CN220794146U - 调节机构及校准装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种调节机构，应用于检测机构，检测机构包括检测平台以及相对检测平台设置的检测件，调节机构包括：底座，与检测平台连接；转动件，设于底座上并与底座转动连接；承载件，设于检测平台上并用于承载工件，且承载件的一端与转动件相对应；调节件，活动连接底座并用于抵推转动件弹性件，设于所述底座，且所述弹性件的两端分别抵持所述底座及所述转动件。上述调节机构的调节件在转动过程中抵推转动件，以使得转动件推动承载件相对检测件移动，从而实现对位于承载件上工件相对检测件的位置的调节，劳动强度低，提高了对位于承载件上的工件的调节效率及调节精度。本实用新型还提供一种包括调节机构及检测机构的校准装置。

Description

调节机构及校准装置

技术领域

本实用新型涉及校准装配技术领域，具体涉及一种调节机构及校准装置。

背景技术

采用测量显微镜等检测件校准工件(特别是芯片等小件)的位置时，一般先将工件放置在检测件的检测平台上，然后利用检测件获取工件的图像以判断工件的位置是否准确，若工件放置的位置存在偏差，则人工重新摆放工件，直至工件的位置放置准确。然而，人工重复摆放工件的劳动强度大，导致工件的调节效率低，且人工作业的精度低。

实用新型内容

鉴于以上内容，有必要提供一种调节机构及校准装置，以提高调节效率和调节精度。

本实用新型实施例提供一种调节机构，应用于检测机构，所述检测机构包括检测平台以及相对所述检测平台设置的检测件，所述调节机构包括：

底座，与所述检测平台连接；

转动件，设于所述底座上并与所述底座转动连接；

承载件，设于所述检测平台上并用于承载工件，且所述承载件的一端用于与所述转动件相抵持；

调节件，活动连接所述底座并用于抵推所述转动件；

弹性件，设于所述底座，且所述弹性件的两端分别抵持所述底座及所述转动件；其中，

所述调节件转动时可抵推所述转动件转动，以使所述转动件抵推所述承载件相对所述检测平台移动并压缩所述弹性件，从而调节位于所述承载件上的工件相对所述检测件的位置。

采用上述调节机构配合检测机构作业时，调节件在转动过程中抵推转动件，以使得转动件推动承载件相对检测件移动，从而实现对位于承载件上工件相对检测件的位置的调节，作业简单、劳动强度低，提高了对位于承载件上的工件的调节效率，此外，转动件在调节件的抵推下对承载件的推动精度高，提高了对位于承载件上的工件的调节精度。

在一些实施例中，所述底座包括：

固定件，与所述检测平台连接；

联动件，所述联动件的一端连接所述固定件背离所述检测平台的一侧，所述联动件的另一端并活动插设于所述转动件。

在一些实施例中，所述固定件包括：

固定体，与所述检测平台及所述联动件连接；

两个安装体，均连接所述固定体，并位于所述联动件的两侧，其中一个所述安装体与所述调节件活动连接，另一个所述安装体抵持于所述弹性件。

在一些实施例中，两个所述安装体以所述联动件为中心呈对称设置。

在一些实施例中，所述固定体上开设有收容槽，所述收容槽与远离所述调节件的所述安装体相对设置，以用于收容部分所述弹性件。

在一些实施例中，所述转动件包括：

转动体，设于所述底座上并与所述底座转动连接；

两个推动体，连接于所述转动体的两端，其中一个所述推动体用于抵持所述调节件，另一个所述推动体用于抵持所述弹性件。

在一些实施例中，所述转动件还包括：

导向体，与抵持于所述弹性件的所述推动体连接，用于插设于所述弹性件。

在一些实施例中，所述转动体开设有减重槽，所述减重槽设于两个所述推动体之间。

在一些实施例中，所述转动体的宽度小于所述底座的宽度，以使所述转动体与所述底座形成台阶结构。所述承载件包括承载体、连接体及抵持体，所述承载体用于活动设于所述检测平台，所述连接体的两端分别连接所述承载体及所述抵持体，所述抵持体用于活动设于所述底座并与所述转动体相对应。

本实用新型实施例还提供一种校准装置，包括：

上述实施例所述的调节机构；

检测机构，包括检测平台、支架以及检测件，所述检测平台与所述底座连接，所述支架的一端连接所述检测平台，所述检测件连接所述支架的另一端，并与所述检测平台间隔设置，所述承载件设于所述检测平台和所述检测件之间，并用于承载工件。

附图说明

图1为本实用新型实施例校准装置的结构示意图。

图2为适用于本申请实施例校准装置的工件的俯视示意图。

图3为图1所示校准装置中调节机构的结构示意图。

图4为图3所示调节机构的分解示意图。

主要元件符号说明

调节机构 100

底座 110

固定件 111

固定体 1111

收容槽 1111a

安装体 1112

联动件 112

转动件 120

活动孔 120a

转动体 121

减重槽 121a

推动体 122

导向体 123

承载件 130

承载体 131

连接体 132

抵持体 133

调节件 140

弹性件 150

校准装置 1000

检测机构 200

检测平台 210

检测件 220

支架 230

工件 20

底板 21

芯片 22

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下结合附图，对本案的各实施例进行详细说明。

请参见图1，本实用新型实施例提供一种调节机构100，应用于检测机构200，检测机构200包括检测平台210以及相对检测平台210设置的检测件220。其中，调节机构100用于承载并调节工件相对检测件220的位置，实现对工件的位置的校正，以便于调节后的工件进入后一流程，例如：封装、焊接、蚀刻等。具体地，工件可以为单个芯片，也可以为包括底板以及阵列放置在底板上的多个芯片。示例性地，检测件220可以为测量显微镜。

请参见图1和图2，本实施例中，工件20包括底板21以及阵列设置在底板21上的多个芯片22。其中，底板21和芯片22均大致呈方形，X轴和Y轴交叉形成测量显微镜的十字光标，调节机构100用于带动工件20移动，以使得底板21的边缘与十字光标对齐。

请参见图1和图3，调节机构100包括底座110、转动件120、承载件130、调节件140及弹性件150。底座110与检测平台210连接，转动件120设于底座110上并与底座110转动连接，承载件130设于检测平台210上并用于承载工件20，且承载件130的一端用于与转动件120相抵持，调节件140活动连接底座110并用于抵推转动件120，弹性件150设于底座110，且弹性件150的两端分别抵持底座110及转动件120。调节件140转动时可抵推转动件120转动，以使转动件120抵推承载件130相对检测平台210移动并压缩弹性件150，从而调节位于承载件130上的工件20相对检测件220的位置。

本实施例中，弹性件150以为弹簧，调节件140以为螺栓，调节件140与底座110为螺纹连接。

采用上述调节机构100配合检测机构200作业时，调节件140在转动过程中抵推转动件120，以使得转动件120推动承载件130相对检测件220移动，从而实现对位于承载件130上工件20相对检测件220的位置的调节，作业简单、劳动强度低，提高了对位于承载件130上的工件20的调节效率，此外，转动件120在调节件140的抵推下对承载件130的推动精度高，提高了对位于承载件130上的工件20的调节精度。

请参见图4，在一些实施例中，底座110包括固定件111及联动件112。固定件111与检测平台210连接，联动件112连接固定件111背离检测平台210的一侧，并活动插设于转动件120。

本实施例中，转动件120开设有活动孔120a，联动件112的一端活动连接于固定件111，联动件112的另一端与活动孔120a的形状相适配并活动插设于活动孔120a内。

本实施例中，联动件112的一端设有螺纹段，与固定件111螺纹连接。可以理解地，在其他实施例中，联动件112的一端也可以与固定件111形成卡持配合，只要能满足联动件112与固定件111的可拆卸连接即可。

故此，联动件112、固定件111及转动件120相互之间形成可拆卸连接，便于调节机构100的拆装，有利于提高调节机构100的拆装效率，此外，便于联动件112、固定件111、转动件120的单独更换，有利于降低调节机构100的维修成本。

请参见图4，在一些实施例中，固定件111包括固定体1111及两个安装体1112。固定体1111与检测平台210及联动件112连接，两个安装体1112均连接固定体1111，并位于联动件112的两侧，其中一个安装体1112与调节件140活动连接，另一个安装体1112抵持于弹性件150。

本实施例中，安装体1112及固定体1111均大致呈板状结构，且两个安装体1112位于固定体1111的同侧。

故此，固定体1111及两个安装体1112可单独制作，并能够以组装的方式形成固定件111，有利于降低固定件111的制作成本。

在一些实施例中，两个安装体1112以联动件112为中心呈对称设置，使得调节件140作用于转动件120上的点与弹性件150作用于转动件120上的点以联动件112为中心呈对称设置，有利于提高转动件120相对底座110转动的稳定性。

请参见图4，在一些实施例中，固定体1111上开设有收容槽1111a，收容槽1111a与远离调节件140的安装体1112相对设置，以用于收容部分弹性件150。具体地，弹性件150沿其径向的高度大于收容槽1111a的深度，使得弹性件150的部分收容于收容槽1111a内，有利于降低弹性件150在伸缩过程中沿其径向的晃动，从而提高弹性件150所产生的弹力的稳定性。

请参见图4，在一些实施例中，转动件120包括转动体121及两个推动体122。转动体121设于底座110上并与底座110转动连接，两个推动体122连接于转动体121的两端，其中一个推动体122用于抵持调节件140，另一个推动体122用于抵持弹性件150。其中，调节机构100在装配后调节件140抵持于对应的推动体122，弹性件150抵持于对应的推动体122。

本实施例中，转动体121设于固定体1111并开设有活动孔120a。每个推动体122大致呈L形，且两个推动体122以活动孔120a为中心呈对称设置。

本实施例中，顺时针转动调节件140，调节件140可抵推对应的推动体122以带动转动体121逆时针转动，使得转动体121推动承载件130沿逆时针方向移动，从而实现承载件130沿逆时针方向的角度调节。逆时针转动调节件140，调节件140远离对应的推动体122，弹性件150被释放的弹力则弹性抵推对应的推动体122带动转动体121顺时针转动，使得转动体121推动承载件130沿顺时针方向移动，从而实现承载件130沿顺时针方向的角度调节。

可以理解地，在其他实施例中，调节件140的转动方向与承载件130的角度调节方向可一致。具体地，顺时针转动调节件140，承载件130沿顺时针方向的角度调节，逆时针转动调节件140，承载件130沿逆时针方向的角度调节。

请参见图4，在一些实施例中，转动件120还包括导向体123。导向体123与抵持于弹性件150的推动体122连接，并插设于弹性件150。具体地，导向体123为圆柱体，弹性件150沿其轴向凸出导向体123，以实现与安装体1112的抵持。

故此，导向体123可在其轴向对弹性件150进行限位，避免弹性件150在伸缩过程中沿水平方向发生偏移，提高弹性件150所产生的弹力的稳定性。

请参见图4，在一些实施例中，转动体121开设有减重槽121a，减重槽121a设于两个推动体122之间。故此，减重槽121a可减少转动体121的重量，有利于使得推动体122在调节件140的抵推下带动转动体121转动。

请参见图3和图4，在一些实施例中，转动体121的宽度小于底座110中固定体1111的宽度，以使转动体121与底座110的固定体1111形成台阶结构。承载件130包括承载体131、连接体132及抵持体133，承载体131用于活动设于检测平台210，连接体132的两端分别连接承载体131及抵持体133，抵持体133用于活动设于底座110并与转动体121相对应。本实施例中，连接体132垂直于承载体131及抵持体133。需要说明的是，本实施例中的宽度方向是指弹性件150的伸缩方向。

故此，转动体121与固定体1111形成的台阶结构可导引抵持体133移动，有利于提高承载件130在检测平台210上移动的稳定性。

请参见图1，本实用新型实施例还提供一种校准装置1000，包括上述的调节机构100及检测机构200。具体地，检测机构200包括检测平台210、支架230以及检测件220，检测平台210与底座110的固定体1111连接，支架230的一端连接检测平台210，检测件220连接支架230的另一端，并与检测平台210间隔设置，承载件130设于检测平台210和检测件220之间，并用于承载工件20。

以工件20包括底板21及多个阵列设置在底板21上的芯片22为例，上述校准装置1000的作业过程大致如下：

首先，放置工件20至检测平台210上，其中，多个芯片22位于底板21和检测件220之间；

其次，转动调节件140，调节件140在转动时抵推转动件120转动，以使转动件120抵推承载件130相对检测平台210移动并压缩弹性件150，从而调节位于承载件130上的工件20相对检测件220的位置，直至工件20中底板21的边缘与检测件220的十字光标中的X轴对齐；

然后，将检测件220中X轴的数显清零，手动移动检测平台210，使得检测件220的十字光标的X轴与芯片22的边缘对齐，得到芯片22在X轴方向的位置信息；

最后，通过同样的方式得到芯片22在Y轴方向的位置信息。

通过上述校准装置1000可校准工件20中底板21及芯片22的位置信息，便于工件20后续的封装、研磨及蚀刻等作业。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本实用新型内。

最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种调节机构，应用于检测机构，所述检测机构包括检测平台以及相对所述检测平台设置的检测件，其特征在于，所述调节机构包括：

底座，与所述检测平台连接；

转动件，设于所述底座上并与所述底座转动连接；

承载件，设于所述检测平台上并用于承载工件，且所述承载件的一端用于与所述转动件相抵持；

调节件，活动连接所述底座并用于抵推所述转动件；

弹性件，设于所述底座，且所述弹性件的两端分别抵持所述底座及所述转动件；其中，

所述调节件转动时可抵推所述转动件转动，以使所述转动件抵推所述承载件相对所述检测平台移动并压缩所述弹性件，从而调节位于所述承载件上的工件相对所述检测件的位置。

2.如权利要求1所述的调节机构，其特征在于，所述底座包括：

固定件，与所述检测平台连接；

联动件，所述联动件的一端连接所述固定件背离所述检测平台的一侧，所述联动件的另一端活动插设于所述转动件。

3.如权利要求2所述的调节机构，其特征在于，所述固定件包括：

固定体，与所述检测平台及所述联动件连接；

两个安装体，均连接所述固定体，并位于所述联动件的两侧，其中一个所述安装体与所述调节件活动连接，另一个所述安装体抵持于所述弹性件。

4.如权利要求3所述的调节机构，其特征在于，

两个所述安装体以所述联动件为中心呈对称设置。

5.如权利要求3所述的调节机构，其特征在于，

所述固定体上开设有收容槽，所述收容槽与远离所述调节件的所述安装体相对设置，以用于收容部分所述弹性件。

6.如权利要求1所述的调节机构，其特征在于，所述转动件包括：

转动体，设于所述底座上并与所述底座转动连接；

两个推动体，连接于所述转动体的两端，其中一个所述推动体用于抵持所述调节件，另一个所述推动体用于抵持所述弹性件。

7.如权利要求6所述的调节机构，其特征在于，所述转动件还包括：

导向体，与抵持于所述弹性件的所述推动体连接，并插设于所述弹性件。

8.如权利要求6所述的调节机构，其特征在于，

所述转动体开设有减重槽，所述减重槽设于两个所述推动体之间。

9.如权利要求6所述的调节机构，其特征在于，

所述转动体的宽度小于所述底座的宽度，以使所述转动体与所述底座形成台阶结构；

所述承载件包括承载体、连接体及抵持体，所述承载体用于活动设于所述检测平台，所述连接体的两端分别连接所述承载体及所述抵持体，所述抵持体用于活动设于所述底座并与所述转动体相对应。

10.一种校准装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至9中任一项所述的调节机构；

检测机构，包括检测平台、支架以及检测件，所述检测平台与所述底座连接，所述支架的一端连接所述检测平台，所述检测件连接所述支架的另一端，并与所述检测平台间隔设置，所述承载件设于所述检测平台和所述检测件之间，并用于承载工件。