CN220753392U - 一种可调平面度的静电吸盘装夹治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，包括有固定底座，所述固定底座上设置有若干高度调节件，各个所述高度调节件环形排列，所述高度调节件远离固定底座一端连接有支撑盘，所述支撑盘与固定底座之间留有调节间隙，各个所述高度调节件设置在调节间隙中，静电吸盘放置在所述支撑盘远离固定底座一端。本实用新型提供了一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，能够在装夹完成后根据测量尺寸进行自适应地高度调整，从而保证产品与电极层距离的均匀性，且装夹之后调整平面度无需拆卸静电吸盘，直接对夹具进行调整，提高了工作效率。

Description

一种可调平面度的静电吸盘装夹治具

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种可调平面度的静电吸盘装夹治具。

背景技术

我国半导体行业最近几年发展速度非常快，目前全国已经有上百家半导体的设计和生产厂家，但半导体设备陶瓷部件的生产在国内仍占比重较小，很多技术方面问题没有得到有效解决，对于规则平面类产品的平面加工，选用平面磨床加工效率较快，而且精度较高，平磨常规的装夹是将产品放置与平台上,通过挡块、压块约束等装夹方法。

例如公开号“CN218285072U”，公开了“一种ESC静电吸盘绝缘涂层研磨夹具”，包括：固定板，所述固定板的一侧固定连接筒壳，所述筒壳的内部转动连接有转轴，所述筒壳远离固定板的一端设置有夹持装置，所述夹持装置的数量有两个，且关于筒壳对称分布。但是在实际应用中，通过上述的装夹方法，无法根据实际需求来调节加工的平面度，平面度直接受到夹块、底面支撑的影响。

发明内容

针对背景技术中提到的现有技术存在装夹完成后平面度无法调整的问题，本实用新型提供了一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，能够在装夹完成后根据测量尺寸进行自适应地高度调整，从而保证产品与电极层距离的均匀性，且装夹之后调整平面度无需拆卸静电吸盘，直接对夹具进行调整，提高了工作效率。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案。

一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，包括有固定底座，所述固定底座上设置有若干高度调节件，各个所述高度调节件环形排列，所述高度调节件远离固定底座一端连接有支撑盘，所述支撑盘与固定底座之间留有调节间隙，各个所述高度调节件设置在调节间隙中，静电吸盘放置在所述支撑盘远离固定底座一端。在本实用新型中，通过设置分离的固定底座以及支撑盘来实现对静电吸盘的平面度调整，其中固定底座与支撑盘之间留有调节间隙，在调节间隙中放置有高度调节件，其中固定底座与支撑盘便通过高度调节件进行连接，其中高度调节件包括但不限于螺栓、电缸、油缸等能够升降调节的部件，其中高度调节件由于是环形分布的，因此在装夹完成后，用涡流测试仪测量产品表面到电极层的距离，根据实际的使用需求来对相应的一侧进行顶升或降低，磨削时自然会多磨或少磨该处产品高度，保证产品与电极层距离的均匀性，且调节过程只需要对高度调整件进行调节即可，无需对静电吸盘进行重新的拆装，保证工作的效率。

作为优选，所述高度调节件为调节螺栓，所述调节螺栓包括有螺纹部，所述螺纹部与固定底座螺纹连接。通过螺纹连接的调节螺栓来控制调节间隙的尺寸，其中调节螺栓由于螺纹连接能够保证支撑的稳定性，且由于调节螺栓的调节方向为顺时针或逆时针，而调节螺栓的受力方向为平行于重力方向，因此在支撑过程中不会改变调节螺栓的调节尺寸，从而保证研磨质量，且设置调节螺栓也能够保证整体的结构简单。

作为优选，所述支撑盘靠近固定底座一侧设置有沉孔，所述调节螺栓包括有支撑部，所述支撑部与沉孔抵接。支撑盘上设置的沉孔与调节螺栓的支撑部抵接，在获得调节螺栓支撑的同时，避免了调节螺栓的转动对支撑盘产生影响，同时支撑部一般为螺帽，也同时方便拧动调节螺栓，提高操作的便捷性。

作为优选，所述支撑盘上设置有与固定底座连接的加固件。加固件能够在设置好支撑盘与固定底座之间的距离后，对支撑盘与固定底座进行紧固连接，从而避免在加工过程中由于支撑盘没有与高度调节件进行连接导致的支撑盘晃动，保证了支撑盘的稳定性。

作为优选，所述支撑盘上设置有连接通孔，所述加固件为紧固螺栓，所述紧固螺栓穿过连接通孔与固定底座连接。加固件为紧固螺栓，紧固螺栓穿过连接通孔与固定底盘进行螺纹连接，从而紧固两者，并且由于紧固螺栓从远离固定底座一端向下穿过连接通孔，因此对于紧固螺栓的紧固与拆卸都在支撑盘远离固定底座一侧进行，避免了对已调节好的高度调节件产生干涉，保证支撑盘的位置精度。

作为优选，所述支撑盘远离固定底座一端设置有吸盘压块，静电吸盘上设置有台阶座，所述吸盘压块抵接台阶座。在支撑盘的表面上设置有吸盘压块，从而能够对静电吸盘进行固定，其中，静电吸盘上设置有台阶座，吸盘压块在抵接台阶座时，能够对静电吸盘进行轴向以及径向方向上的限位约束，从而保证静电吸盘与支撑盘之间的相对固定。

作为优选，所述吸盘压块包括有与台阶座抵接的定位块，所述定位块连接有调节杆，所述定位块活动连接在调节杆上。定位块通过调节杆来进行位置调节与紧固，从而方便静电吸盘的安装与拆卸。

作为优选，所述调节杆为压块螺栓，所述定位块上设置有压块穿孔，所述压块螺栓穿过压块穿孔与支撑盘螺纹连接。其中调节杆为压块螺栓，压块螺栓穿过压块穿孔与支撑盘螺纹连接在一起，能够实现快速的拆卸与安装，且由于定位块通过压块穿孔连接在压块螺栓上，在压块螺栓松动后，定位块即可绕压块螺栓转动，从而实现快速与静电吸盘脱离，进而提高工作效率。

作为优选，所述支撑盘远离固定底座一侧设置有限位块，当所述定位块与限位块抵接时，所述定位块与静电吸盘之间留有避让间隙。由于在支撑盘上设置有限位块，因此当压块螺栓松脱后，将定位块抵接在限位块上，由于存在了避让间隙，从而避免在移动静电吸盘的过程中，定位块由于失去约束与静电吸盘发生干涉，保证了静电吸盘的完好性。

本实用新型的有益效果如下：

(1)通过设置高度调节件，使得支撑盘的不同区域能够升起或降下，从而在装夹完成后能根据测量尺寸进行自适应地高度调整，保证产品与电极层距离的均匀性，且装夹之后调整平面度无需拆卸静电吸盘，直接对夹具进行调整，提高了工作效率；

(2)通过加固件保证了支撑盘与固定底座之间的连接稳定性，避免在加工过程中出现晃动；

(3)通过设置吸盘压块来保证静电吸盘相对于支撑盘的固定，并且设置台阶座来对静电吸盘的径向、轴向上进行限位；

(4)通过设置限位块，使得定位块能够不用全部松脱与支撑盘分离，且不会对静电吸盘产生干涉，在提高工作效率的基础上保证了避免了干涉风险。

附图说明

图1是本实用新型的第一爆炸视图。

图2是本实用新型的第二爆炸视图。

图3是本实用新型的正视图。

图4是图1中A处的局部放大图。

图5是图1中B处的局部放大图。

图6是本实用新型的第三爆炸视图。

图7是实施例2的轴测图。

图8是图7中C处的局部放大图。

图中：1固定底座，2高度调节件，21调节螺栓，211螺纹部，212支撑部，3支撑盘，31沉孔，32连接通孔，33限位块，34避让间隙，4静电吸盘，41台阶座，5调节间隙，6加固件，61紧固螺栓，7吸盘压块，71定位块，711压块穿孔，72调节杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步描述。

实施例1：

如图1、2、3、5所示，一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，包括有固定底座1，固定底座1上设置有九个高度调节件2，各个高度调节件2环形排列，高度调节件2远离固定底座1一端连接有支撑盘3，支撑盘3与固定底座1之间留有调节间隙5，各个高度调节件2设置在调节间隙5中，静电吸盘4放置在支撑盘3远离固定底座1一端，其中本实施例中高度调节件2为调节螺栓21，调节螺栓21包括有螺纹部211，螺纹部211与固定底座1螺纹连接，支撑盘3靠近固定底座1一侧设置有沉孔31，调节螺栓21包括有支撑部212，支撑部212与沉孔31抵接。

在本实用新型中，通过设置分离的固定底座1以及支撑盘3来实现对静电吸盘4的平面度调整，其中固定底座1与支撑盘3之间留有调节间隙5，在调节间隙5中放置有调节螺栓21，其中固定底座1与支撑盘3便通过调节螺栓21进行连接，调节螺栓21由于是环形分布的，因此在装夹完成后，用涡流测试仪测量产品表面到电极层的距离，根据实际的使用需求来对相应的一侧进行顶升或降低，磨削时自然会多磨或少磨该处产品高度，保证产品与电极层距离的均匀性，且调节过程只需要对高度调整件进行调节即可，无需对静电吸盘4进行重新的拆装，保证工作的效率，通过螺纹连接的调节螺栓21来控制调节间隙5的尺寸，其中调节螺栓21由于螺纹连接能够保证支撑的稳定性，且由于调节螺栓21的调节方向为顺时针或逆时针，而调节螺栓21的受力方向为平行于重力方向，因此在支撑过程中不会改变调节螺栓21的调节尺寸，从而保证研磨质量，且设置调节螺栓21也能够保证整体的结构简单，支撑盘3上设置的沉孔31与调节螺栓21的支撑部212抵接，在获得调节螺栓21支撑的同时，避免了调节螺栓21的转动对支撑盘3产生影响，同时支撑部212一般为螺帽，也同时方便拧动调节螺栓21，提高操作的便捷性。

如图4所示，支撑盘3上设置有与固定底座1连接的加固件6，支撑盘3上设置有连接通孔32，在本实施例中加固件6为紧固螺栓61，紧固螺栓61穿过连接通孔32与固定底座1连接。

紧固螺栓61能够在设置好支撑盘3与固定底座1之间的距离后，对支撑盘3与固定底座1进行紧固连接，从而避免在加工过程中由于支撑盘3没有与高度调节件2进行连接导致的支撑盘3晃动，保证了支撑盘3的稳定性，紧固螺栓61穿过连接通孔32与固定底盘进行螺纹连接，从而紧固两者，并且由于紧固螺栓61从远离固定底座1一端向下穿过连接通孔32，因此对于紧固螺栓61的紧固与拆卸都在支撑盘3远离固定底座1一侧进行，避免了对已调节好的高度调节件2产生干涉，保证支撑盘3的位置精度。

如图6所示，支撑盘3远离固定底座1一端设置有吸盘压块7，静电吸盘4上设置有台阶座41，吸盘压块7抵接台阶座41，吸盘压块7包括有与台阶座41抵接的定位块71，定位块71连接有调节杆72，定位块71活动连接在调节杆72上，在本实施例中调节杆72为压块螺栓，定位块71上设置有压块穿孔711，压块螺栓穿过压块穿孔711与支撑盘3螺纹连接。

在支撑盘3的表面上设置有吸盘压块7，从而能够对静电吸盘4进行固定，其中，静电吸盘4上设置有台阶座41，吸盘压块7在抵接台阶座41时，能够对静电吸盘4进行轴向以及径向方向上的限位约束，从而保证静电吸盘4与支撑盘3之间的相对固定，定位块71通过压块螺栓来进行位置调节与紧固，从而方便静电吸盘4的安装与拆卸，压块螺栓穿过压块穿孔711与支撑盘3螺纹连接在一起，能够实现快速的拆卸与安装，且由于定位块71通过压块穿孔711连接在压块螺栓上，在压块螺栓松动后，定位块71即可绕压块螺栓转动，从而实现快速与静电吸盘4脱离，进而提高工作效率。

本实施例中可调平面度的静电吸盘装夹治具的装配和工作过程如下：在本实施例中，在固定底座1上螺纹连接有九个调节螺栓21，其中调节螺栓21包括有螺纹部211与支撑部212，螺纹部211与固定底座1连接，支撑盘3上设置有沉孔31，将沉孔31与支撑部212连接，随后将静电吸盘4放置在支撑盘3上，并将定位块71抵接在台阶座41上，随后拧紧压块螺栓，从而将静电吸盘4和支撑盘3连接固定，随后用涡流测试仪测量产品表面到电极层的距离，针对性的对于距离大的地方通过将调节螺栓21高度调高，磨削时自然会多磨削该处静电吸盘4的高度，保证产品与电极层距离的均匀性。

实施例2：

如图7、8所示，与实施例1不同的是，本实施例中支撑盘3远离固定底座1一侧设置有限位块33，当定位块71与限位块33抵接时，定位块71与静电吸盘4之间留有避让间隙34。由于在支撑盘3上设置有限位块33，因此当压块螺栓松脱后，将定位块71抵接在限位块33上，由于存在了避让间隙34，从而避免在移动静电吸盘4的过程中，定位块71由于失去约束与静电吸盘4发生干涉，保证了静电吸盘4的完好性。

Claims (9)

1.一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，包括有固定底座，所述固定底座上设置有若干高度调节件，各个所述高度调节件环形排列，所述高度调节件远离固定底座一端连接有支撑盘，所述支撑盘与固定底座之间留有调节间隙，各个所述高度调节件设置在调节间隙中，静电吸盘放置在所述支撑盘远离固定底座一端。

2.根据权利要求1中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述高度调节件为调节螺栓，所述调节螺栓包括有螺纹部，所述螺纹部与固定底座螺纹连接。

3.根据权利要求2中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述支撑盘靠近固定底座一侧设置有沉孔，所述调节螺栓包括有支撑部，所述支撑部与沉孔抵接。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述支撑盘上设置有与固定底座连接的加固件。

5.根据权利要求4中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述支撑盘上设置有连接通孔，所述加固件为紧固螺栓，所述紧固螺栓穿过连接通孔与固定底座连接。

6.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述支撑盘远离固定底座一端设置有吸盘压块，静电吸盘上设置有台阶座，所述吸盘压块抵接台阶座。

7.根据权利要求6中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述吸盘压块包括有与台阶座抵接的定位块，所述定位块连接有调节杆，所述定位块活动连接在调节杆上。

8.根据权利要求7中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述调节杆为压块螺栓，所述定位块上设置有压块穿孔，所述压块螺栓穿过压块穿孔与支撑盘螺纹连接。

9.根据权利要求7中所述的一种可调平面度的静电吸盘装夹治具，其特征在于，所述支撑盘远离固定底座一侧设置有限位块，当所述定位块与限位块抵接时，所述定位块与静电吸盘之间留有避让间隙。