CN220760367U - 一种电子显微镜清洗设备 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 2
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 241000270722 Crocodylidae Species 0.000 description 2
- LNNWVNGFPYWNQE-GMIGKAJZSA-N desomorphine Chemical compound C1C2=CC=C(O)C3=C2[C@]24CCN(C)[C@H]1[C@@H]2CCC[C@@H]4O3 LNNWVNGFPYWNQE-GMIGKAJZSA-N 0.000 description 2
- 241000270728 Alligator Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- IYRDVAUFQZOLSB-UHFFFAOYSA-N copper iron Chemical compound [Fe].[Cu] IYRDVAUFQZOLSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFZAUHNPPZCSCR-UHFFFAOYSA-N iron zinc Chemical compound [Fe].[Zn] KFZAUHNPPZCSCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]
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Abstract
本实用新型属于光学辅助设备技术领域，具体涉及一种电子显微镜清洗设备；其包括真空泵以及供电设备；所述真空泵与电子光学配件连通；所述供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接。本申请提供的电子显微镜清洗设备中供电设备的两个电极端分别与电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接，且通过真空泵调整电子光学配件内部的真空度，供电设备的两个电极端在一定的真空情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，该等离子体轰击待清洗组件的表面，以达到清洗目的，使得电子显微镜的清理更加的简单、方便。
Description
技术领域
本实用新型属于光学辅助设备技术领域，具体涉及一种电子显微镜清洗设备。
背景技术
电子枪、离子枪和镜筒是电子显微镜及聚焦粒子束中的电子光学部分，在电子枪、离子枪和镜筒部分，不同品牌的电子显微镜的结构不同，但是，大多都包含了电子光学聚光镜、偏转器、消像散器、物镜以及光阑等多种电子光学组件。
在电子显微镜使用一段时间后，镜筒内部以及电子枪都会受到一定的污染，该污染物会使电子显微镜的图像质量下降，甚至会导致镜筒内部放电而出现短路的情况，致使整个电子显微镜无法进行正常的工作。
目前，上述问题的解决办法是直接更换镜筒和电子枪，或者是将镜筒和枪拆下后返厂，再由厂家进行拆解后，更换内部严重污染的组件；但是，该处理方法的价格昂贵并且需要花费较长的时间。因此，提供一种便于电子显微镜光学设备清洗的设备和方法，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型提供一种电子显微镜清洗设备，以解决现有技术中存在的电子显微镜受污染后的处理方式复杂，且需要消耗较高的经济成本和时间成本的技术问题。
本实用新型通过以下技术方案具体实现：
一方面，本实用新型提供一种电子显微镜清洗设备，包括真空泵以及供电设备；
所述真空泵与电子光学配件连通；
所述供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述电子光学配件包括镜筒，所述真空泵与所述镜筒连通，所述待清洗组件设置在所述镜筒的内部。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述电子光学配件包括电子枪，所述真空泵与所述电子枪连通，所述待清洗组件设置在所述电子枪的内部。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述镜筒上设置有导电支脚A，所述供电设备通过所述导电支脚A与所述镜筒电连接。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述待清洗组件上设置有导电支脚B，所述导电支脚B的连接端穿过所述镜筒与所述供电设备电连接。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述供电设备包括升压变压器。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述升压变压器的输出电压为500V的交流电。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述供电设备的两个电极端均设置有夹持装置，所述供电设备通过所述夹持装置可拆卸的与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接。
为了更好的实现本实用新型，在上述结构中作进一步的优化，所述供电设备的电路上设置有电流检测电路，且所述电流检测电路上设置有启辉指示灯。
另一方面，本实用新型还提供一种电子显微镜清洗方法，所述方法采用上述的设备进行以下步骤：
将供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接；
通过真空泵调整电子光学配件内的真空度；
启动供电设备对待清洗组件进行清洗工作。
本申请采用以上技术方案，至少具备以下有益效果：
本申请提供的电子显微镜清洗设备中供电设备的两个电极端分别与电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件电连接，且通过真空泵调整电子光学配件内部的真空度，供电设备的两个电极端在一定的真空情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，等离子体轰击待清洗组件的表面，以达到清洗目的，使得电子显微镜的清理更加的简单、方便。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一种电子显微镜清洗设备的结构示意图。
附图标记：
1、供电设备；
21、镜筒；22、待清洗组件；
31、导电支脚A；32、导电支脚B；
4、电流检测电路；41、启辉指示灯。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。
实施例一：
如图1所示：
一种电子显微镜清洗设备，其包括真空泵以及供电设备1；其中，
真空泵与电子光学配件连通；
供电设备1的两个电极端分别与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22电连接。
在清洗过程中，工作人员可以启动真空泵，使得电子光学配件的内部处于真空状态，然后再启动供电设备1，此时，工作人员可以调整真空泵的功率，以实现对电子光学配件内部的真空度的调整，使供电设备1的两个电极端能够在一定的真空情况下起辉，并产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击待清洗组件22的表面，以达到清洗目的。
通过该电子显微镜清洗设备来清洗电子显微镜的方式能够简化清洗步骤，且整个清洗过程中无需拆解电子显微镜，使得电子显微镜的清洗更加的方便，并有效的降低电子显微镜的清洗成本和时间成本。
需要说明的是，上述的真空泵可以采用电子显微镜自带的真空设备，该真空泵在工作过程中还能够将被等离子体轰击下的污物由电子光学配件的内部抽吸出去，以避免该部分污物再次附着到电子光学配件内部的零部件上的情况发生，以提高该电子显微镜清洗设备的清洗效果。
优化的，上述的供电设备1的电路上设置有电流检测电路4，且电流检测电路4上设置有启辉指示灯41；
该电流检测电路4能够检测镜筒21内的真空情况，以判断电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22是否有启辉放电，也即电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22之间是否能够产生等离子体，从而判断该电子显微镜清洗设备能否对待清洗组件22进行清洗工作。
优化的，上述的电子光学配件包括镜筒21；其中，
上述的待清洗组件22设置在镜筒21的内部，真空泵与镜筒21连通，其能够抽吸镜筒21内部的空气，以调整镜筒21内部的真空度，使得供电设备1的两个电极端能够在一定的真空情况下起辉，并产生高能量的无序的等离子体。
上述的待清洗组件22包括设置在镜筒21内部的电子光学聚光镜、偏转器、消像散器、物镜以及光阑等多种电子光学组件。
优化的，上述的镜筒21上设置有导电支脚A31，该导电支脚A31的设置使得供电设备1的电极端与镜筒21的连接更加的方便，以使该电子显微镜的清洗更加的简单、方便。
优化的，上述的待清洗组件22上设置有导电支脚B32，导电支脚B32的连接端穿过镜筒21与供电设备1电连接，使得供电设备1的电极端与镜筒21的连接更加的方便。
需要说明的是，上述的导电支脚A31与导电支脚B32均由导电性良好的金属材料制成，其结构可以设置为杆状或者线状结构，且在导电支脚A31的中部以及导电支脚B32的中部均设置有绝缘保护层，以使该电子显微镜清洗设备的使用更加的安全。
优化的，上述的供电设备1的两个电极端均设置有夹持装置；其中，
供电设备1通过夹持装置可拆卸的与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22电连接，以使供电设备1与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22的连接更加的方便。
需要说明的是，夹持装置可以为鳄鱼夹；鳄鱼夹又叫做弹簧夹或者电夹，其可用以暂时性电路连接，形似鳄鱼嘴的接线端子，其材料一般为纯铜、铁镀镍、铁镀锌、铁镀铜或者不锈钢等。
优化的，上述的供电设备1包括升压变压器，升压变压器可以直接插设在电源上，为该电子显微镜清洗设备提供其工作时所需的电能。
优选的，上述的升压变压器的输出电压为500V的交流电。
需要说明的是，该电子显微镜清洗设备还能够对电子显微镜中的电子枪进行清洗，其安装方式与上述的镜筒21的安装方式相同，也即将供电设备1的一个电极端与电子枪的壳体连接，另一个电极端则与电子枪内的待清洗部件连接；
然后，启动真空泵，使得电子光学配件的内部处于真空状态，然后在启动供电设备1，此时，工作人员可以调整真空泵的功率，以实现对电子光学配件内部的真空度的调整，使供电设备1的两个电极端能够在一定的真空情况下起辉，并产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击待清洗组件22的表面，以达到清洗目的。
实施例二：
如图1所示：
一种电子显微镜清洗方法，该方法采用实施例一中记载的电子显微镜清洗设备进行以下步骤：
将供电设备1的两个电极端分别与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22电连接，并开启真空泵抽吸电子光学配件的空气，使电子光学配件的内部处于真空状态；
随后，工作人员便可以启动供电设备1，由于电子光学配件的内部的真空度比较好，在电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22之间没有辉光放电，电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22之间便不会产生等离子体；
工作人员便可以操控真空泵来降低电子光学配件内部的真空度，同时观察该电子显微镜清洗设备上的启辉指示灯41；若启辉指示灯41亮，则表示已经启辉，开始产生等离子体，此时，工作人员可以稳定真空泵，以停止变化电子光学配件内部的真空度，使该电子显微镜清洗设备能够进行稳定的清洗工作，这时电子光学配件内部的待清洗组件22在等离子体的轰击状态将污物清理，并使污物被真空泵抽走，以完成电子显微镜的清洗工作。
如果在停止变化电子光学配件内部的真空度时，启辉指示灯41再次熄灭，则需要重新调整真空度，以使该电子显微镜清洗设备能够达到稳定的清洗状态。
需要说明的是，该电子显微镜清洗设备的工作时间为2-3小时；工作人员可以根据电子光学配件内部的待清洗组件22的干净程度判断清洗时间。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (9)
1.一种电子显微镜清洗设备，其特征在于：包括真空泵以及供电设备(1)；
所述真空泵与电子光学配件连通；
所述供电设备(1)的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件(22)电连接。
2.根据权利要求1所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述电子光学配件包括镜筒(21)，所述真空泵与所述镜筒(21)连通，所述待清洗组件(22)设置在所述镜筒(21)的内部。
3.根据权利要求1所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述电子光学配件包括电子枪，所述真空泵与所述电子枪连通，所述待清洗组件(22)设置在所述电子枪的内部。
4.根据权利要求2所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述镜筒(21)上设置有导电支脚A(31)，所述供电设备(1)通过所述导电支脚A(31)与所述镜筒(21)电连接。
5.根据权利要求4所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述待清洗组件(22)上设置有导电支脚B(32)，所述导电支脚B(32)的连接端穿过所述镜筒(21)与所述供电设备(1)电连接。
6.根据权利要求1所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述供电设备(1)包括升压变压器。
7.根据权利要求6所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述升压变压器的输出电压为500V的交流电。
8.根据权利要求7所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述供电设备(1)的两个电极端均设置有夹持装置，所述供电设备(1)通过所述夹持装置可拆卸的与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的待清洗组件(22)电连接。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子显微镜清洗设备，其特征在于：所述供电设备(1)的电路上设置有电流检测电路(4)，且所述电流检测电路(4)上设置有启辉指示灯(41)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322259659.6U CN220760367U (zh) | 2023-08-22 | 2023-08-22 | 一种电子显微镜清洗设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322259659.6U CN220760367U (zh) | 2023-08-22 | 2023-08-22 | 一种电子显微镜清洗设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220760367U true CN220760367U (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=90617725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322259659.6U Active CN220760367U (zh) | 2023-08-22 | 2023-08-22 | 一种电子显微镜清洗设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220760367U (zh) |
-
2023
- 2023-08-22 CN CN202322259659.6U patent/CN220760367U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |