CN220753357U - 一种准分子灯充排气系统 - Google Patents
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 14
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 10
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
本实用新型涉及灯的充排气设备技术领域，公开了一种准分子灯充排气系统，包括充气管路、排气管路，以及用于与准分子灯灯管相连的充排气连接头，所述充气管路、所述排气管路均与所述充排气连接头连接；所述排气管路上设有一级抽真空设备、二级抽真空设备、一级真空规和二级真空规，所述一级抽真空设备通过第一真空阀控制与所述排气管路的通断，所述二级抽真空设备通过第二真空阀控制与所述排气管路的通断，所述一级真空规与所述第一真空阀电连接，所述二级真空规与所述第二真空阀电连接。本实用新型的准分子灯充排气系统能够实现对准分子灯灯管填充高纯度的放电气体，帮助稳定灯管的发光效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及灯的充排气设备技术领域，尤其涉及一种准分子灯充排气系统。
背景技术
准分子灯一般被设置于进行紫外线照射等的装置中，用于对空气及物体表面进行杀菌消毒。准分子灯的制造，一般采用石英、陶瓷等可使准分子光透过的电介质形成具有密闭放电空间的发光管，并在该放电空间内封入放电气体。放电气体一般为氙气等稀有气体，或者稀有气体与卤素气体混合而得到的混合气体。
在发光管中封入放电气体时，需要确保发光管内放电气体的纯度，否则将影响灯管的发光效果。
为实现准分子灯生产过程中灯管的充排气，有必要开发一种准分子灯的充排气系统，实现对准分子灯灯管填充高纯度的放电气体。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种准分子灯充排气系统，实现对准分子灯灯管填充高纯度的放电气体，帮助稳定灯管的发光效果。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种准分子灯充排气系统，包括充气管路、排气管路，以及用于与准分子灯灯管相连的充排气连接头，所述充气管路、所述排气管路均与所述充排气连接头连接；
所述排气管路上设有一级抽真空设备、二级抽真空设备、一级真空规和二级真空规，所述一级抽真空设备通过第一真空阀控制与所述排气管路的通断，所述二级抽真空设备通过第二真空阀控制与所述排气管路的通断，所述一级真空规与所述第一真空阀电连接，所述二级真空规与所述第二真空阀电连接。
作为上述方案的改进，所述一级抽真空设备包括第一粗抽泵，所述二级抽真空设备包括相互串联的分子泵及第二粗抽泵，所述一级真空规与所述第一粗抽泵及所述第二粗抽泵电连接，所述二级真空规与所述分子泵电连接。
作为上述方案的改进，所述充排气连接头设有与所述充气管路对应设置的第一充气接口、与所述排气管路对应设置的排气接口，以及用于与准分子灯连接的连接嘴，所述第一充气接口设有第一截止阀，所述排气接口设有第二截止阀，所述第二截止阀与所述二级真空规电连接。
作为上述方案的改进，所述充气管路设置为两条，其中一条充气管路与卤素储气罐相连，另一条充气管路与第一惰性气体储气罐相连。
作为上述方案的改进，所述充气管路上设有压阻规和压力调节器。
作为上述方案的改进，还包括清洗管路，所述充排气连接头设有与所述清洗管路对应设置，且与所述清洗管路相连的第二充气接口。
作为上述方案的改进，所述清洗管路与第二惰性气体储气罐相连，所述卤素储气罐、所述第一惰性气体储气罐、所述第二惰性气体储气罐上均设有减压阀。
实施本实用新型，具有如下有益效果：
本实用新型公开了一种准分子灯充排气系统，通过将充气管路、排气管路均与充排气连接头连接，在充气管路通过充排气连接头对准分子灯灯管进行充气前，排气管路上设置的一级抽真空设备率先对准分子灯灯管进行初步抽真空，同时排气管路上的一级真空规和二级真空规实时监测管内真空度，当管内真空度达到一级真空规设定的值时，与一级真空规相连的第一真空阀断开，二级抽真空设备继续对准分子灯灯管进行抽真空，当管内真空度达到二级真空规设定的值时，与二级真空规相连的第二真空阀断开，实现对准分子灯灯管多级自动抽真空，帮助提升后续准分子灯灯管内充入的放电气体的纯度，以稳定灯管的发光效果。
附图说明
图1是本实用新型一种准分子灯充排气系统的一实施例结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。
如图1所示，本实用新型提供了一种准分子灯充排气系统的一实施例，包括充气管路1、排气管路2，以及用于与准分子灯灯管3相连的充排气连接头4，所述充气管路1、所述排气管路2均与所述充排气连接头4连接；所述排气管路2上设有一级抽真空设备5、二级抽真空设备6、一级真空规7和二级真空规8，所述一级抽真空设备5通过第一真空阀21控制与所述排气管路2的通断，所述二级抽真空设备6通过第二真空阀22控制与所述排气管路2的通断，所述一级真空规7与所述第一真空阀21电连接，所述二级真空规8与所述第二真空阀22电连接，一级真空规7、二级真空规8、第一真空阀21、第二真空阀22均与控制器相连，一级真空规7、二级真空规8实时监测排气管路2的真空度，通过控制器对第一真空阀21、第二真空阀22的开闭进行控制。
本实施例通过将充气管路1、排气管路2均与充排气连接头4连接，在充气管路1通过充排气连接头4对准分子灯灯管3进行充气前，排气管路2上设置的一级抽真空设备5率先对准分子灯灯管3进行初步抽真空，同时排气管路2上的一级真空规7和二级真空规8实时监测管内真空度，当管内真空度达到一级真空规7设定的值时，与一级真空规7相连的第一真空阀21断开，二级抽真空设备6继续对准分子灯灯管3进行抽真空，当管内真空度达到二级真空规8设定的值时，与二级真空规8相连的第二真空阀22断开，实现对准分子灯灯管3多级自动抽真空，帮助提升后续准分子灯灯管3内充入的放电气体的纯度，以稳定灯管的发光效果。
优选地，所述一级抽真空设备5包括第一粗抽泵5，所述二级抽真空设备6包括相互串联的分子泵61及第二粗抽泵62。其中，所述分子泵61的极限真空度＜所述第二粗抽泵62的极限真空度＜所述第一粗抽泵5的极限真空度。所述一级真空规7与所述第一粗抽泵5及所述第二粗抽泵62电连接，所述二级真空规8与所述分子泵61电连接。当排气管路2的真空度未达到一级真空规7的预设值时，第一粗抽泵5持续进行抽真空，且在排气管路2的真空度达到一级真空规7的预设值时停止工作，同时第二粗抽泵62开始工作，第二粗抽泵62运行一段时间后停止，随之分子泵61启动，直至排气管路2内的真空度达到二级真空规8的预设值，此时排气管路2内的气体被排净。
所述充排气连接头4设有与所述充气管路1对应设置的第一充气接口、与所述排气管路2对应设置的排气接口，以及用于与准分子灯连接的连接嘴41，所述第一充气接口设有第一截止阀42，所述排气接口设有第二截止阀43，所述第二截止阀43与所述二级真空规8电连接。
本实施例中，充气管路1设置为两条，其中一条充气管路1与卤素储气罐101相连，另一条充气管路1与第一惰性气体储气罐102相连，根据实际生产需要可以对准分子灯灯管3内充入惰性气体(如氪气)，或者按照一定顺序充入惰性气体与卤素气体(如氯气)。
本实施例在每条所述充气管路1上设有压阻规11和压力调节器12，所述压力调节器12与所述压阻规11电连接，以根据准分子灯灯管3内的压力情况调节进气速度。
此外，本实施例还设置了用于在对准分子灯灯管3进行深度抽真空前进行管壁清洗的清洗管路9，所述充排气连接头4设有与所述清洗管路9对应设置，且与所述清洗管路9相连的第二充气接口，所述充排气连接头4还在第二充气接口设置了第三截止阀44，所述清洗管路9与第二惰性气体储气罐103相连。
为确保气体平稳输送，所述卤素储气罐101、所述第一惰性气体储气罐102、所述第二惰性气体储气罐103上均设有减压阀。
以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
Claims (7)
1.一种准分子灯充排气系统，其特征在于，包括充气管路、排气管路，以及用于与准分子灯灯管相连的充排气连接头，所述充气管路、所述排气管路均与所述充排气连接头连接；
所述排气管路上设有一级抽真空设备、二级抽真空设备、一级真空规和二级真空规，所述一级抽真空设备通过第一真空阀控制与所述排气管路的通断，所述二级抽真空设备通过第二真空阀控制与所述排气管路的通断，所述一级真空规与所述第一真空阀电连接，所述二级真空规与所述第二真空阀电连接。
2.如权利要求1所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，所述一级抽真空设备包括第一粗抽泵，所述二级抽真空设备包括相互串联的分子泵及第二粗抽泵，所述一级真空规与所述第一粗抽泵及所述第二粗抽泵电连接，所述二级真空规与所述分子泵电连接。
3.如权利要求1或2所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，所述充排气连接头设有与所述充气管路对应设置的第一充气接口、与所述排气管路对应设置的排气接口，以及用于与准分子灯连接的连接嘴，所述第一充气接口设有第一截止阀，所述排气接口设有第二截止阀，所述第二截止阀与所述二级真空规电连接。
4.如权利要求3所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，所述充气管路设置为两条，其中一条充气管路与卤素储气罐相连，另一条充气管路与第一惰性气体储气罐相连。
5.如权利要求1所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，所述充气管路上设有压阻规和压力调节器。
6.如权利要求4所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，还包括清洗管路，所述充排气连接头设有与所述清洗管路对应设置，且与所述清洗管路相连的第二充气接口。
7.如权利要求6所述的准分子灯充排气系统，其特征在于，所述清洗管路与第二惰性气体储气罐相连，所述卤素储气罐、所述第一惰性气体储气罐、所述第二惰性气体储气罐上均设有减压阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322198160.9U CN220753357U (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种准分子灯充排气系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322198160.9U CN220753357U (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种准分子灯充排气系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220753357U true CN220753357U (zh) | 2024-04-09 |
Family
ID=90564117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322198160.9U Active CN220753357U (zh) | 2023-08-15 | 2023-08-15 | 一种准分子灯充排气系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220753357U (zh) |
-
2023
- 2023-08-15 CN CN202322198160.9U patent/CN220753357U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |