CN220740912U - 一种vgf坩埚外径检测用支撑装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种VGF坩埚外径检测用支撑装置,包括旋转台,所述旋转台的顶面上固定的设置有用于对坩埚开口处圆度定型的圆锥台;所述圆锥台的上方通过升降机构设置有用于防止坩埚倾斜的防倾组件;所述升降机构与所述防倾组件之间通过限位组件进行固定与限位。本实用新型的VGF坩埚外径检测用支撑装置,通过设置的圆锥台对坩埚进行开口处的圆度支撑,可以通过卡尺对其开口圆度支撑处进行测量,进而避免坩埚在测量过程中发生形变;另外通过设置的防倾板,套设于坩埚的内部,可以对坩埚内部的腔体进行支撑,防止坩埚倾斜。
Description
技术领域
本实用新型涉及坩埚检测支撑设备技术领域,尤其涉及一种VGF坩埚外径检测用支撑装置。
背景技术
VGF坩埚是应用于垂直梯度凝固法(VGF)技术中的一类坩埚;VGF坩埚的结构包括一个锥形面,且VGF坩埚的壁厚较小,易发生形变,在通过卡尺对其的外径进行测量时,用力会导致其发生形变导致检测结果较小,不仅影响外径的检测结果的精确度,还导致了VGF坩埚的形变;故本申请提出一种VGF坩埚外径检测用支撑装置,用于对VGF坩埚的开口处圆度定型后再进行检测,减小上述提出的外径检测过程中坩埚形变发生的可能性,提高检测结果的精确度。
实用新型内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种VGF坩埚外径检测用支撑装置。
本实用新型提供的一种VGF坩埚外径检测用支撑装置,包括旋转台,所述旋转台的顶面上固定的设置有用于对坩埚开口处圆度定型的圆锥台;所述圆锥台的上方通过升降机构设置有用于防止坩埚倾斜的防倾组件;所述升降机构与所述防倾组件之间通过限位组件进行固定与限位。
优选的,所述升降机构包括固定的设置于所述圆锥台的顶面上的伸缩柱,所述伸缩柱沿竖直方向设置有3个及以上,所述伸缩柱沿所述圆锥台顶面的外侧边缘均匀间隔分布;所述伸缩柱的顶面固定的设置有与所述圆锥台的顶面平行的安装座;所述圆锥台的顶面上位于所述伸缩柱的内侧固定的设置有竖直方向上的电动推杆;所述电动推杆的传动端与所述安装座的底面固定的连接。
优选的,所述防倾组件包括设置于所述安装座的顶面上的防倾板,所述防倾板的顶面上螺纹设置有防倾定位柱。
优选的,所述限位组件设置有一组或多组,所述限位组件包括所述防倾板的底面固定设置的卡接柱,所述安装座的顶面上对应所述卡接柱设置有卡接槽。
优选的,所述防倾板的环形侧面与其底面及顶面的连接处倒圆角设置。
优选的,所述防倾板的环形侧面上固定的设置有向下延伸的环形套筒。
优选的,所述圆锥台、电动推杆的传动端、安装座、防倾板及防倾定位柱同轴设置。
相对于现有技术而言,本实用新型的有益效果是:
本实用新型的VGF坩埚外径检测用支撑装置,通过设置的圆锥台对坩埚进行开口处的圆度支撑,可以通过卡尺对其开口圆度支撑处进行测量,进而避免坩埚在测量过程中发生形变,提高检测精度;另外通过设置的防倾板,套设于坩埚的内部,可以对坩埚内部的腔体进行支撑,防止坩埚倾斜;进一步的,设置的防倾定位柱,同样可以对坩埚起到防倾斜的作用;除此之外,还设置有升降机构,其作用于防倾板,可以实现防倾组件的上升与下降,故在将坩埚套设于防倾组件的外侧时,可通过升降机构驱动防倾板及防倾定位柱上升或下降,从而可以实现坩埚的上升与下降,便于坩埚的取放。
应当理解,实用新型内容部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征,亦非用于限制本实用新型的范围。
本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型实施例提供的一种VGF坩埚外径检测用支撑装置的结构示意图;
图2为支撑装置装配有环形套筒的结构示意图;
图中标号:1、旋转台;2、圆锥台;3、防倾组件;31、防倾板;32、防倾定位柱;4、升降机构;41、伸缩杆;42、安装座;43、电动推杆;5、限位组件;51、卡接柱;52、卡接槽;6、VGF坩埚;7、环形套筒。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型,而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与实用新型相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
请参考图1~2,本实用新型的实施例提供了一种VGF坩埚外径检测用支撑装置,包括旋转台1,旋转台1的顶面上固定的设置有用于对VGF坩埚6开口处圆度定型的圆锥台2;圆锥台2的上方通过升降机构4设置有用于防止VGF坩埚6倾斜的防倾组件3;升降机构4与防倾组件3之间通过限位组件5进行固定与限位。
其中,旋转台1采用电动旋转台,基于电机和齿轮的转动力学原理,通过传递电机的动力,使齿轮转动,进而带动旋转台顺时针或逆时针旋转;为现有技术,此处不再过多赘述。
在一优选实施例中,升降机构4包括固定的设置于圆锥台2的顶面上的伸缩柱41,伸缩柱41沿竖直方向设置有3个及以上,伸缩柱41沿圆锥台2顶面的外侧边缘均匀间隔分布,伸缩柱41的顶面固定的设置有与圆锥台2的顶面平行的安装座42;伸缩柱41的设置提高了安装座42安装后及上下升降的稳定性;
圆锥台2的顶面上位于多个伸缩柱41的内侧固定的设置有竖直方向上的电动推杆43;电动推杆43的传动端与安装座42的底面固定的连接。
通过竖直方向上设置的电动推杆43,驱动安装座42上下升降运动。
在一优选实施例中,防倾组件3包括设置于安装座42的顶面上的防倾板31,防倾板31的直径大小略小于待检测VGF坩埚6的内径,避免在放置VGF坩埚6时发生干涉;防倾板31的顶面上螺纹设置有防倾定位柱32。
其中,防倾定位柱32可以根据VGF坩埚6的型号大小不同,从而更换不同直径大小的防倾定位柱32,提高整个装置的通用性能。
在一优选实施例中,限位组件5设置有一组或多组,限位组件5包括防倾板31的底面固定设置的卡接柱51,安装座42的顶面上对应卡接柱51设置有卡接槽52。
当限位组件5设置为一组时,卡接柱51固定的设置于防倾板31的底面的中部,且卡接柱51的横截面至少为安装座42的顶面的二分之一,也即卡接柱51的横截面够大,才能保证防倾板31可以稳固的放置在安装座42的顶面上,且防倾板31自身具备一定的自重,保证不受其他外界影响而晃动。
当限位组件5设置为多组时,卡接柱51及卡接槽52在安装座42的顶面上均匀的分布,保证防倾板31与安装座42之间安装后的稳定性能。
在一优选实施例中,防倾板31的环形侧面与其底面及顶面的连接处倒圆角设置,也即防倾板31的环形侧面与其底面及顶面之间为圆弧设计,保证VGF坩埚6的内侧壁面不受磨损。
在一优选实施例中,防倾板31的环形侧面上固定的设置有向下延伸的环形套筒7;设置的环形套筒7的外直径略小于待检测VGF坩埚6的内直径,避免VGF坩埚6无法放入。
其中,环形套筒7固定的设置于防倾板31的环形壁面及以下的部分,可以有效提高防倾板31对VGF坩埚6的防倾效果。
在一优选实施例中,圆锥台2、电动推杆43的传动端、安装座42、防倾板31及防倾定位柱32同轴设置。
其中,安装座42整体均位于圆锥台2的顶面的内部,避免对放置VGF坩埚6产生干涉。
本实用新型的工作原理:将适合待检测VGF坩埚6的防倾组件3安装于安装座42的顶面上,通过启动电动推杆43带动安装座42及防倾组件3向下移动,从而使套设于防倾组件3外侧的VGF坩埚6自然下落,并且使VGF坩埚6的下端的开口自然的落于圆锥台2的外侧壁面上,实现对VGF坩埚6开口处的圆度支撑,进而可以通过卡尺对开口圆度支撑处的VGF坩埚6外径进行测量,可以通过转动旋转台1,分别测量3处不同角度的VGF坩埚6的外径然后取平均值得出最后的测量结果;在检测完毕后,再通过启动电动推杆43向上带动防倾组件3向上移动,由于VGF坩埚6存在一个锥形面,故防倾板31会卡在其锥形面处,带动VGF坩埚6整体向上移动,至VGF坩埚6下部开口脱离圆锥台2的支撑,便于取下VGF坩埚6;由于此装置的设置,可以对VGF坩埚6的开口处进行圆度支撑,避免了VGF坩埚6因测量时而发生形变的可能。
在本说明书的描述中,术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本说明书的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,包括旋转台,所述旋转台的顶面上固定的设置有用于对坩埚开口处圆度定型的圆锥台;所述圆锥台的上方通过升降机构设置有用于防止坩埚倾斜的防倾组件;所述升降机构与所述防倾组件之间通过限位组件进行固定与限位。
2.根据权利要求1所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述升降机构包括固定的设置于所述圆锥台的顶面上的伸缩柱,所述伸缩柱沿竖直方向设置有3个及以上,所述伸缩柱沿所述圆锥台顶面的外侧边缘均匀间隔分布;所述伸缩柱的顶面固定的设置有与所述圆锥台的顶面平行的安装座;所述圆锥台的顶面上位于所述伸缩柱的内侧固定的设置有竖直方向上的电动推杆;所述电动推杆的传动端与所述安装座的底面固定的连接。
3.根据权利要求2所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述防倾组件包括设置于所述安装座的顶面上的防倾板,所述防倾板的顶面上螺纹设置有防倾定位柱。
4.根据权利要求3所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述限位组件设置有一组或多组,所述限位组件包括所述防倾板的底面固定设置的卡接柱,所述安装座的顶面上对应所述卡接柱设置有卡接槽。
5.根据权利要求4所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述防倾板的环形侧面与其底面及顶面的连接处倒圆角设置。
6.根据权利要求4所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述防倾板的环形侧面上固定的设置有向下延伸的环形套筒。
7.根据权利要求4所述的VGF坩埚外径检测用支撑装置,其特征在于,所述圆锥台、电动推杆的传动端、安装座、防倾板及防倾定位柱同轴设置。
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