CN220749557U - 一种可调节水平的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种可调节水平的装置。包括水平调节件，水平调节件的中部设有沿水平调节件的一端贯穿至水平调节件另一端的第二固定孔，水平调节件的一端穿过内螺纹孔与放置平台的上端面抵接，以使水平调节件的一端与放置平台的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件以调节被调节装置实现水平；固定件，固定件的一端穿过第二固定孔延伸至第一固定孔上以固定设置在放置平台上，且水平调节件与固定件在同一轴心上。本实用新型提供的一种可调节水平的装置解决了现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
Description
技术领域
本实用新型半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种可调节水平的装置。
背景技术
一般半导体生产设备中安装的装置或者工位平台需要调整到一定水平的水平基础，使工艺在进行时其放置于装置或者平台上的工件能够确实地维持水平条件，进以确保工艺过程工件的平面水平基础。现有的可调节装置是以顶丝与螺丝的搭配实现水平调整操作，操作者需要由顶丝与螺丝的反向作用力来达到相对高度的微调整，但是，此方式除了操作耗时，由于顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化。
综上，现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供一种可调节水平的装置，以解决现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
根据本实用新型的第一方面，提供了一种可调节水平的装置，应用于被调节装置与放置平台之间，被调节装置放置于放置平台上，且被调节装置上设有内螺纹孔，以及放置平台上设有与内螺纹孔对应设置的第一固定孔，包括：
水平调节件，水平调节件的中部设有沿水平调节件的一端贯穿至水平调节件另一端的第二固定孔，水平调节件的一端穿过内螺纹孔与放置平台的上端面抵接，水平调节件上设有外螺纹，水平调节件通过外螺纹和内螺纹孔配合设置与被调节装置螺纹连接，以使水平调节件的一端与放置平台的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件以调节被调节装置实现水平；
固定件，固定件均与第一固定孔和第二固定孔配合设置，固定件的一端穿过第二固定孔延伸至第一固定孔上以固定设置在放置平台上，且水平调节件与固定件在同一轴心上。
可选地，可调节水平的装置还包括水平测量仪，水平测量仪放置于被调节装置上。
可选地，固定件为螺丝。
可选地，水平调节件的个数为3-6个，内螺纹孔、固定件和第一固定孔的个数均与水平调节件的个数相同。
通过本实用新型的一种可调节水平的装置，应用于被调节装置与放置平台之间，被调节装置放置于放置平台上，且被调节装置上设有内螺纹孔，以及放置平台上设有与内螺纹孔对应设置的第一固定孔，本申请通过水平调节件的中部设有沿水平调节件的一端贯穿至水平调节件另一端的第二固定孔，水平调节件的一端穿过内螺纹孔与放置平台的上端面抵接，水平调节件上设有外螺纹，水平调节件通过外螺纹和内螺纹孔配合设置与被调节装置螺纹连接，以使水平调节件的一端与放置平台的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件以调节被调节装置实现水平；固定件均与第一固定孔和第二固定孔配合设置，固定件的一端穿过第二固定孔延伸至第一固定孔上以固定设置在放置平台上，且水平调节件与固定件在同一轴心上；因此，本申请可通过水平调节件和固定件的配合，来实现被调节装置的水平调整，此方式操作简单，水平调整后，水平调节件与固定件在同一轴心上，以使受力落在了水平调节件上，不会产生反向受力使得放置平台受力变形而导致水平误差，因此被调节装置水平精度可维持一定的可靠度。本实用新型解决了现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
附图说明
图1为根据本实用新型提供的一种可调节水平的装置的整体结构爆炸示意图；
图2为根据本实用新型提供的一种可调节水平的装置的整体剖面结构爆炸示意图；
图3为根据本实用新型提供的一种可调节水平的装置的水平调节件、固定件、被调节装置和放置平台装配的剖面结构示意图；
图4为根据本实用新型提供的一种可调节水平的装置中图3在A处的放大图；
图5为根据本实用新型提供的一种可调节水平的水平调节件、固定件、被调节装置和放置平台装配的结构示意图。
附图标记列表：
10、水平调节件；11、第二固定孔；20、固定件；40、被调节装置；41、内螺纹孔；50、放置平台；51、第一固定孔。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1至图5，本实用新型提供一种可调节水平的装置，可以解决现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
本实用新型提供的一种可调节水平的装置，应用于被调节装置40与放置平台50之间，被调节装置40放置于放置平台上，且被调节装置40上设有内螺纹孔41，以及放置平台50上设有与内螺纹孔41对应设置的第一固定孔51，包括：
水平调节件10，水平调节件10的中部设有沿水平调节件10的一端贯穿至水平调节件10另一端的第二固定孔11，水平调节件10的一端穿过内螺纹孔41与放置平台50的上端面抵接，水平调节件10上设有外螺纹，水平调节件10通过外螺纹和内螺纹孔41配合设置与被调节装置40螺纹连接，以使水平调节件10的一端与放置平台50的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件10以调节被调节装置40实现水平；
固定件20，固定件20均与第一固定孔51和第二固定孔11配合设置，固定件20的一端穿过第二固定孔11延伸至第一固定孔51上以固定设置在放置平台50上，且水平调节件10与固定件20在同一轴心上。
其中，在一般情况下放置平台50不是处于水平状态，因此要对放置在放置平台50上的被调节装置40进行水平调节，本申请中先将被调节装置40先放置在放置平台50上，并让其内螺纹孔41与第一固定孔51对应设置，将水平调节件10的第一端穿过内螺纹孔41与放置平台50抵接，接着，正向或反向旋拧被调节装置40，使得被调节装置40在外螺纹和内螺纹孔41的配合下，调节被调节装置40相对于放置平台50的相对位置，进而使得被调节装置40实现水平，最后，通过固定件20的第一端依次穿过在水平调节件10上的第二固定孔11和放置平台50的第一固定孔51上以固定设置在放置平台50上，此时，水平调节件10与固定件20在同一轴心上。
本申请中的水平调节件10的尺寸大小具体根据实际情况而定，在此不做限定。
本实用新型提供的一种可调节水平的装置，应用于被调节装置40与放置平台50之间，被调节装置40放置于放置平台上，且被调节装置40上设有内螺纹孔41，以及放置平台50上设有与内螺纹孔41对应设置的第一固定孔51，本申请通过水平调节件10，水平调节件10的中部设有沿水平调节件10的一端贯穿至水平调节件10另一端的第二固定孔11，水平调节件10的一端穿过内螺纹孔41与放置平台50的上端面抵接，水平调节件10上设有外螺纹，水平调节件10通过外螺纹和内螺纹孔41配合设置与被调节装置40螺纹连接，以使水平调节件10的一端与放置平台50的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件10以调节被调节装置40实现水平；固定件20，固定件20均与第一固定孔51和第二固定孔11配合设置，固定件20的一端穿过第二固定孔11延伸至第一固定孔51上以固定设置在放置平台50上，且水平调节件10与固定件20在同一轴心上；因此，本申请可通过水平调节件10和固定件20的配合，来实现被调节装置40的水平调整，此方式操作简单，水平调整后，水平调节件10与固定件20在同一轴心上，以使受力落在了水平调节件10上，不会产生反向受力使得放置平台40受力变形而导致水平误差，因此被调节装置40水平精度可维持一定的可靠度。本实用新型解决了现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
可选地，可调节水平的装置还包括水平测量仪，水平测量仪放置于被调节装置40上。
其中，水平测量仪用于在对被调节装置40进行水平调整时，与水平调节件10配合，当水平测量仪显示被调节装置40处于水平状态时，完成对被调节装置40的调整。
可选地，固定件20为螺丝。
其中，螺丝为常规的零件，因此在加工水平调节件10上的第二固定孔11时，只需按照螺丝的尺寸加工第二固定孔11即可，此外，使用螺丝这种常规的零件，价格便宜进而节约成本。
可选地，水平调节件10的个数为3-6个，内螺纹孔41、固定件20和第一固定孔51的个数均与水平调节件10的个数相同。
其中，水平调节件10的个数为3-6个为最佳，使得被调节装置40调节的水平精度更高，但是，水平调节件10具体的个数可根据实际情况而定。
工作原理：先将被调节装置40先放置在放置平台50上，并让其内螺纹孔41与第一固定孔51对应设置，再将水平测量仪置于被调节装置40上，接着，将水平调节件10的第一端穿过内螺纹孔41与放置平台50抵接，正向或反向旋拧被调节装置40，使得被调节装置40在外螺纹和内螺纹孔41的配合下，调节被调节装置40相对于放置平台50的相对位置，同时，观察水平测量仪，当水平测量仪显示被调节装置40水平，停止旋拧水平调节件10，最后，将固定件20的第一端依次穿过在水平调节件10上的第二固定孔11和放置平台50的第一固定孔51上以固定设置在放置平台50上，此时，水平调节件10与固定件20在同一轴心上。
综上，本实用新型提供的一种可调节水平的装置，应用于被调节装置40与放置平台50之间，被调节装置40放置于放置平台上，且被调节装置40上设有内螺纹孔41，以及放置平台50上设有与内螺纹孔41对应设置的第一固定孔51，本申请通过水平调节件10，水平调节件10的中部设有沿水平调节件10的一端贯穿至水平调节件10另一端的第二固定孔11，水平调节件10的一端穿过内螺纹孔41与放置平台50的上端面抵接，水平调节件10上设有外螺纹，水平调节件10通过外螺纹和内螺纹孔41配合设置与被调节装置40螺纹连接，以使水平调节件10的一端与放置平台50的上端面抵接时，正向或反向旋拧水平调节件10以调节被调节装置40实现水平；
固定件20，固定件20均与第一固定孔51和第二固定孔11配合设置，固定件20的一端穿过第二固定孔11延伸至第一固定孔51上以固定设置在放置平台50上，且水平调节件10与固定件20在同一轴心上；
因此，本申请可通过水平调节件10和固定件20的配合，来实现被调节装置40的水平调整，此方式操作简单，水平调整后，水平调节件10与固定件20在同一轴心上，以使受力落在了水平调节件10上，不会产生反向受力使得放置平台40受力变形而导致水平误差，因此被调节装置40水平精度可维持一定的可靠度。本实用新型解决了现有技术的可调节水平装置存在操作耗时以及顶丝与螺丝作用力相反施力于平台以及装置上，平台与装置长时间受到螺丝与顶丝相互反力推挤，使调整处平台受到破坏，水平产生变化的缺陷。
需要说明的是，上述各流程和各系统结构图中不是所有的步骤和模块都是必须的，可以根据实际的需要忽略某些步骤或模块。各步骤的执行顺序不是固定的，可以根据需要进行调整。上述各实施例中描述的系统结构可以是物理结构，也可以是逻辑结构，即，有些模块可能由同一物理实体实现，或者，有些模块可能分由多个物理实体实现，或者，可以由多个独立设备中的某些部件共同实现。
以上各实施例中，硬件模块可以通过机械方式或电气方式实现。上文通过附图和优选实施例对本实用新型进行了详细展示和说明，然而本实用新型不限于这些已揭示的实施例，基与上述多个实施例本领域技术人员可以知晓，可以组合上述不同实施例中的代码审核手段得到本实用新型更多的实施例，这些实施例也在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种可调节水平的装置，应用于被调节装置(40)与放置平台(50)之间，所述被调节装置(40)放置于所述放置平台上，且所述被调节装置(40)上设有内螺纹孔(41)，以及所述放置平台(50)上设有与所述内螺纹孔(41)对应设置的第一固定孔(51)，其特征在于，包括：
水平调节件(10)，所述水平调节件(10)的中部设有沿所述水平调节件(10)的一端贯穿至所述水平调节件(10)另一端的第二固定孔(11)，所述水平调节件(10)的一端穿过所述内螺纹孔(41)与所述放置平台(50)的上端面抵接，所述水平调节件(10)上设有外螺纹，所述水平调节件(10)通过所述外螺纹和所述内螺纹孔(41)配合设置与所述被调节装置(40)螺纹连接，以使所述水平调节件(10)的一端与所述放置平台(50)的上端面抵接时，正向或反向旋拧所述水平调节件(10)以调节被调节装置(40)实现水平；
固定件(20)，所述固定件(20)均与所述第一固定孔(51)和所述第二固定孔(11)配合设置，所述固定件(20)的一端穿过所述第二固定孔(11)延伸至所述第一固定孔(51)上以固定设置在所述放置平台(50)上，且所述水平调节件(10)与所述固定件(20)在同一轴心上。
2.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述可调节水平的装置还包括水平测量仪，所述水平测量仪放置于所述被调节装置(40)上。
3.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述固定件(20)为螺丝。
4.根据权利要求1所述的一种可调节水平的装置，其特征在于，所述水平调节件(10)的个数为3-6个，所述内螺纹孔(41)、所述固定件(20)和所述第一固定孔(51)的个数均与所述水平调节件(10)的个数相同。
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