CN220819328U - 一种单晶炉电极检漏用隔离装置 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉电极检漏用隔离装置，包括隔离筒和配合使用的隔离盖，将所述隔离筒安装到不锈钢电极上，隔离筒底部沿中心线对称设有第二密封环，通过螺帽将第二密封环完全贴紧炉底盘不锈钢密封面。隔离筒和隔离盖配合使用将除电极外的其余部件隔离密封起来，进行检测时可以快速确定是电极漏气还是隔离部分漏气，即可以快速排查漏气电极，快速修复故障原因，提高工作效率，做到提产增效的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶制造技术领域，具体涉及一种单晶炉电极检漏用隔离装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备单晶无为错生长的前提条件是单晶炉处于真空状态，不能漏气，否则单晶拉制参数不合格甚至报废。
单晶炉漏气故障可以说是设备最频繁最费时的故障，如何降低漏气故障率尤为重要。一般情况下，单晶炉漏气零部件很好检查比如窥视孔、密封环等，但四个电极就不太容易检查，因为需要拆卸，而拆卸空间较为狭小，工作量反而较大，需要多人配合，安装不好还有漏气风险，严重影响单晶炉生产效率。
实用新型内容
为了克服以上不足，本实用新型提供一种单晶炉电极检漏用隔离装置，可以快速排查漏气电极，快速修复故障原因，提高工作效率，提产增效，本实用新型采用的技术方案为：
一种单晶炉电极检漏用隔离装置，包括隔离筒和配合使用的隔离盖，将所述隔离筒安装到不锈钢电极上，隔离筒底部沿中心线对称设有第二密封环，通过螺帽将第二密封环完全贴紧炉底盘不锈钢密封面。
进一步优化，所述隔离筒和隔离盖的外周对称设有两个卡扣组合，通过拧紧螺丝将隔离盖和隔离筒压紧密封。
进一步优化，所述隔离筒底部设有凹槽，密封环设于所述凹槽内。
进一步优化，所述隔离盖上设有第一密封环。
进一步优化，还包括龙骨，所述龙骨和第一密封环为一体结构，龙骨的上下两端卡槽进入隔离盖和隔离筒密封面卡槽，保持龙骨定位不移动，第一密封环卡在龙骨圆弧状的圆周上以防止第一密封环脱落，隔离盖和隔离筒的密封面紧密贴合在第一密封环上以实现密封。
本实用新型的有益效果为：
隔离筒和隔离盖配合使用将除电极外的其余部件隔离密封起来，进行检测时可以快速确定是电极漏气还是隔离部分漏气，即可以快速排查漏气电极，快速修复故障原因，提高工作效率，做到提产增效的目的。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1、隔离盖，2、卡扣组合，3、第一密封环，4、螺帽，5、隔离筒，6、第二密封环，7、龙骨，8、螺丝。
具体实施方式
下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
一种单晶炉电极检漏用隔离装置，包括龙骨7、隔离筒5和配合使用的隔离盖1， 将所述隔离筒5安装到不锈钢电极上，隔离筒5底部沿中心线对称设有第二密封环6，所述隔离筒5底部设有凹槽，第二密封环6设于所述凹槽内，通过螺帽将第二密封环6完全贴紧炉底盘的不锈钢密封面，起到密封作用，隔离筒5和隔离盖1的外周对称设有两个卡扣组合2，通过拧紧螺丝8将隔离盖1和隔离筒5压紧密封。
隔离盖1上设有第一密封环3，龙骨7和第一密封环3为一体结构，龙骨7上下两端卡槽进入隔离盖1和隔离筒5密封面卡槽，保持龙骨7定位不移动，密封环3卡在龙骨7圆弧状的圆周上防止第一密封环3脱落，这样隔离盖1和隔离筒5二者的密封面就紧密贴合在第一密封环3上，形成密封。
该装置把整个单晶炉密封起来，与电极完全隔离，此时只需要检测其余部件是否漏气，如否就可以确定是电极漏气造成，然后拆除两个电极，再次检漏，以此类推，逐步排查确定漏气电极，快速修复漏气故障。
该实用新型可以快速排查漏气电极，快速修复故障原因，提高工作效率，做到提产增效的目的。
以上显示和描述了本实用新型的主要特征、使用方法、基本原理以及本实用新型的优点。本行业技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种单晶炉电极检漏用隔离装置，包括隔离筒（5）和配合使用的隔离盖（1），其特征在于，将所述隔离筒（5）安装到不锈钢电极上，隔离筒（5）底部沿中心线对称设有第二密封环（6），通过螺帽（4）将第二密封环（6）完全贴紧炉底盘的不锈钢密封面。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉电极检漏用隔离装置，其特征在于，所述隔离筒（5）和隔离盖（1）的圆周对称设有四个卡扣组合（2），拧紧螺丝（8）将卡扣组合（2）压紧，进而将隔离盖（1）和隔离筒（5）压紧在密封环（3）上，形成密封。
3.如权利要求1所述的一种单晶炉电极检漏用隔离装置，其特征在于，所述隔离筒（5）底部设有凹槽，第二密封环（6）设于所述凹槽内。
4.如权利要求1所述的一种单晶炉电极检漏用隔离装置，其特征在于，所述隔离盖（1）上设有第一密封环（3）。
5.如权利要求4所述的一种单晶炉电极检漏用隔离装置，其特征在于，还包括龙骨（7），所述龙骨（7）和第一密封环（3）为一体结构，龙骨（7）的上下两端卡槽进入隔离盖（1）和隔离筒（5）密封面卡槽，保持龙骨（7）定位不移动，第一密封环（3）卡在龙骨（7）圆弧状的圆周上以防止第一密封环（3）脱落，隔离盖（1）和隔离筒（5）的密封面紧密贴合在密封环（3）上以实现密封。
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