架及光刻设备

技术领域

本实用新型涉及半导体设备的技术领域，具体而言，涉及一种主体框架及光刻设备。

背景技术

现有技术中，光刻机的主要结构框架为：主体框架上方支撑测量框架，下方连接双工件台。为了避免光刻过程中，外界振动对光刻过程产生不利影响，现有技术中，通常通过多个隔振器支撑测量框架，并使用控制方法，以隔绝外部振动，保持光刻设备内部稳定。

具体地，主体框架包括支撑板和设置于支撑板同一侧的两个横梁，三个隔振器分别安置于支撑板和两个横梁上。但是，隔振器工作时需要气瓶为其提供压缩空气，而主体框架支撑板附近的空间局促或不足，导致为支撑板上的隔振器供气的气瓶不便安置。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提供一种主体框架，以解决现有技术中存在的光刻设备中为隔振器供气的气瓶不便安置的技术问题。

本实用新型提供的主体框架，包括第一支撑件、第二支撑件以及第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和所述第二横梁均一端与所述第一支撑件联接，另一端与所述第二支撑件联接；所述第一支撑件一体设置有储气腔体，所述储气腔体用于储存供第一隔振器使用的压缩空气；所述第一横梁用于安置第二隔振器，所述第二横梁用于安置第三隔振器，所述第一隔振器、所述第二隔振器和所述第三隔振器用于共同支撑测量装置。

进一步地，所述第一支撑件呈板状，所述第一支撑件具有第一侧和第二侧，所述第一横梁和所述第二横梁均位于所述第一侧，所述储气腔体朝所述第一侧延伸设置。

进一步地，所述第一支撑件呈板状，所述第一支撑件具有第一侧和第二侧，所述第一横梁和所述第二横梁均位于所述第一侧，所述储气腔体朝所述第一侧和所述第二侧均有延伸，且朝所述第一侧延伸的长度大于朝所述第二侧延伸的长度。

进一步地，沿所述第一横梁和所述第二横梁的排列方向，所述储气腔体设置于所述第一支撑件的中间部位；所述储气腔体与所述第一横梁之间形成第一容纳空间，所述第一容纳空间用于容置第一气瓶；所述储气腔体与所述第二横梁之间形成第二容纳空间，所述第二容纳空间用于容置第二气瓶；所述第一气瓶和所述第二气瓶均与所述储气腔体连通。

进一步地，所述储气腔体的上壁设置有供气口，通过所述供气口为所述第一隔振器供气。

进一步地，所述第一支撑件的上边缘设置有避让槽，所述避让槽的槽底与所述储气腔体的上壁平齐，且所述避让槽的深度大于所述第一隔振器的高度。

进一步地，所述第一横梁具有第一凹腔，所述第一凹腔用于容纳为所述第二隔振器供给压缩空气的气瓶；和/或，所述第二横梁具有第二凹腔，所述第二凹腔用于容纳为所述第三隔振器供给压缩空气的气瓶。

进一步地，所述第一横梁为工字梁，所述第一横梁的开口朝外的凹陷处形成所述第一凹腔；和/或，所述第二横梁为工字梁，所述第二横梁的开口朝外的凹陷处形成所述第二凹腔。

进一步地，所述第二支撑件与所述第一支撑件相对设置。

本实用新型提供的主体框架，能够产生以下有益效果：

本实用新型提供的主体框架，第一支撑件一体设置有储气腔体，能够储存第一隔振器所需的压缩空气，所以，其能够部分替代气瓶，能够与气瓶共同为第一隔振器供气，从而，选择为第一隔振器供气的气瓶时，可以选择容积比较小的气瓶，而容积比较小的气瓶，体积比较小、占用空间也比较小，便于安置。

本实用新型的第二个目的在于提供一种光刻设备，以解决现有技术中存在的光刻设备中为隔振器供气的气瓶不便安置的技术问题。

本实用新型提供的光刻设备，包括上述的主体框架以及安置于所述主体框架的所述第一隔振器、所述第二隔振器和所述第三隔振器，还包括所述测量装置，所述测量装置设置于三个所述隔振器上。该光刻设备具有上述的主体框架的全部优点，故在此不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的光刻设备之一的局部简化示意图之一；

图2为本实用新型实施例提供的光刻设备之一的局部简化示意图之二；

图3为本实用新型实施例提供的光刻设备之一的局部简化俯视图；

图4为本实用新型实施例提供的光刻设备之一的局部简化侧视图；

图5为本实用新型实施例提供的光刻设备之一的局部侧剖示意图；

图6为本实用新型实施例提供的光刻设备之二的局部侧剖示意图。

附图标记说明：

100-主体框架；110-第一支撑件；111-储气腔体；112-供气口；113-避让槽；120-第二支撑件；130-第一横梁；131-第一凹腔；140-第二横梁；

210-第一气瓶；220-第二气瓶；230-第一排管气瓶组；

310-第一隔振器；320-第二隔振器；330-第三隔振器；

400-测量装置；410-第一安装臂；420-第二安装臂；430-第三安装臂。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实施例提供一种主体框架100，如图1和图2所示，该主体框架100包括第一支撑件110、第二支撑件120以及第一横梁130和第二横梁140，第一横梁130和第二横梁140均一端与第一支撑件110联接，另一端与第二支撑件120联接，均可以采用固定连接方式；第一支撑件110一体设置有储气腔体111，储气腔体111用于储存供第一隔振器310使用的压缩空气；第一横梁130用于安置第二隔振器320，第二横梁140用于安置第三隔振器330，第一隔振器310、第二隔振器320和第三隔振器330用于共同支撑测量装置400。

本实施例提供的主体框架100，第一支撑件110一体设置有储气腔体111，能够储存第一隔振器310所需的压缩空气，所以，其能够部分替代气瓶，能够与气瓶共同为第一隔振器310供气，从而，选择为第一隔振器310供气的气瓶时，可以选择容积比较小的气瓶，而容积比较小的气瓶，体积比较小、占用空间也比较小，便于安置。

具体地，本实施例中，如图3至图5所示，第一支撑件110呈板状，第一支撑件110具有第一侧和第二侧，第一横梁130和第二横梁140均位于第一侧，储气腔体111朝第一侧延伸设置。此种设置形式下，主体框架100的第二侧外观上更加平整，所以不易与其他零部件产生干涉。

此处，需要说明的是，如图6所示，储气腔体111还可以朝第一侧和第二侧均有延伸，且朝第一侧延伸的长度L₁大于朝第二侧延伸的长度L₂，即L₁＞L₂。此种设置形式下，储气腔体111位于第一支撑件110的第一侧的部分起主要的储气作用，第一支撑件110两侧对储气腔体111的承载更加均衡，储气腔体111更加平稳，储气腔体111与第一支撑件110的第一侧的连接处的应力更小。

具体地，本实施例中，如图3所示，沿第一横梁130和第二横梁140的排列方向，储气腔体111设置于第一支撑件110的中间部位；储气腔体111与第一横梁130之间形成第一容纳空间，第一容纳空间用于容置第一气瓶210；储气腔体111与第二横梁140之间形成第二容纳空间，第二容纳空间用于容置第二气瓶220；第一气瓶210和第二气瓶220均与储气腔体111连通。此种设置形式下，第一气瓶210、储气腔体111和第二气瓶220的排布比较紧凑，有利于提高空间利用率。当然，在本申请的其他实施例中，为了避让其他零部件，或者为了预留空间等，储气腔体111也可以靠近第一横梁130或靠近第二横梁140设置。

具体地，本实施例中，继续如图3所示，第一气瓶210和第二气瓶220分别通过一段钢管与储气腔体111连通，而且，钢管能够承载对应气瓶及对应气瓶内压缩空气的重量。此种设置形式下，连接所需的钢管的长度比较短，占用空间也小，能够进一步提高结构的紧凑型。

具体地，本实施例中，如图5和图6所示，储气腔体111的上壁设置有供气口112，第一气瓶210、第二气瓶220和储气腔体111均通过供气口112为第一隔振器310供气。此种设置形式下，储气腔体111在第一气瓶210和第一隔振器310之间起到管道作用，在第二气瓶220和第一隔振器310之间也起到管道作用。而且，供气口112设置于储气腔体111的上壁，距离第一隔振器310距离比较近，有利于缩短输气距离，从而有利于提高供气及时性。当然，在本申请的其他实施例中，供气口112不限于设置于储气腔体111的上壁，例如：供气口112还可以设置于储气腔体111的侧壁，又或者，供气口112还可以设置于储气腔体111的底壁，只要能够为第一隔振器310供气即可。

此处，还需要说明的是，在本申请的其他实施例中，第一气瓶210、储气腔体111和第二气瓶220三者还可以分别与第一隔振器310连接，以分别为第一隔振器310供气。

具体地，本实施例中，如图1和图2所示，第一支撑件110的上边缘设置有避让槽113，避让槽113的槽底与储气腔体111的上壁平齐。此种设置形式下，储气腔体111的上方安置第一隔振器310，相对于板状的第一支撑件110直接支撑第一隔振器310，主体框架100用于支撑第一隔振器310的结构即储气腔体111的结构强度更高，承载能力更强，从而，主体框架100对第一隔振器310及其上的测量装置400的支撑将更加稳定。而且，如此设置，测量装置400的位置比较低，其框架的支撑平面也比较低，不仅结构紧凑，而且节省空间。

具体地，本实施例中，继续如图1和图2所示，避让槽113的深度大于第一隔振器310的高度。此种设置形式下，第一隔振器310在高度方向上完全位于避让槽113内。

具体地，本实施例中，第一横梁130具有第一凹腔131，第一凹腔131用于容纳为第二隔振器320供给压缩空气的气瓶；第二横梁140具有第二凹腔，第二凹腔用于容纳为第三隔振器330供给压缩空气的气瓶。此种设置形式下，第一横梁130对为第二隔振器320供气的气瓶形成防护，第二横梁140对为第三隔振器330供气的气瓶形成防护，第一横梁130和第二横梁140使对应的气瓶不易受到磕碰、不易损坏泄漏。

当然，在本申请的其他实施例中，为第二隔振器320供气的气瓶可以设置于第一横梁130外，为第三隔振器330供气的气瓶也可以设置于第二横梁140外，只要能够为相应的隔振器供气即可。

具体地，本实施例中，第一横梁130为工字梁，第一横梁130的开口朝外的凹陷处形成第一凹腔131；第二横梁140为工字梁，第二横梁140的开口朝外的凹陷处形成第二凹腔。工字梁便于取材，当然，在本申请的其他实施例中，第一横梁130和第二横梁140也可以仅有一者为工字梁，而另一者为其他形式的梁，例如：另一者的横截面还可以呈“匚”形。

具体地，本实施例中，如图4所示，为第二隔振器320提供压缩气体的气瓶为第一排管气瓶组230，为第三隔振器330提供压缩气体的气瓶为第二排管气瓶组(图中未示出)，两者分别通过短管穿过对应的横梁为对应的隔振器供气。采用排管气瓶，能够在满足隔振器用气需求的基础上，充分利用第一横梁130和第二横梁140的结构特点，提高空间利用率和结构紧凑性。通过短管穿过梁的上面直接通向主动隔振器。

更具体地，关于第一排管气瓶组230和第二排管气瓶组中排管气瓶的具体数量，可以根据对应的隔振器所需的气体的体积以及对应的横梁的凹腔的容积进行设置，例如：第一排管气瓶组230和第二排管气瓶组均可以包括两个气瓶，也可以均包括三个或四个气瓶，当然，第一排管气瓶组230和第二排管气瓶组所包括的排管气瓶的数量也可以不同。

具体地，本实施例中，如图1至图4所示，第二支撑件120与第一支撑件110相对设置。

具体地，本实施例中，第二支撑件120呈箱状。如此设置，第二支撑件120的承载能力比较高，而且内部还可以设置其他零部件。当然，在本申请的其他实施例中，第二支撑件120也可以呈板状，或者，第二支撑件120为“两立柱顶端固定连接有横梁”的结构，即，只要能够满足对测量装置400等的支撑需求，本申请对第二支撑件120的具体结构可以不作限制。

具体地，本实施例中，主体框架100的第一支撑件110和储气腔体111可以铸造而成，也可以通过焊接制成。

本实施例还提供一种光刻设备，如图1至图4所示，该光刻设备包括上述的主体框架100以及安置于主体框架100的第一隔振器310、第二隔振器320和第三隔振器330，还包括测量装置400，测量装置400设置于三个隔振器上。该光刻设备具有上述的主体框架100的全部优点，故在此不再赘述。

更具体地，本实施例中，如图1、图3和图4所示，测量装置400具有第一安装臂410、第二安装臂420和第三安装臂430，第一安装臂410设置于第一隔振器310，第二安装臂420设置于第二隔振器320，第三安装臂430设置于第三隔振器330，三个隔振器呈三角形布置。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种主体框架，其特征在于，包括第一支撑件(110)、第二支撑件(120)以及第一横梁(130)和第二横梁(140)，所述第一横梁(130)和所述第二横梁(140)均一端与所述第一支撑件(110)联接，另一端与所述第二支撑件(120)联接；

所述第一支撑件(110)一体设置有储气腔体(111)，所述储气腔体(111)用于储存供第一隔振器(310)使用的压缩空气；所述第一横梁(130)用于安置第二隔振器(320)，所述第二横梁(140)用于安置第三隔振器(330)，所述第一隔振器(310)、所述第二隔振器(320)和所述第三隔振器(330)用于共同支撑测量装置(400)。

2.根据权利要求1所述的主体框架，其特征在于，所述第一支撑件(110)呈板状，所述第一支撑件(110)具有第一侧和第二侧，所述第一横梁(130)和所述第二横梁(140)均位于所述第一侧，所述储气腔体(111)朝所述第一侧延伸设置。

3.根据权利要求1所述的主体框架，其特征在于，所述第一支撑件(110)呈板状，所述第一支撑件(110)具有第一侧和第二侧，所述第一横梁(130)和所述第二横梁(140)均位于所述第一侧，所述储气腔体(111)朝所述第一侧和所述第二侧均有延伸，且朝所述第一侧延伸的长度大于朝所述第二侧延伸的长度。

4.根据权利要求2或3所述的主体框架，其特征在于，沿所述第一横梁(130)和所述第二横梁(140)的排列方向，所述储气腔体(111)设置于所述第一支撑件(110)的中间部位；所述储气腔体(111)与所述第一横梁(130)之间形成第一容纳空间，所述第一容纳空间用于容置第一气瓶(210)；所述储气腔体(111)与所述第二横梁(140)之间形成第二容纳空间，所述第二容纳空间用于容置第二气瓶(220)；所述第一气瓶(210)和所述第二气瓶(220)均与所述储气腔体(111)连通。

5.根据权利要求4所述的主体框架，其特征在于，所述储气腔体(111)的上壁设置有供气口(112)，通过所述供气口(112)为所述第一隔振器(310)供气。

6.根据权利要求1所述的主体框架，其特征在于，所述第一支撑件(110)的上边缘设置有避让槽(113)，所述避让槽(113)的槽底与所述储气腔体(111)的上壁平齐，且所述避让槽(113)的深度大于所述第一隔振器(310)的高度。

7.根据权利要求1所述的主体框架，其特征在于，所述第一横梁(130)具有第一凹腔(131)，所述第一凹腔(131)用于容纳为所述第二隔振器(320)供给压缩空气的气瓶；

和/或，所述第二横梁(140)具有第二凹腔，所述第二凹腔用于容纳为所述第三隔振器(330)供给压缩空气的气瓶。

8.根据权利要求7所述的主体框架，其特征在于，所述第一横梁(130)为工字梁，所述第一横梁(130)的开口朝外的凹陷处形成所述第一凹腔(131)；

和/或，所述第二横梁(140)为工字梁，所述第二横梁(140)的开口朝外的凹陷处形成所述第二凹腔。

9.根据权利要求1所述的主体框架，其特征在于，所述第二支撑件(120)与所述第一支撑件(110)相对设置。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的主体框架(100)以及安置于所述主体框架(100)的所述第一隔振器(310)、所述第二隔振器(320)和所述第三隔振器(330)，还包括所述测量装置(400)，所述测量装置(400)设置于三个所述隔振器上。